CN212999099U - 一种半导体生产用废气回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体生产用废气回收装置，包括喷淋塔，所述喷淋塔的内腔底部设有药液池，所述喷淋塔的内腔顶部设有喷洒管，所述喷洒管的外壁底部连通有雾化喷头，所述喷淋塔的外壁右侧位于第一排气口的下方螺丝连接有引风机，所述箱体的内腔底部螺丝连接有水泵，所述喷淋塔的右侧设有气液分离器，所述气液分离器的右侧设有废气净化箱，所述废气净化箱的内腔左侧均匀分布有紫外线灯管，所述紫外线灯管的右侧设有PP棉过滤层，所述PP棉过滤层的右侧设有活性炭过滤网。本实用新型能够对烟气进行药液净化，对烟气中的水汽和颗粒物进行二级干燥和过滤的处理，同时，能够对烟气进行灭菌处理，减少气体净化排放后的病毒传播。

Description

一种半导体生产用废气回收装置

技术领域

本实用新型涉及半导体的生产与加工技术领域，具体为一种半导体生产用废气回收装置。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种。

现有的半导体生产用的废气回收装置不具有药液净化的功能，不具有双重的干燥过滤和气液分离的功能，以及不具有杀菌灭菌的功能。为此，提出一种半导体生产用废气回收装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体生产用废气回收装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体生产用废气回收装置，包括喷淋塔，所述喷淋塔的内腔底部设有药液池，所述药液池的上方螺丝连接有过滤网格，所述喷淋塔的内腔顶部设有喷洒管，所述喷洒管的外壁底部连通有雾化喷头，所述喷淋塔的外壁右侧设有第一排气口，所述喷淋塔的外壁右侧位于第一排气口的下方螺丝连接有引风机，所述喷淋塔的外壁底部焊接有箱体，所述箱体的内腔底部螺丝连接有水泵，所述喷淋塔的右侧设有气液分离器，所述气液分离器的右侧设有废气净化箱，所述废气净化箱的内腔左侧均匀分布有紫外线灯管，所述紫外线灯管的右侧设有PP棉过滤层，所述PP棉过滤层的右侧设有活性炭过滤网。

作为本技术方案的进一步优选的：所述喷淋塔的外壁左侧顶部设有第一进气口，所述水泵的进水端连通有抽水管，所述抽水管的一侧贯穿于喷淋塔的外壁底部右侧并延伸至药液池内，所述水泵的出水端连通有输水管，所述输水管的一侧贯穿于箱体的外壁顶部向上延伸并与喷洒管的右侧相连通。

作为本技术方案的进一步优选的：所述喷淋塔的内腔顶部左右两侧均螺丝连接有卡扣，所述卡扣的内壁与喷洒管的外壁相套接，所述雾化喷头的数量至少为三个，所述第一排气口的右侧连通有第一管道，所述气液分离器的外壁左侧设有第二进气口，所述第一管道的一侧与第二进气口相连通。

作为本技术方案的进一步优选的：所述气液分离器的右侧设有第二排气口，所述第二排气口的外壁顶部设有水汽出口，所述第二排气口连通有第二管道，所述第二管道的一侧与废气净化箱的外壁左侧相连通，所述废气净化箱的外壁右侧设有第三排气口。

作为本技术方案的进一步优选的：所述引风机的进风端与第一排气口的外壁底部相连通。

作为本技术方案的进一步优选的：所述喷淋塔的外壁底部左侧设有注水口，所述注水口的一侧与喷淋塔的内腔底部相连通。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过喷淋塔、药液池、雾化喷头和过滤网格的设计，能够对烟气进行药液净化，通过气液分离器的设计，能够使烟气中的水汽和颗粒物进行第一级的分离，通过PP棉过滤层和活性炭过滤网的设计，对烟气中的颗粒物和水汽形成第二级的过滤，通过紫外线灯管的设计，能够对烟气进行灭菌处理，减少气体净化排放后的病毒传播。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的主视结构示意图；

图3为本实用新型的喷淋塔结构示意图。

图中：1、喷淋塔；2、第一进气口；3、第一排气口；4、注水口；5、引风机；6、箱体；7、气液分离器；8、第二进气口；9、第二排气口；10、水汽出口；11、第一管道；12、废气净化箱；13、第二管道；14、第三排气口；15、药液池；16、过滤网格；17、喷洒管；18、雾化喷头；19、卡扣；20、水泵；21、抽水管；22、输水管；23、紫外线灯管；24、PP棉过滤层；25、活性炭过滤网。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体生产用废气回收装置，包括喷淋塔1，喷淋塔1的内腔底部设有药液池15，药液池15的上方螺丝连接有过滤网格16，喷淋塔1的内腔顶部设有喷洒管17，喷洒管17的外壁底部连通有雾化喷头18，喷淋塔1的外壁右侧设有第一排气口3，喷淋塔1的外壁右侧位于第一排气口3的下方螺丝连接有引风机5，喷淋塔1的外壁底部焊接有箱体6，箱体6的内腔底部螺丝连接有水泵20，喷淋塔1的右侧设有气液分离器7，气液分离器7的右侧设有废气净化箱12，废气净化箱12的内腔左侧均匀分布有紫外线灯管23，紫外线灯管23的右侧设有PP棉过滤层24，PP棉过滤层24的右侧设有活性炭过滤网25。

本实施例中，具体的：喷淋塔1的外壁左侧顶部设有第一进气口2，水泵20的进水端连通有抽水管21，抽水管21的一侧贯穿于喷淋塔1的外壁底部右侧并延伸至药液池15内，水泵20的出水端连通有输水管22，输水管22的一侧贯穿于箱体6的外壁顶部向上延伸并与喷洒管17的右侧相连通，当烟气进入喷淋塔1的内腔后，启动水泵20,水泵20通过抽水管21从药液池15内抽取药液，药液通过输水管22输送至喷洒管17，再由喷洒管17通过雾化喷头18雾化后对烟气进行药液喷淋。

本实施例中，具体的：喷淋塔1的内腔顶部左右两侧均螺丝连接有卡扣19，卡扣19的内壁与喷洒管17的外壁相套接，雾化喷头18的数量至少为三个，第一排气口3的右侧连通有第一管道11，气液分离器7的外壁左侧设有第二进气口8，第一管道11的一侧与第二进气口8相连通，卡扣19用于固定喷洒管17。

本实施例中，具体的：气液分离器7的右侧设有第二排气口9，第二排气口9的外壁顶部设有水汽出口10，第二排气口9连通有第二管道13，第二管道13的一侧与废气净化箱12的外壁左侧相连通，废气净化箱12的外壁右侧设有第三排气口14，含有药液的烟气通过第一管道11输送至气液分离器7的内腔进行气液分离，气液分离器7将含有水汽和颗粒物的烟气进行分离，分离后的洁净的且干燥的气体通过第二排气口9输向第二管道13，再由第二管道13输送至废气净化箱12内。

本实施例中，具体的：引风机5的进风端与第一排气口3的外壁底部相连通，引风机5启动后使喷淋塔1的内腔形成负压，使含有药液的烟气通过第一管道11输送至气液分离器7的内腔进行气液分离。

本实施例中，具体的：喷淋塔1的外壁底部左侧设有注水口4，注水口4的一侧与喷淋塔1的内腔底部相连通，药液通过注水口4向药液池15内加注。

工作原理或者结构原理，使用时，本实用新型应用于半导体技术领域，具体应用于半导体的生产与加工，为一种半导体生产用的废气回收装置，半导体在车间生产与加工时会排出大量的烟气，烟气中含有大量的微小颗粒物，产线工人吸入后会对身体造成严重的伤害，同时，烟气从车间排出至室外后，还会对大气造成污染，增加大气中PM2.5的含量，为了有效的避免这些情况，本实用新型通过将烟气从第一进气口2流入，当烟气进入喷淋塔1的内腔后，启动水泵20,水泵20通过抽水管21从药液池15内抽取药液，药液通过输水管22输送至喷洒管17，再由喷洒管17通过雾化喷头18雾化后对烟气进行药液喷淋，药液通过过滤网格16再流回至药液池15内，启动引风机5，引风机5的进风端与第一排气口3的外壁相连通，引风机5启动后使喷淋塔1的内腔形成负压，使含有药液的烟气通过第一管道11输送至气液分离器7的内腔进行气液分离，气液分离器7将含有水汽和颗粒物的烟气进行分离，分离后的洁净的且干燥的气体通过第二排气口9输向第二管道13，再由第二管道13输送至废气净化箱12内，水汽和颗粒物通过水汽出口10向外排出，废气净化箱12的内腔的紫外线灯管23对气体进行紫外线杀菌，气体通过紫外线灯管23后流向PP棉过滤层24进行再次干燥过滤，在经过活性炭过滤网25的吸附过滤后，将洁净的无菌气体通过喷淋塔1向外排出，有效的减少了产线工人的吸入性伤害以及减少了大气的污染。

引风机5的型号为：YN5-47，气液分离器7的型号为：ZQS-FL，水泵20的型号为：ZB-800A。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体生产用废气回收装置，包括喷淋塔(1)，其特征在于：所述喷淋塔(1)的内腔底部设有药液池(15)，所述药液池(15)的上方螺丝连接有过滤网格(16)，所述喷淋塔(1)的内腔顶部设有喷洒管(17)，所述喷洒管(17)的外壁底部连通有雾化喷头(18)，所述喷淋塔(1)的外壁右侧设有第一排气口(3)，所述喷淋塔(1)的外壁右侧位于第一排气口(3)的下方螺丝连接有引风机(5)，所述喷淋塔(1)的外壁底部焊接有箱体(6)，所述箱体(6)的内腔底部螺丝连接有水泵(20)，所述喷淋塔(1)的右侧设有气液分离器(7)，所述气液分离器(7)的右侧设有废气净化箱(12)，所述废气净化箱(12)的内腔左侧均匀分布有紫外线灯管(23)，所述紫外线灯管(23)的右侧设有PP棉过滤层(24)，所述PP棉过滤层(24)的右侧设有活性炭过滤网(25)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产用废气回收装置，其特征在于：所述喷淋塔(1)的外壁左侧顶部设有第一进气口(2)，所述水泵(20)的进水端连通有抽水管(21)，所述抽水管(21)的一侧贯穿于喷淋塔(1)的外壁底部右侧并延伸至药液池(15)内，所述水泵(20)的出水端连通有输水管(22)，所述输水管(22)的一侧贯穿于箱体(6)的外壁顶部向上延伸并与喷洒管(17)的右侧相连通。

3.根据权利要求1所述的一种半导体生产用废气回收装置，其特征在于：所述喷淋塔(1)的内腔顶部左右两侧均螺丝连接有卡扣(19)，所述卡扣(19)的内壁与喷洒管(17)的外壁相套接，所述雾化喷头(18)的数量至少为三个，所述第一排气口(3)的右侧连通有第一管道(11)，所述气液分离器(7)的外壁左侧设有第二进气口(8)，所述第一管道(11)的一侧与第二进气口(8)相连通。

4.根据权利要求1所述的一种半导体生产用废气回收装置，其特征在于：所述气液分离器(7)的右侧设有第二排气口(9)，所述第二排气口(9)的外壁顶部设有水汽出口(10)，所述第二排气口(9)连通有第二管道(13)，所述第二管道(13)的一侧与废气净化箱(12)的外壁左侧相连通，所述废气净化箱(12)的外壁右侧设有第三排气口(14)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体生产用废气回收装置，其特征在于：所述引风机(5)的进风端与第一排气口(3)的外壁底部相连通。

6.根据权利要求1所述的一种半导体生产用废气回收装置，其特征在于：所述喷淋塔(1)的外壁底部左侧设有注水口(4)，所述注水口(4)的一侧与喷淋塔(1)的内腔底部相连通。

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