CN212959151U - 一种真空分子泵的抽速调节装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空分子泵的抽速调节装置，包括：分子泵壳体、连接座、连接支架、驱动电机、驱动丝杆、螺纹圈、调节盖板、滑套、滑柱，所述的连接座为圆环形，连接座固接在分子泵壳体进气口的端口内侧，所述的驱动电机通过连接支架固接在连接座的中心位置，所述的驱动丝杆固接在驱动电机的输出轴上，所述的调节盖板为圆盘形，调节盖板的半径与连接座内孔半径对应，所述的螺纹圈固接在调节盖板的中心位置，且螺纹圈与驱动丝杆通过螺纹连接，所述的滑套设置有多个，多个滑套均匀固接在调节盖板的外侧，所述的滑柱竖直固接在连接座的上端面，且滑柱滑动连接在滑套内。本实用新型具有结构简单、使用方便、使用效果好等优点。

Description

一种真空分子泵的抽速调节装置

技术领域

本实用新型涉及分子泵配套辅助设备技术领域，具体为一种真空分子泵的抽速调节装置。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵；通常来说，通过调节分子泵转速，来调节气体的抽速，从而改变工艺压力；但是分子泵转速调节因分子泵的特性不同，调节范围有一定的限制；另外，分子泵的寿命也和自身转速有密切关系，运行在最佳转速时寿命最长，通过调节分子泵转速的方式调节工艺压力，对分子泵寿命有所影响。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空分子泵的抽速调节装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空分子泵的抽速调节装置，包括：分子泵壳体、连接座、连接支架、驱动电机、驱动丝杆、螺纹圈、调节盖板、滑套、滑柱，所述的分子泵壳体为分子泵的主壳体，所述的连接座为圆环形，连接座固接在分子泵壳体进气口的端口内侧，所述的驱动电机通过连接支架固接在连接座的中心位置，所述的驱动丝杆固接在驱动电机的输出轴上，所述的调节盖板为圆盘形，调节盖板的半径与连接座内孔半径对应，所述的螺纹圈固接在调节盖板的中心位置，且螺纹圈与驱动丝杆通过螺纹连接，所述的滑套设置有多个，多个滑套均匀固接在调节盖板的外侧，所述的滑柱竖直固接在连接座的上端面，且滑柱滑动连接在滑套内。

进一步的，所述的分子泵壳体上设置有连接线通孔，连接线通孔供驱动电机的信号线穿过，且连接线通孔处密封处理。

进一步的，所述的驱动电机输出端设置有减速机构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型的真空分子泵的抽速调节装置，通过在分子泵的进气口端，设置进气调节装置，来控制进气量，在分子泵转轴转速不变的情况下，从而实现控制分子泵抽真空的速度；具体来说，通过信号线来给驱动电机供电以及控制转动，从而让调节盖板上下移动，即可实现改变进气口的大小，从而控制进气量。

本实用新型具有结构简单、使用方便、使用效果好等优点。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图中：1-分子泵壳体；2-连接座；3-连接支架；4-驱动电机；5-驱动丝杆；6-螺纹圈；7-调节盖板；8-滑套；9-滑柱；10-连接线通孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实用新型提供了一种真空分子泵的抽速调节装置，包括：分子泵壳体1、连接座2、连接支架3、驱动电机4、驱动丝杆5、螺纹圈6、调节盖板7、滑套8、滑柱9，所述的分子泵壳体1为分子泵的主壳体，所述的连接座2为圆环形，连接座2固接在分子泵壳体1进气口的端口内侧，所述的驱动电机4通过连接支架3固接在连接座2的中心位置，所述的驱动丝杆5固接在驱动电机4的输出轴上，所述的调节盖板7为圆盘形，调节盖板7 的半径与连接座2内孔半径对应，所述的螺纹圈6固接在调节盖板7的中心位置，且螺纹圈6与驱动丝杆5通过螺纹连接，所述的滑套8设置有多个，多个滑套8均匀固接在调节盖板7的外侧，所述的滑柱9竖直固接在连接座2 的上端面，且滑柱9滑动连接在滑套8内。

进一步的，所述的分子泵壳体1上设置有连接线通孔10，连接线通孔10 供驱动电机4的信号线穿过，且连接线通孔10处密封处理。

进一步的，所述的驱动电机4输出端设置有减速机构。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种真空分子泵的抽速调节装置，包括：分子泵壳体(1)、连接座(2)、连接支架(3)、驱动电机(4)、驱动丝杆(5)、螺纹圈(6)、调节盖板(7)、滑套(8)、滑柱(9)，所述的分子泵壳体(1)为分子泵的主壳体，其特征在于，所述的连接座(2)为圆环形，连接座(2)固接在分子泵壳体(1)进气口的端口内侧，所述的驱动电机(4)通过连接支架(3)固接在连接座(2)的中心位置，所述的驱动丝杆(5)固接在驱动电机(4)的输出轴上，所述的调节盖板(7)为圆盘形，调节盖板(7)的半径与连接座(2)内孔半径对应，所述的螺纹圈(6)固接在调节盖板(7)的中心位置，且螺纹圈(6)与驱动丝杆(5)通过螺纹连接，所述的滑套(8)设置有多个，多个滑套(8)均匀固接在调节盖板(7)的外侧，所述的滑柱(9)竖直固接在连接座(2)的上端面，且滑柱(9)滑动连接在滑套(8)内。

2.根据权利要求1所述的一种真空分子泵的抽速调节装置，其特征在于，所述的分子泵壳体(1)上设置有连接线通孔(10)，连接线通孔(10)供驱动电机(4)的信号线穿过，且连接线通孔(10)处密封处理。

3.根据权利要求1所述的一种真空分子泵的抽速调节装置，其特征在于，所述的驱动电机(4)输出端设置有减速机构。

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