CN212948151U - 一种贴膜机换刀治具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了晶圆贴膜领域内的一种贴膜机换刀治具，包括矩形基座，所述基座上设置有相互对称的左固定块和右固定块，左固定块和右固定块之间设置有放置刀头的定位槽，刀头的左右两侧均设置有向外伸出的凸块，左固定块和右固定块靠近相应凸块的一侧均开设有卡槽，凸块卡入相应卡槽内并贴靠着卡槽内壁，基座上对应刀头设置有可沿基座长度方向移动的滑动座，滑动座上对应刀头设置有推动槽，所述基座的左右两侧均对应滑动座设置有限位块，所述刀头上设置有容纳刀片的刀片安装槽，滑动座移动到与限位块相接触时，所述推动槽的侧壁将刀片推入刀头的刀片安装槽内。本实用新型能够确保割膜刀片安装在统一正确的高度位置，同时提高机台作业效率。
Description
技术领域
本实用新型属于晶圆贴膜领域，特别涉及一种贴膜机换刀治具。
背景技术
现有技术中，DR8500II是半导体制造行业的一种晶圆贴膜机设备，贴膜机是用蓝膜或UV膜将晶圆与铁框固定在一起的设备。
目前DR8500II贴膜机在更换割膜刀片时的更换方式是人员手动更换，手工换刀无工装治具进行控制，人员在装刀过程中刀片的安装高度位置时高时低不好管控；该贴膜机现有的割膜刀片更换方式存在的不足之处在于：割膜刀片安装高度位置时高时低不好管控，易出现割膜品质异常，切割刀片伸出刀头的距离过短时，切割刀片与胶膜的距离过大，会导致胶膜无法被切透；切割刀片伸出距离过长时，刀片与胶膜的距离过短，切割时会导致刀片剐蹭刀晶圆，损伤晶圆的品质；最终导致产品品质异常和降低了机台作业效率。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种贴膜机换刀治具，能够确保人员借助换刀治具更换贴膜机的刀片时，割膜刀片安装在统一正确的高度位置，规避因刀片高度过高或过低问题引起胶膜切割异常的问题，同时提高机台作业效率。
本实用新型的目的是这样实现的：一种贴膜机换刀治具，包括矩形基座，所述基座上设置有相互对称的左固定块和右固定块，左固定块和右固定块分别位于基座宽度方向的左右两侧，左固定块和右固定块之间设置有放置刀头的定位槽，所述刀头支撑在基座上，所述刀头的左右两侧均设置有向外伸出的凸块，左固定块和右固定块靠近相应凸块的一侧均开设有卡槽，所述凸块卡入相应卡槽内并贴靠着卡槽内壁，所述基座上对应刀头设置有可沿基座长度方向移动的滑动座，滑动座下侧设置有与基座滑动连接的滑块，所述滑动座上对应刀头设置有推动槽，所述基座的左右两侧均对应滑动座设置有限位块，所述刀头上设置有容纳刀片的刀片安装槽，滑动座移动到与限位块相接触时，所述推动槽的侧壁将刀片推入刀头的刀片安装槽内。
本实用新型工作时，先将刀头安装在左固定块和右固定块之间，使得凸块卡入卡槽内并确保凸块贴靠着卡槽内壁，再将刀片装入刀头的刀片安装槽内，然后推动滑动座向着刀头移动，刀片的前端正好与推动槽相对应，将滑动座向着刀头推动，使得推动槽推动刀片，滑动座移动到与限位块相接触时，正好将刀片送入刀片安装槽的相应位置，确保刀片安装到位。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：能够确保人员借助换刀治具更换贴膜机的刀片时，割膜刀片安装在统一正确的高度位置，规避因刀片高度过高或过低问题引起胶膜切割异常的问题，同时提高机台作业效率。
作为本实用新型的进一步改进，所述左固定块和右固定块均通过至少两个紧固螺钉与基座相固定连接，刀头的高度高于左固定块、右固定块的高度。
作为本实用新型的进一步改进，所述滑块的宽度大于基座的宽度，滑动座的宽度大于滑块的宽度，所述推动槽设置在滑动座靠近刀头的一侧，推动槽呈矩形，推动槽的槽深小于滑动座的高度，推动槽的上侧与滑动座的上表面相平齐，推动槽与刀片安装槽相对应设置。推动槽的槽壁与刀片接触，正好将刀片推入刀片安装槽，实现安装到位。
作为本实用新型的进一步改进，所述滑动座采用塑料制成。塑料材质的滑动座可以避免刀片被刮伤。
作为本实用新型的进一步改进，所述滑动座上固定连接有两根相互平行的推动螺栓，推动螺栓与基座的长度方向平行。通过推动螺栓可以推动滑动座沿着基座移动。
附图说明
图1为本实用新型的俯视图。
图2为本实用新型使用时的结构示意图。
图3为图2的A-A向剖视图。
图4为图2的B-B向剖视图。
图5为本实用新型的主视图。
其中，1基座，2左固定块，3右固定块，4定位槽，5刀头，5a凸块，6卡槽，7滑动座，8滑块，9推动槽，10限位块，11刀片安装槽，12刀片，13紧固螺钉，14推动螺栓。
具体实施方式
如图1-5所示，为一种贴膜机换刀治具，包括矩形基座1，基座1上设置有相互对称的左固定块2和右固定块3，左固定块2和右固定块3分别位于基座1宽度方向的左右两侧，左固定块2和右固定块3之间设置有放置刀头5的定位槽4，刀头5支撑在基座1上，刀头5的左右两侧均设置有向外伸出的凸块5a，左固定块2和右固定块3靠近相应凸块5a的一侧均开设有卡槽6，凸块5a卡入相应卡槽6内并贴靠着卡槽6内壁，基座1上对应刀头5设置有可沿基座1长度方向移动的滑动座7，滑动座7下侧设置有与基座1滑动连接的滑块8，滑动座7上对应刀头5设置有推动槽9，基座1的左右两侧均对应滑动座7设置有限位块10，刀头5上设置有容纳刀片12的刀片安装槽11，滑动座7移动到与限位块10相接触时，推动槽9的侧壁将刀片12推入刀头5的刀片安装槽11内。左固定块2和右固定块3均通过至少两个紧固螺钉13与基座1相固定连接，刀头5的高度高于左固定块2、右固定块3的高度。滑块8的宽度大于基座1的宽度，滑动座7的宽度大于滑块8的宽度，推动槽9设置在滑动座7靠近刀头5的一侧，推动槽9呈矩形，推动槽9的槽深小于滑动座7的高度，推动槽9的上侧与滑动座7的上表面相平齐，推动槽9与刀片安装槽11相对应设置。滑动座7采用塑料制成。滑动座7上固定连接有两根相互平行的推动螺栓14，推动螺栓14与基座1的长度方向平行。
本实用新型工作时，先将刀头5安装在左固定块2和右固定块3之间，使得凸块5a卡入卡槽6内并确保凸块5a贴靠着卡槽6内壁，再将刀片12装入刀头5的刀片安装槽11内，然后推动滑动座7向着刀头5移动，刀片12的前端正好与推动槽9相对应，将滑动座7向着刀头5推动，使得推动槽9推动刀片12，滑动座7移动到与限位块10相接触时，正好将刀片12送入刀片安装槽11的相应位置，确保刀片12安装到位。本实用新型的优点在于：能够确保人员借助换刀治具更换贴膜机的刀片时，割膜刀片安装在统一正确的高度位置，规避因刀片高度过高或过低问题引起胶膜切割异常的问题，同时提高机台作业效率。
本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。
Claims (5)
1.一种贴膜机换刀治具，其特征在于，包括矩形基座，所述基座上设置有相互对称的左固定块和右固定块，左固定块和右固定块分别位于基座宽度方向的左右两侧，左固定块和右固定块之间设置有放置刀头的定位槽，所述刀头支撑在基座上，所述刀头的左右两侧均设置有向外伸出的凸块，左固定块和右固定块靠近相应凸块的一侧均开设有卡槽，所述凸块卡入相应卡槽内并贴靠着卡槽内壁，所述基座上对应刀头设置有可沿基座长度方向移动的滑动座，滑动座下侧设置有与基座滑动连接的滑块，所述滑动座上对应刀头设置有推动槽，所述基座的左右两侧均对应滑动座设置有限位块，所述刀头上设置有容纳刀片的刀片安装槽，滑动座移动到与限位块相接触时，所述推动槽的侧壁将刀片推入刀头的刀片安装槽内。
2.根据权利要求1所述的一种贴膜机换刀治具，其特征在于，所述左固定块和右固定块均通过至少两个紧固螺钉与基座相固定连接，刀头的高度高于左固定块、右固定块的高度。
3.根据权利要求1或2所述的一种贴膜机换刀治具，其特征在于，所述滑块的宽度大于基座的宽度，滑动座的宽度大于滑块的宽度，所述推动槽设置在滑动座靠近刀头的一侧，推动槽呈矩形，推动槽的槽深小于滑动座的高度，推动槽的上侧与滑动座的上表面相平齐，推动槽与刀片安装槽相对应设置。
4.根据权利要求3所述的一种贴膜机换刀治具，其特征在于，所述滑动座采用塑料制成。
5.根据权利要求1或2所述的一种贴膜机换刀治具，其特征在于，所述滑动座上固定连接有两根相互平行的推动螺栓，推动螺栓与基座的长度方向平行。
Priority Applications (1)
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| CN202021777679.2U CN212948151U (zh) | 2020-08-24 | 2020-08-24 | 一种贴膜机换刀治具 |
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2020
- 2020-08-24 CN CN202021777679.2U patent/CN212948151U/zh active Active
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