CN212905897U - 一种用于动子座的散热装置及曝光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种用于动子座的散热装置及曝光机，所述散热装置包括连接座和水冷板，水冷板通过连接座设置于动子座的一侧，水冷板包括板体、设置于板体上的水冷槽及容置于水冷槽内的水冷管，水冷管包括至少一个进水口和至少一个出水口。本实用新型通过在动子座下方设置对其散热的水冷板，减小了动子座发热对平台的影响。

Description

一种用于动子座的散热装置及曝光机

技术领域

本实用新型涉及一种动子座散热技术，尤其是涉及一种用于动子座的散热装置及曝光机。

背景技术

光刻技术是一种将掩模图案曝光成像到基底上，或者激光直接曝光成像到基板上的工艺技术。在光刻过程中，基底放在工件台上，通过位于光刻设备内的曝光装置，将掩模图案或激光投射到基底表面。光刻是半导体制造过程中的关键工序，光刻机用于完成半导体制造中的光刻工艺。在光刻机中，工件台用于承载硅片或基板、并携带硅片或基板在光刻机投影物镜下完成与掩模台或激光发射器相配合的曝光运动。

在工件台运动的过程中，其上的动子座在长期的高速运行状态下会发热，容易造成工作台、硅片或基板的变形，影响曝光装置的对位精度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种能够对运行中的动子座进行及时散热的用于动子座的散热装置及曝光机。

为实现上述目的，本实用新型提出如下技术方案：一种用于动子座的散热装置，动子座设置在曝光机上，用于承载被曝光物体，所述散热装置包括连接座和水冷板，所述水冷板通过连接座设置于动子座的一侧，所述水冷板包括板体、设置于所述板体上的水冷槽及容置于所述水冷槽内的水冷管，所述水冷管包括至少一个进水口和至少一个出水口。

优选地，所述连接座的上端与动子座的底端相紧贴，所述连接座的下端与水冷板的顶端相紧贴，所述水冷槽设置于所述水冷板的顶端上。

优选地，所述动子座与连接座之间、所述连接座与水冷板之间可拆卸式连接。

优选地，所述连接座为一端开口的框体。

优选地，所述水冷槽为自板体的顶端向下凹陷形成的凹槽。

优选地，所述水冷管的形状与水冷槽的形状相配合对应。

优选地，所述水冷槽包括水冷管入口、槽体和水冷管出口，所述槽体在板体上按S形分布。

优选地，所述水冷管入口和水冷管出口设置于板体的同一侧。

优选地，所述水冷管为金属材质或塑料软管，且所述水冷管内注入水或者其他冷却液。

本实用新型提出的另外一种技术方案：一种曝光机，所述曝光机包括曝光设备和可相对所述曝光设备运动的动子座，所述动子座用于承载被曝光物体，所述曝光机还包括所述用于动子座的散热装置。

本实用新型的有益效果是：通过在动子座下方设置对其散热的水冷板，利用水冷板中水冷液的循环流动及时带走热量，可以及时将动子座在运行状态下产生的热量散发出去，减小了动子座发热对平台、被曝光物体的影响。

附图说明

图1是本实用新型散热装置与动子座组装后的立体结构示意图；

图2是本实用新型散热装置的立体结构示意图；

图3是本实用新型水冷板(不带水冷管)的立体结构示意图；

图4是本实用新型曝光机的立体结构示意图。

附图标记：

1、动子座，2、连接座，3、水冷板，31、板体，32、水冷槽，321、水冷管入口，322、槽体，323、水冷管出口，4、曝光机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型的附图，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。

本实用新型所揭示的一种用于动子座的散热装置及曝光机10，动子座1设置在曝光机10上，用于承载被曝光物体(图未示)，通过在动子座1下方设置对其散热的水冷板3，可以及时将动子座1在运行状态下产生的热量散发出去。

结合图1和图2所示，本实用新型所揭示的一种用于动子座的散热装置，包括连接座2和水冷板3，水冷板3通过连接座2设置于动子座1的一侧，用于对动子座1进行散热。

具体地，连接座2位于动子座1的下方，且其的一端与动子座1的底端相紧贴，另一端与水冷板3的顶端相紧贴，用于连接动子座1和水冷板3。本实施例中，连接座2整体为一端开口的框体结构，具体为具有一定高度的长方体框体。连接座2的设置，一方面可以调节动子座1在平台(图未示)上的高度，另一方面其内形成的容纳空间也可以容纳平台所需的其他部件。

优选地，连接座2和动子座1之间、连接座2和水冷板3之间可拆卸式连接。具体可通过紧固螺栓(图未示)实现可拆卸式连接，可拆卸式的连接结构可以方便连接座2和水冷板3的拆卸和更换。当然，在其他可替换实施例中，连接座2和动子座1之间、连接座2和水冷板3之间也可以是不可拆卸式连接，如焊接。

水冷板3位于连接座2的下方，结合图3所示，其具体包括板体31、水冷槽32及水冷管(图未示)，板体31与连接座2固定连接，水冷槽32设置于板体31上，用于容纳水冷管。具体地，水冷槽32为由板体31与连接座2紧贴的端部向下凹陷形成的凹槽，水冷槽32在板体31上的排布形状与水冷管的形状相对应。本实施例中，水冷槽32具体包括水冷管入口321、槽体322和水冷管出口323，槽体322的两端分别与水冷管入口321和水冷管出口323相连接。本实施例中，水冷管入口321和水冷管出口323设置于板体31的同一侧。当然，在其他实施例中，水冷管入口321和水冷管出口323也可以设置于板体31的异侧，且水冷管入口321和水冷管出口323也可以设置多个，且在槽体322上的设置位置也可以根据实际需要调整，本实用新型对此不作限定。

槽体322在板体31上按S形分布，该S形分布的设计可以使得水冷管散热均匀。水冷槽32在板体31上的设置深度也与水冷管的粗细大小而定，至少能将水冷管容纳于水冷槽32内。另外，本实用新型对水冷槽32在板体31上的分布形状并不做具体限定，只要能实现容纳水冷管的凹槽均适用于本实用新型。

水冷管布置于板体31的水冷槽32内，其形状与水冷槽32的形状对应，且其具有进水口(图未示)和出水口(图未示)，其中，进水口与水冷槽32的水冷管入口321相对应，出水口与水冷槽32的水冷管出口323相对应。水冷管的材质可以是塑料或者金属材质，优选导热性能较好的金属材质，如铜管。且水冷管内注入的可以是水或也可以是其他冷却液。

同一块水冷板1也可以设计多个进水口和出水口，依照工况需求，更换使用进水口和出水口，满足不同的冷却优先需求。具体地，靠近进水口的冷却液温度较低，吸热能力较强，随着在流动路径上不断吸热，吸热能力逐渐下降。因此可以依照冷却的优先顺序设计冷却液的流经的先后顺序。如需优先冷却中心位置，则设计在流动路径的中心位置设置进水口，在流动路径的两端各设置一出水口，这样，冷却液先流经中心位置，后流向四周；如需优先冷却四周，则设计在流动路径的两端各设置一进水口，在流动路径的中心设置出水口，这样，冷却液先流经四周，后流向中心位置。本实施例中，冷却液从一端流向另一端，因而冷却的优先顺序也是从流动路径的一端流向另一端。

如图4所示，本实用新型所揭示的一种曝光机4，所述曝光机包括曝光设备、可相对曝光设备运动的动子座1，及上述用于动子座的散热装置，在平台运动的过程中，水冷板3会对平台上的动子座1进行及时散热，从而减小了动子座1发热对平台的影响。

本实用新型的技术内容及技术特征已揭示如上，然而熟悉本领域的技术人员仍可能基于本实用新型的教示及揭示而作种种不背离本实用新型精神的替换及修饰，因此，本实用新型保护范围应不限于实施例所揭示的内容，而应包括各种不背离本实用新型的替换及修饰，并为本专利申请权利要求所涵盖。

Claims (10)

1.一种用于动子座的散热装置，动子座设置在曝光机上，用于承载被曝光物体，其特征在于，所述散热装置包括连接座和水冷板，所述水冷板通过所述连接座设置于动子座的一侧，所述水冷板包括板体、设置于所述板体上的水冷槽及容置于所述水冷槽内的水冷管，所述水冷管包括至少一个进水口和至少一个出水口。

2.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述连接座的一端与动子座相紧贴，所述连接座的另一端与水冷板相紧贴，所述水冷槽设置于所述水冷板与连接座相贴的一端上。

3.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，动子座与所述连接座之间、所述连接座与所述水冷板之间可拆卸式连接。

4.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述连接座为一端开口的框体。

5.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷槽为自板体的端部向下凹陷形成的凹槽。

6.根据权利要求1或5所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷管的形状与水冷槽在板体上的排布形状相对应。

7.根据权利要求6所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷槽包括水冷管入口、槽体和水冷管出口，所述槽体在板体上按S形分布。

8.根据权利要求7所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷管入口和水冷管出口设置于板体的同一侧。

9.根据权利要求1所述的用于动子座的散热装置，其特征在于，所述水冷管为金属材质或塑料软管，且所述水冷管内注入水或者其他冷却液。

10.一种曝光机，所述曝光机包括曝光设备和可相对所述曝光设备运动的动子座，所述动子座用于承载被曝光物体，其特征在于，所述曝光机还包括上述权利要求1～9任意一项所述的用于动子座的散热装置。

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