CN212891132U - 一种晶圆的防破片真空包装机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆的防破片真空包装机，包括左侧架和右侧架，所述左侧架和右侧架的顶部均连接有支撑台，且左侧架和右侧架通过横板连接，所述横板位于支撑台的下方，所述支撑台与横板之间通过顶架连接，所述横板的顶部连接有底座，且底座的顶部安装有真空吸泵，所述真空吸泵的一端连通有连接管道。该晶圆的防破片真空包装机，当袋内空气变少，抽力受阻，抽力会自动分配到开启的旁通阀体，防止盒子形变，当旁通阀体开启，真空吸嘴抽力小于盒子承压能力，只能将袋子与盒体之间的空气抽走，不会将盒子内的空气抽走，避免盒子形变导致破片，在这样的方式下，还能确保每一个包装内真空度一致，袋子松紧度一致。

Description

一种晶圆的防破片真空包装机

技术领域

本实用新型涉及晶圆包装机技术领域，具体为一种晶圆的防破片真空包装机。

背景技术

晶圆生产出来后，出货时，先将晶圆放入晶圆盒内，再将晶圆盒放入屏蔽袋或铝箔袋内进行真空包装。

但是，传统的包装设备运行时，由于放置减薄片的盒子是不密封的，而且抗压性不足，在真空包装的过程中，盒子内的空气被抽走，受大气挤压导致盒体形变，极易导致盒内减薄片破损。并且，由于减薄片的敏感性，如果不抽真空或者降低包装真空度，袋内空气会导致减薄片氧化，同时空气内的水分会影响减薄片的品质，导致产品报废。为此需要设计一种晶圆的防破片真空包装机，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆的防破片真空包装机，以解决上述背景技术提出的目前市场上传统的包装设备运行时，由于放置减薄片的盒子是不密封的，而且抗压性不足，在真空包装的过程中，盒子内的空气被抽走，受大气挤压导致盒体形变，极易导致盒内减薄片破损。并且，由于减薄片的敏感性，如果不抽真空或者降低包装真空度，袋内空气会导致减薄片氧化，同时空气内的水分会影响减薄片的品质，导致产品报废的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆的防破片真空包装机，包括左侧架和右侧架，所述左侧架和右侧架的顶部均连接有支撑台，且左侧架和右侧架通过横板连接，所述横板位于支撑台的下方，所述支撑台与横板之间通过顶架连接，所述横板的顶部连接有底座，且底座的顶部安装有真空吸泵，所述真空吸泵的一端连通有连接管道，且连接管道远离真空吸泵的一端连通有真空吸嘴，所述连接管道的表面连通有旁通管道，且旁通管道的表面设有旁通阀体，所述旁通管道远离连接管道的一端呈开口状，所述支撑台的顶部设有包装机构，防护板的顶部连接有操控台，所述支撑台的底部安装有输送装置，所述支撑台的一侧连接有凸起，所述凸起为橡塑凸状。

优选的，所述左侧架和右侧架的背面均连接有延伸架，所述延伸架底部的后侧连接有竖架，所述竖架的底部连接有支腿。

优选的，所述支撑台的底部连接有斜杆，所述斜杆的另一端与横板的顶部连接，且斜杆倾斜设置。

优选的，所述支撑台、横板和斜杆构成防护机构，且真空吸泵位于防护机构的内部。

优选的，所述横板的底部连接有护具，且护具的底部活动安装有万向轮，所述万向轮的数量为四个，且四个万向轮分别位于横板底部的四角。

优选的，所述防护板的一端通过锁栓与支撑台的一侧活动安装，所述左侧架通过锁栓与横板活动安装，所述锁栓的数量为四个，且四个锁栓呈矩形排列。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)该晶圆的防破片真空包装机，刚开始真空抽气时，旁通阀体处于关闭状态，当真空抽气进度达到预设时间，旁通阀体开启，让真空吸泵同时抽袋内气体和外部大气，从而防止出现过抽的情况，安全可靠。

(2)该晶圆的防破片真空包装机，当袋内空气变少，抽力受阻，抽力会自动分配到开启的旁通阀体，防止盒子形变，当旁通阀体开启，真空吸嘴抽力小于盒子承压能力，只能将袋子与盒体之间的空气抽走，不会将盒子内的空气抽走，避免盒子形变导致破片，在这样的方式下，还能确保每一个包装内真空度一致，袋子松紧度一致。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型结构侧视图；

图3为本实用新型结构俯视图；

图4为本实用新型结构真空吸泵与旁通阀体的连接结构立体图。

图中：1、左侧架；2、右侧架；3、支撑台；4、顶架；5、横板；6、底座；7、真空吸泵；8、防护板；9、包装机构；10、操控台；11、输送装置； 12、斜杆；13、连接管道；14、真空吸嘴；15、旁通管道；16、旁通阀体； 17、锁栓；18、凸起；19、护具；20、万向轮；21、延伸架；22、竖架；23、支腿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆的防破片真空包装机，包括左侧架1和右侧架2，左侧架1和右侧架2的顶部均连接有支撑台 3，且左侧架1和右侧架2通过横板5连接，横板5位于支撑台3的下方，支撑台3与横板5之间通过顶架4连接，横板5的顶部连接有底座6，且底座6 的顶部安装有真空吸泵7，真空吸泵7的一端连通有连接管道13，且连接管道13远离真空吸泵7的一端连通有真空吸嘴14，连接管道13的表面连通有旁通管道15，且旁通管道15的表面设有旁通阀体16，旁通管道15远离连接管道13的一端呈开口状，支撑台3的顶部设有包装机构9，防护板8的顶部连接有操控台10，支撑台3的底部安装有输送装置11，支撑台3的一侧连接有凸起18，凸起18为橡塑凸状。

左侧架1和右侧架2的背面均连接有延伸架21，延伸架21底部的后侧连接有竖架22，竖架22的底部连接有支腿23，支腿23对包装机进行支撑，避免发生滑动，并且利用几何原理使得包装机更加稳定。

支撑台3的底部连接有斜杆12，斜杆12的另一端与横板5的顶部连接，且斜杆12倾斜设置，斜杆12有效的加强了包装机整体框架的牢固性。

支撑台3、横板5和斜杆12构成防护机构，且真空吸泵7位于防护机构的内部，防护机构对真空吸泵7的进行保护，避免人为触碰到传动机构，从而避免操作不当受伤。

横板5的底部连接有护具19，且护具19的底部活动安装有万向轮20，万向轮20的数量为四个，且四个万向轮20分别位于横板5底部的四角，万向轮20使得包装机的运输和移动更加便捷，从而方便使用和维护。

防护板8的一端通过锁栓17与支撑台3的一侧活动安装，左侧架1通过锁栓17与横板5活动安装，锁栓17的数量为四个，且四个锁栓17呈矩形排列，锁栓17使得包装机的组装更加快捷，并且安装更加牢固，避免零件发生松弛。

工作原理：在使用该晶圆的防破片真空包装机时，使用者先检查真空包装机整体的情况，确保能够正常运行，晶圆置于盒子内部并将包装袋包裹，同时将包装袋与真空吸嘴14连通，包装机构9对包装袋和真空吸嘴14进行定位，启动真空吸泵7，当刚开始真空抽气时，旁通阀体16处于关闭状态，当真空抽气进度达到预设时间，旁通阀体16开启，让真空吸泵7同时抽袋内气体和外部大气，从而防止出现过抽的情况，当袋内空气变少，抽力受阻，抽力会自动分配到开启的旁通阀体16，防止盒子形变，当旁通阀体16开启，真空吸嘴14抽力小于盒子承压能力，只能将袋子与盒体之间的空气抽走，不会将盒子内的空气抽走，避免盒子形变导致破片，在这样的方式下，还能确保每一个包装内真空度一致，袋子松紧度一致，安全可行，效率高。本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆的防破片真空包装机，包括左侧架(1)和右侧架(2)，其特征在于：所述左侧架(1)和右侧架(2)的顶部均连接有支撑台(3)，且左侧架(1)和右侧架(2)通过横板(5)连接，所述横板(5)位于支撑台(3)的下方，所述支撑台(3)与横板(5)之间通过顶架(4)连接，所述横板(5)的顶部连接有底座(6)，且底座(6)的顶部安装有真空吸泵(7)，所述真空吸泵(7)的一端连通有连接管道(13)，且连接管道(13)远离真空吸泵(7)的一端连通有真空吸嘴(14)，所述连接管道(13)的表面连通有旁通管道(15)，且旁通管道(15)的表面设有旁通阀体(16)，所述旁通管道(15)远离连接管道(13)的一端呈开口状，所述支撑台(3)的顶部设有包装机构(9)，防护板(8)的顶部连接有操控台(10)，所述支撑台(3)的底部安装有输送装置(11)，所述支撑台(3)的一侧连接有凸起(18)，所述凸起(18)为橡塑凸状。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的防破片真空包装机，其特征在于：所述左侧架(1)和右侧架(2)的背面均连接有延伸架(21)，所述延伸架(21)底部的后侧连接有竖架(22)，所述竖架(22)的底部连接有支腿(23)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆的防破片真空包装机，其特征在于：所述支撑台(3)的底部连接有斜杆(12)，所述斜杆(12)的另一端与横板(5)的顶部连接，且斜杆(12)倾斜设置。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆的防破片真空包装机，其特征在于：所述支撑台(3)、横板(5)和斜杆(12)构成防护机构，且真空吸泵(7)位于防护机构的内部。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆的防破片真空包装机，其特征在于：所述横板(5)的底部连接有护具(19)，且护具(19)的底部活动安装有万向轮(20)，所述万向轮(20)的数量为四个，且四个万向轮(20)分别位于横板(5)底部的四角。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆的防破片真空包装机，其特征在于：所述防护板(8)的一端通过锁栓(17)与支撑台(3)的一侧活动安装，所述左侧架(1)通过锁栓(17)与横板(5)活动安装，所述锁栓(17)的数量为四个，且四个锁栓(17)呈矩形排列。

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