CN212874459U - 一种适用于管式pecvd设备的石墨舟推舟装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，包括：推舟承重机构，其包括偶数根平行且间隔设置的推舟杆；以及推舟夹持机构，其包括连接杆以及依次套设于连接杆上的至少两个夹持连接件；其中，所述连接杆的一端连接有推舟固定机构，另一端通过所述夹持连接件与所述推舟杆相连；每个所述夹持连接件包括主连接套以及关于所述主连接套对称布置的偶数个夹持连接套，两两所述夹持连接套相结合并一体式地结合至所述主连接套的外周，每个夹持连接件上的夹持连接套的数目与推舟杆的数目相对应。根据本实用新型，其在提高了推舟杆装配稳定性的同时也提高了连接杆的装配稳定性，最终提高了石墨舟推舟装置在承托多组石墨舟时的稳定性。

Description

一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏电池领域，特别涉及一种适用于管式PECVD 设备的石墨舟推舟装置。

背景技术

太阳能电池是一种具有光-电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏収电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达 35％左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。

薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气象沉积(PVD)和化学气象沉积(CVD)。等离子增强型化学气相沉积(PECVD)是化学气相沉积的一种，PECVD(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物，其沉积温度低是其最突出的优点。PECVD的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性。

在太阳能光伏代持领域中，采用不同结构形式的石墨舟推舟装置来将石墨舟推入真空反应炉管或者从真空反应炉管中取出是众所周知的。在研究和实现石墨舟推入真空反应炉管或者从真空反应炉管中取出的过程中，实用新型人发现现有技术中的石墨舟推舟装置至少存在如下问题：

随着PECVD设备的产能要求越来越高，由最初的单管240片发展到现在的660片，石墨舟的尺寸也在不断加大，由于石墨的强度问题决定了其不可能无限增大，故推出了单管中并排放置至少两组石墨舟的多石墨舟放置模式，多石墨舟放置模式势必使得石墨舟推舟装置上的推舟杆适应性增长，这就使得当推舟杆上承托多组石墨舟时，石墨舟推舟装置无法保证长时间工作所需的稳定性。

有鉴于此，实有必要开发一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，用以解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的主要目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其通过在连接杆的一端连接推舟固定机构，在连接杆的另一端套设至少两个夹持连接件来实现与推舟杆的连接，在提高了推舟杆装配稳定性的同时也提高了连接杆的装配稳定性，最终提高了石墨舟推舟装置在承托多组石墨舟时的稳定性。

本实用新型的另一个目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其仅通过在第一卡接板及第二卡接板上分别开设有第一卡接孔及第二卡接孔实现了对推舟夹持机构的可拆卸式稳定夹持。

本实用新型的另一个目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其通过在所述第一卡接孔的边缘开设有与其连通的第一调节槽，实现了对推舟夹持机构在竖直平面内的俯仰角度调整。

本实用新型的另一个目的是，提供一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其通过在第二卡接孔的边缘沿其周向开设有偶数个与其连通的第二调节槽，实现了对推舟夹持机构在水平面内的摆动角度调整。

为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点，提供了一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，包括：

用于承托石墨舟的推舟承重机构，其包括偶数根平行且间隔设置的推舟杆；以及

推舟夹持机构，其包括连接杆以及依次套设于连接杆上的至少两个夹持连接件；

其中，所述连接杆的一端连接有推舟固定机构，另一端通过所述夹持连接件与所述推舟杆相连；每个所述夹持连接件包括主连接套以及关于所述主连接套对称布置的偶数个夹持连接套，两两所述夹持连接套相结合并一体式地结合至所述主连接套的外周，每个夹持连接件上的夹持连接套的数目与推舟杆的数目相对应。

可选的，所述连接杆从其端部依次穿过每个夹持连接件上的主连接套，每根推舟杆从其端部依次穿过每个夹持连接件上的相应一个夹持连接套以使得两两所述推舟杆保持平行。

可选的，所述主连接套的边缘形成有连通其内外的主调节缝隙，所述主连接套的外周一体式地形成有以所述主调节缝隙为边界的主调节耳，两片主调节耳关于两片主调节缝隙相对设置，所述主调节耳上连接有用于调节主调节缝隙的宽度的主调节件。

可选的，所述夹持连接套的边缘形成有连通其内外的夹持调节缝隙，所述夹持连接套上连接有用于调节夹持调节缝隙的宽度的夹持调节件。

可选的，两两所述推舟杆之间通过至少两片连接板相固接；所述推舟杆上与所述连接杆的端部相接处固接有石墨舟导向块，所述石墨舟导向块的顶部形成倾斜向下延伸的石墨舟导向斜面，并且所述石墨舟导向斜面与所述推舟杆所承托的石墨舟相对。

可选的，每根所述推舟杆的另一端形成有锥形的推舟导向头，并且两两所述推舟杆通过端部连接板固接在所述推舟导向头附近。

可选的，所述推舟固定机构包括：

固定基板；以及

固接于所述固定基板上的第一卡接板与第二卡接板；

其中，所述第一卡接板与第二卡接板沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板及第二卡接板上分别开设有用于穿套连接杆的第一卡接孔及第二卡接孔；所述连接杆从所述大致第一卡接孔出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔及第二卡接孔中。

可选的，所述第一卡接孔与第二卡接孔的孔径大于所述连接杆的径向尺寸。

可选的，所述第一卡接孔的边缘开设有与其连通的第一调节槽，所述第一调节槽中嵌设有：

第一调节楔块；以及

第一调节部件，其与所述第一调节楔块相连接并延伸至第一卡接板的外部；

其中，所述第一调节槽位于第一卡接孔的正下方，所述第一调节楔块可在所述第一调节部件的调节下在所述第一调节槽中往复升降以侵入或撤出所述第一卡接孔。

可选的，所述第二卡接孔的边缘沿其周向开设有偶数个与其连通的第二调节槽，所述第二调节槽被布置为由至少一个调节子集构成，每个调节子集包括关于所述第二卡接孔呈对称设置的一对第二调节槽，每个所述第二调节槽中嵌设有：

第二调节楔块；以及

第二调节部件，其与所述第二调节楔块相连接并延伸至第二卡接板的外部；

其中，每个所述第二调节槽位于所述第二卡接孔的斜下方，所述第二调节楔块可在所述第二调节部件的调节下沿着所述第二调节槽往复滑移以侵入或撤出所述第二卡接孔。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其通过在连接杆的一端连接推舟固定机构，在连接杆的另一端套设至少两个夹持连接件来实现与推舟杆的连接，在提高了推舟杆装配稳定性的同时也提高了连接杆的装配稳定性，最终提高了石墨舟推舟装置在承托多组石墨舟时的稳定性。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其仅通过在第一卡接板及第二卡接板上分别开设有第一卡接孔及第二卡接孔实现了对推舟夹持机构的稳定夹持。

上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：其通过在所述第一卡接孔的边缘开设有与其连通的第一调节槽，实现了对推舟夹持机构在竖直平面内的俯仰角度调整。

上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其通过在第二卡接孔的边缘沿其周向开设有偶数个与其连通的第二调节槽，实现了对推舟夹持机构在水平面内的摆动角度调整。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制，其中：

图1为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置的立体图，图中的推舟杆上承托了两组石墨舟；

图2为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置的立体图；

图3为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置在另一视角下的立体图；

图4为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置中夹持连接件的立体图；

图5为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置中推舟固定机构与推舟夹持机构的连接杆相结合时的立体图；

图6为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置中推舟固定机构的立体图；

图7为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置中的推舟固定机构隐藏了第一卡接板后的左视图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。

涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。

根据本实用新型的一实施方式结合图1～图4的示出，可以看出，适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置包括：

用于承托石墨舟14的推舟承重机构13，其包括偶数根平行且间隔设置的推舟杆131；以及

推舟夹持机构12，其包括连接杆121以及依次套设于连接杆121上的至少两个夹持连接件122；

其中，所述连接杆121的一端连接有推舟固定机构11，另一端通过所述夹持连接件122与所述推舟杆131相连；每个所述夹持连接件122包括主连接套1221以及关于所述主连接套1221对称布置的偶数个夹持连接套1222，两两所述夹持连接套1222相结合并一体式地结合至所述主连接套1221的外周，每个夹持连接件122上的夹持连接套1222的数目与推舟杆131的数目相对应。其通过在连接杆的一端连接推舟固定机构，在连接杆的另一端套设至少两个夹持连接件来实现与推舟杆的连接，在提高了推舟杆装配稳定性的同时也提高了连接杆的装配稳定性，最终提高了石墨舟推舟装置在承托多组石墨舟时的稳定性。在图3及4示出的实施例中，推舟杆131设有两根，相应地，每个夹持连接件122上的夹持连接套1222也设有两个。

再次参照图2及图3，所述连接杆121从其端部依次穿过每个夹持连接件122上的主连接套1221，每根推舟杆131从其端部依次穿过每个夹持连接件122上的相应一个夹持连接套1222以使得两两所述推舟杆131保持平行。

再次参照图4，所述主连接套1221的边缘形成有连通其内外的主调节缝隙1221a，所述主连接套1221的外周一体式地形成有以所述主调节缝隙1221a 为边界的主调节耳1221b，两片主调节耳1221b关于两片主调节缝隙1221a 相对设置，所述主调节耳1221b上连接有用于调节主调节缝隙1221a的宽度的主调节件。主调节件可以为调节螺栓，通过旋进或旋出调节螺栓可以调节主连接套1221与连接杆121的夹持松紧度。

进一步地，所述夹持连接套1222的边缘形成有连通其内外的夹持调节缝隙1222a，所述夹持连接套1222上连接有用于调节夹持调节缝隙1222a的宽度的夹持调节件。夹持调节件也可以为调节螺栓，通过旋进或旋出该调节螺栓可以调节夹持连接套1222与推舟杆131的夹持松紧度。

进一步地，两两所述推舟杆131之间通过至少两片连接板132相固接；所述推舟杆131上与所述连接杆121的端部相接处固接有石墨舟导向块133，所述石墨舟导向块133的顶部形成倾斜向下延伸的石墨舟导向斜面，并且所述石墨舟导向斜面与所述推舟杆131所承托的石墨舟14相对。使用时，前后两组连接板132在工作状态时保持平行，前后连接板132之间保持较大间距，以此来提高降低推舟杆131搬运石墨舟时的费力杠杆效应。

进一步地，每根所述推舟杆131的另一端形成有锥形的推舟导向头1311，并且两两所述推舟杆131通过端部连接板1312固接在所述推舟导向头1311 附近。推舟杆131采用SiC材料制成，连接板132采用铝材料制成，两种硬度相差较大零件夹紧到一起，可形成弹性防松紧固模式，消除冲击造成的紧固件松动问题。

结合图5和图6的示出，可以看出，推舟固定机构11包括：

固定基板111；以及

固接于所述固定基板111上的第一卡接板112与第二卡接板113；

其中，所述第一卡接板112与第二卡接板113沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板112及第二卡接板113上分别开设有用于穿套连接杆121的第一卡接孔1122及第二卡接孔；所述连接杆121从所述大致第一卡接孔1122出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔1122及第二卡接孔中。使用时，将推舟夹持机构12的连接杆121 依次从第二卡接孔及第一卡接孔1122穿过，即可实现对连接杆121的可拆卸式稳定夹持。

在实际使用中，所述第一卡接孔1122与第二卡接孔的孔径略大与所述连接杆121的径向尺寸。如假定连接杆121的径向尺寸为D，则所述第一卡接孔1122与第二卡接孔的孔径可以为1.05D、1.1D或1.2D。

为了将插入第一卡接孔1122的连接杆121进行进一步紧固以及调节连接杆121在竖直平面内的俯仰角度，在所述第一卡接孔1122的边缘开设有与其连通的第一调节槽1121，所述第一调节槽1121中嵌设有：

第一调节楔块1123；以及

第一调节部件，其与所述第一调节楔块1123相连接并延伸至第一卡接板 112的外部；

其中，所述第一调节槽1121位于第一卡接孔1122的正下方，所述第一调节楔块1123可在所述第一调节部件的调节下在所述第一调节槽1121中往复升降以侵入或撤出所述第一卡接孔1122。在实际使用过程中，第一调节部件可以为与第一调节楔块1123连接的升降调节螺栓，通过旋入或旋出升降调节螺栓可以调节第一调节楔块1123侵入第一卡接孔1122的程度，从而调节第一卡接孔1122对连接杆121的夹紧程度，同时将所述第一调节楔块1123 的升降方向设置为与所述第一卡接孔1122的中心相对，可以在调节第一调节楔块1123侵入第一卡接孔1122的程度的同时，使得连接杆121能够以第二卡接孔为支点做竖直平面内的俯仰角度调整。

为了将插入第二卡接孔的连接杆121进行进一步紧固以及调节连接杆 121在水平面内的摆动角度，在所述第二卡接孔的边缘沿其周向开设有偶数个与其连通的第二调节槽1132，所述第二调节槽1132被布置为由至少一个调节子集构成，每个调节子集包括关于所述第二卡接孔呈对称设置的一对第二调节槽1132，每个所述第二调节槽1132中嵌设有：

第二调节楔块1133；以及

第二调节部件，其与所述第二调节楔块1133相连接并延伸至第二卡接板 113的外部；

其中，每个所述第二调节槽1132位于所述第二卡接孔的斜下方，所述第二调节楔块1133可在所述第二调节部件的调节下沿着所述第二调节槽1132 往复滑移以侵入或撤出所述第二卡接孔。在实际使用过程中，第二调节部件可以为与第二调节楔块1133连接的摆动调节螺栓，通过旋入或旋出摆动调节螺栓可以调节第二调节楔块1133侵入第二卡接孔的程度，从而调节第二卡接孔对连接杆121的夹紧程度，同时将所述第二调节楔块1133的滑移方向设置为与所述第二卡接孔的中心相对，可以在调节第二调节楔块1133侵入第二卡接孔的程度的同时，使得连接杆121能够在水平面内作摆动角度调整，调节完成后将升降调节螺栓及摆动调节螺栓进行锁固牢靠，当推舟机构受到重力冲击使连接杆121后侧向上翘起时，后侧升降调节螺栓可保证石墨舟推舟固定机构11与连接杆121之间的间距不变进而保证连接杆121不会向上翘起。

进一步地，所述第二调节楔块1133的滑移方向与所述第二卡接孔的中心相对，在图3示出的实施例中可以看出，第二调节槽1132被布置为由一个调节子集构成，该调节子集中包括关于所述第二卡接孔呈对称设置的一对第二调节槽1132，在该实施例中，两个第二调节槽1132与第二卡接孔的中心形成的两根连线间的夹角为60°。

参照图5及图6，所述第二卡接板113的上方可拆卸地连接有拆装板114；在所述第二卡接板113与拆装板114的相接处，所述第二卡接板113上开设有向其内部凹陷的下卡接槽1131，所述拆装板114上开设有向其内部凹陷的上卡接槽1141，当所述拆装板114连接至所述第二卡接板113上时，所述上卡接槽1141与所述下卡接槽1131相合以形成所述第二卡接孔。通过拆装拆装版114可以实现将连接杆121的快速拆装，提高了安装及更换连接杆121的便捷度。

进一步地，所述第一卡接板112与第二卡接板113之间固接有平行保持板115。平行保持板115可以提高第一卡接板112与第二卡接板113的夹持稳定性以及使得第一卡接板112与第二卡接板113间的间距保持稳定。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (10)

1.一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，包括：

用于承托石墨舟(14)的推舟承重机构(13)，其包括偶数根平行且间隔设置的推舟杆(131)；以及

推舟夹持机构(12)，其包括连接杆(121)以及依次套设于连接杆(121)上的至少两个夹持连接件(122)；

其中，所述连接杆(121)的一端连接有推舟固定机构(11)，另一端通过所述夹持连接件(122)与所述推舟杆(131)相连；每个所述夹持连接件(122)包括主连接套(1221)以及关于所述主连接套(1221)对称布置的偶数个夹持连接套(1222)，两两所述夹持连接套(1222)相结合并一体式地结合至所述主连接套(1221)的外周，每个夹持连接件(122)上的夹持连接套(1222)的数目与推舟杆(131)的数目相对应。

2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，所述连接杆(121)从其端部依次穿过每个夹持连接件(122)上的主连接套(1221)，每根推舟杆(131)从其端部依次穿过每个夹持连接件(122)上的相应一个夹持连接套(1222)以使得两两所述推舟杆(131)保持平行。

3.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，所述主连接套(1221)的边缘形成有连通其内外的主调节缝隙(1221a)，所述主连接套(1221)的外周一体式地形成有以所述主调节缝隙(1221a)为边界的主调节耳(1221b)，两片主调节耳(1221b)关于两片主调节缝隙(1221a)相对设置，所述主调节耳(1221b)上连接有用于调节主调节缝隙(1221a)的宽度的主调节件。

4.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，所述夹持连接套(1222)的边缘形成有连通其内外的夹持调节缝隙(1222a)，所述夹持连接套(1222)上连接有用于调节夹持调节缝隙(1222a)的宽度的夹持调节件。

5.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，两两所述推舟杆(131)之间通过至少两片连接板(132)相固接；所述推舟杆(131)上与所述连接杆(121)的端部相接处固接有石墨舟导向块(133)，所述石墨舟导向块(133)的顶部形成倾斜向下延伸的石墨舟导向斜面，并且所述石墨舟导向斜面与所述推舟杆(131)所承托的石墨舟(14)相对。

6.如权利要求2所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，每根所述推舟杆(131)的另一端形成有锥形的推舟导向头(1311)，并且两两所述推舟杆(131)通过端部连接板(1312)固接在所述推舟导向头(1311)附近。

7.如权利要求1所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，所述推舟固定机构(11)包括：

固定基板(111)；以及

固接于所述固定基板(111)上的第一卡接板(112)与第二卡接板(113)；

其中，所述第一卡接板(112)与第二卡接板(113)沿着竖直平面平行且间隔设置以形成位于两者之间的卡接调节空间；所述第一卡接板(112)及第二卡接板(113)上分别开设有用于穿套连接杆(121)的第一卡接孔(1122)及第二卡接孔；所述连接杆(121)从所述第一卡接孔(1122)出发沿着竖直平面被保持在所述第一卡接孔(1122)及第二卡接孔中。

8.如权利要求7所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，所述第一卡接孔(1122)与第二卡接孔的孔径大于所述连接杆(121)的径向尺寸。

9.如权利要求7所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，所述第一卡接孔(1122)的边缘开设有与其连通的第一调节槽(1121)，所述第一调节槽(1121)中嵌设有：

第一调节楔块(1123)；以及

第一调节部件，其与所述第一调节楔块(1123)相连接并延伸至第一卡接板(112)的外部；

其中，所述第一调节槽(1121)位于第一卡接孔(1122)的正下方，所述第一调节楔块(1123)可在所述第一调节部件的调节下在所述第一调节槽(1121)中往复升降以侵入或撤出所述第一卡接孔(1122)。

10.如权利要求7所述的适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，其特征在于，所述第二卡接孔的边缘沿其周向开设有偶数个与其连通的第二调节槽(1132)，所述第二调节槽(1132)被布置为由至少一个调节子集构成，每个调节子集包括关于所述第二卡接孔呈对称设置的一对第二调节槽(1132)，每个所述第二调节槽(1132)中嵌设有：

第二调节楔块(1133)；以及

第二调节部件，其与所述第二调节楔块(1133)相连接并延伸至第二卡接板(113)的外部；

其中，每个所述第二调节槽(1132)位于所述第二卡接孔的斜下方，所述第二调节楔块(1133)可在所述第二调节部件的调节下沿着所述第二调节槽(1132)往复滑移以侵入或撤出所述第二卡接孔。

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