CN212874461U - 一种适用于管式pecvd的石墨舟缓存上料机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，包括：传送线；以及设于所述传送线上的石墨舟缓存组件，所述石墨舟缓存组件包括：缓存底板，其与所述传送线滑动连接；以及至少三片缓存支撑板，其在底板与所述缓存底板相固接；其中，所述缓存支撑板的侧边敞开形成有缓存让位口以使得所述缓存支撑板呈C字形结构；两两所述缓存支撑板等距间隔设置以形成位于相邻两片所述缓存支撑板之间的石墨舟缓存空间。根据本实用新型，其在传送线上设置至少两个石墨舟缓存空间来提高石墨舟缓存上料机构缓存上料多个石墨舟的能力，从而通过多个普通石墨舟的配合使用来避免由于延长石墨舟跨度而导致的石墨舟强度可靠性降低的问题。

Description

一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏电池领域，特别涉及一种适用于管式PECVD 的石墨舟缓存上料机构。

背景技术

太阳能光伏电池是一种具有光-电转换特性的半导体器件，它直接将太阳辐射能转换成直流电，是光伏収电的最基本单元，在太阳能收集转化过程中，太阳光照射到太阳能电池的硅片上，其中一部分太阳光会被反射，即使对将硅表面设计成绒面，虽然入射光会产生多次反射可以增加光的吸收率，但是，还是会有一部分的太阳光会被反射，据测算，光在硅表面的反射损失率高达 35％左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。

薄膜制备工艺按照其成膜方法可分为两大类：物理气象沉积(PVD)和化学气象沉积(CVD)。等离子增强型化学气相沉积(PECVD)是化学气相沉积的一种，PECVD(PlasmaEnhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质就会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物，其沉积温度低是其最突出的优点。PECVD的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性。

在太阳能光伏电池领域中，采用不同结构形式的缓存机构来实现石墨舟的缓存是众所周知的。在研究和实现石墨舟的缓存的过程中，实用新型人发现现有技术中的缓存机构至少存在如下问题：

随着PECVD设备的产能要求越来越高，由最初的单管240片发展到现在的600片，石墨舟的尺寸变的越来越大，石墨舟跨度越来越长，石墨舟本身的强度可靠性降低容易损坏。

有鉴于此，实有必要开发一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构用以解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术中存在的不足之处，本实用新型的主要目的是，提供一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其在传送线上设置至少两个石墨舟缓存空间来提高石墨舟缓存上料机构缓存上料多个石墨舟的能力，从而通过多个普通石墨舟的配合使用来避免由于延长石墨舟跨度而导致的石墨舟强度可靠性降低的问题。

本实用新型的另一个目的是，提供一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其通过在缓存支撑板的侧边敞开形成有缓存让位口使得所述缓存支撑板呈C字形结构，来提高机械手取放石墨舟的便捷性，同时还能防止机械手在取放石墨舟时由于和缓存支撑板发生碰撞导致的石墨舟损坏等问题。

为了实现根据本实用新型的上述目的和其他优点，提供了一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，包括：

传送线；以及

设于所述传送线上的石墨舟缓存组件，所述石墨舟缓存组件包括：

缓存底板，其与所述传送线滑动连接；以及

至少三片缓存支撑板，其在底板与所述缓存底板相固接；

其中，所述缓存支撑板的侧边敞开形成有缓存让位口以使得所述缓存支撑板呈C字形结构；两两所述缓存支撑板等距间隔设置以形成位于相邻两片所述缓存支撑板之间的石墨舟缓存空间。

可选的，每片所述缓存支撑板的顶部设有缓存支撑组件，所述缓存支撑组件包括：

单向导正件，其半包覆或者全包覆式地安装于所述缓存支撑板的顶部；以及

托举部，其一体式地结合于所述单向导正件的底部；

其中，所述托举部从所述单向导正件出发朝着所述石墨舟缓存空间的内部延伸。

可选的，所述托举部的长度大于所述单向导正件的长度，以使得所述托举部的两端，从而使得所托举部与所述单向导正件之间形成位于所述单向导正件的两端的导向缺口，其中，所述单向导正件的两端转动连接有位于所述导向缺口处的导向滚轮。

可选的，所述导向滚轮的转轴与左支撑部的长度方向相平行，以使得所述导向滚轮的滚轮面至少部分地侵入至所述左支撑部的正上方。

可选的，所述托举部的顶面设有两块缓存导正块，两块所述缓存导正块间隔且相向设置以形成位于两者之间的缓存导正空间，所述缓存导正块的内侧形成有倾斜向下延伸的缓存导正面以使得所述缓存导正空间的宽度在从上至下的方向上呈逐渐缩小之势。

可选的，所述缓存支撑组件被布置为使得相邻两个缓存支撑板上的托举部彼此相对。

可选的，所述传送线包括：

两根导向轨，两根所述导向轨平行且间隔设置以形成位于两者之间的导向通道；

两根传送皮带，每根所述传送皮带穿套于相应一根所述导向轨之上；以及

传送驱动器，其与所述传送皮带传动连接。

可选的，每根所述导向轨的内侧一体式地形成有皮带支撑轨，每根所述传送皮带穿套于相应一根所述皮带支撑轨之上，其中，所述皮带支撑轨的顶面低于所述导向轨的顶面。

上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其在传送线上设置至少两个石墨舟缓存空间来提高石墨舟缓存上料机构缓存上料多个石墨舟的能力，从而通过多个普通石墨舟的配合使用来避免由于延长石墨舟跨度而导致的石墨舟强度可靠性降低的问题。

上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：由于其通过在缓存支撑板的侧边敞开形成有缓存让位口使得所述缓存支撑板呈C字形结构，来提高机械手取放石墨舟的便捷性，同时还能防止机械手在取放石墨舟时由于和缓存支撑板发生碰撞导致的石墨舟损坏等问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制，其中：

图1为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构的立体图，图中缓存有两个石墨舟；

图2为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构的正视图；

图3为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构的右视图；

图4为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构的立体图，图中没有缓存石墨舟；

图5为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构中传送线的立体图；

图6为根据本实用新型一个实施方式提出的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构中传送线的立体图，图中隐藏了传送皮带。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。

涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。

根据本实用新型的一实施方式结合图1和图2的示出，可以看出，适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构1包括：

传送线11；以及

设于所述传送线11上的石墨舟缓存组件12，所述石墨舟缓存组件12包括：

缓存底板121，其与所述传送线11滑动连接；以及

至少三片缓存支撑板122，其在底板与所述缓存底板121相固接；

其中，所述缓存支撑板122的侧边敞开形成有缓存让位口1221以使得所述缓存支撑板122呈C字形结构；两两所述缓存支撑板122等距间隔设置以形成位于相邻两片所述缓存支撑板122之间的石墨舟缓存空间。由于其在传送线上设置至少两个石墨舟缓存空间来提高石墨舟缓存上料机构缓存上料多个石墨舟的能力，从而通过多个普通石墨舟的配合使用来避免由于延长石墨舟跨度而导致的石墨舟强度可靠性降低的问题。此外，由于其通过在缓存支撑板的侧边敞开形成有缓存让位口使得所述缓存支撑板呈C字形结构，使得机械手在取放石墨舟时，能够通过缓存让位口将石墨舟13摆放到位，提高机械手了取放石墨舟的便捷性，同时还能防止机械手在取放石墨舟时由于和缓存支撑板发生碰撞导致的石墨舟损坏等问题。

在图1中示出的实施例中可以看出，缓存支撑板122设有三片，从而使得石墨舟缓存空间形成有3个，进而使得石墨舟缓存组件12可以同时缓存2 组石墨舟13。

参照图4，每片所述缓存支撑板122的顶部设有缓存支撑组件123，所述缓存支撑组件123包括：

单向导正件1231，其半包覆或者全包覆式地安装于所述缓存支撑板122 的顶部；以及

托举部1232，其一体式地结合于所述单向导正件1231的底部；

其中，所述托举部1232从所述单向导正件1231出发朝着所述石墨舟缓存空间的内部延伸。当石墨舟13放置于所述石墨舟缓存空间时，石墨舟13 的两端由两片托举部1232所承托。

再次参照图4，所述托举部1232的长度大于所述单向导正件1231的长度，以使得所述托举部1232的两端突出于所述单向导正件1231的两端，从而使得所托举部1232与所述单向导正件1231之间形成位于所述单向导正件 1231的两端的导向缺口，其中，所述单向导正件1231的两端转动连接有位于所述导向缺口处的导向滚轮1233。采用这种结构设计，能够使得当石墨舟 13放置在石墨舟缓存组件12上的石墨舟缓存空间时，在石墨舟13自身重力及导向滚轮1233的导向配合作用下，石墨舟13能够被导向至石墨舟13长度方向(即图4中的传送线11的延伸方向)上的预设位置。

进一步地，所述导向滚轮1233的转轴与所述左支撑部1312a的长度方向相平行，以使得所述导向滚轮1233的滚轮面至少部分地侵入至所述左支撑部 1312a的正上方。

进一步地，所述托举部1232的顶面设有两块缓存导正块1234，两块所述缓存导正块1234间隔且相向设置以形成位于两者之间的缓存导正空间，所述缓存导正块1234的内侧形成有倾斜向下延伸的缓存导正面以使得所述缓存导正空间的宽度在从上至下的方向上呈逐渐缩小之势。采用这种结构设计，能够使得当石墨舟13放置在石墨舟缓存组件12上的石墨舟缓存空间时，在石墨舟13自身重力及两块缓存导正块1234的导向配合作用下，石墨舟13能够被导向石墨舟13宽度方向上的预设位置。至此，通过导向滚轮1233及两块缓存导正块1234的双向配合，当石墨舟13放置于石墨舟缓存组件12上的石墨舟缓存空间时，石墨舟13被导向至托举部1232的预设位置。

进一步地，所述缓存支撑组件123被布置为使得相邻两个缓存支撑板122 上的托举部1232彼此相对。

参照图5～图6，所述传送线11包括：

两根导向轨111，两根所述导向轨111平行且间隔设置以形成位于两者之间的导向通道；

两根传送皮带112，每根所述传送皮带112穿套于相应一根所述导向轨 111之上；以及

传送驱动器113，其与所述传送皮带112传动连接。

进一步地，每根所述导向轨111的内侧一体式地形成有皮带支撑轨1111，每根所述传送皮带112穿套于相应一根所述皮带支撑轨1111之上，其中，所述皮带支撑轨1111的顶面低于所述导向轨111的顶面。从而使得，当石墨舟缓存组件12放置于传送皮带112上时，导向轨111能够对石墨舟缓存组件12 的侧面进行导向限位，防止石墨舟缓存组件12在传送过程中是从传送皮带 112上滑脱，同时当石墨舟缓存组件12放置于传送皮带112上时，皮带支撑轨1111能够对传送皮带112提供支撑力，防止传送皮带112上的石墨舟缓存组件12下坠，同时也提高了传送皮带的使用寿命。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本实用新型的说明的。对本实用新型的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (8)

1.一种适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其特征在于，包括：

传送线(11)；以及

设于所述传送线(11)上的石墨舟缓存组件(12)，所述石墨舟缓存组件(12)包括：

缓存底板(121)，其与所述传送线(11)滑动连接；以及

至少三片缓存支撑板(122)，其在底板与所述缓存底板(121)相固接；

其中，所述缓存支撑板(122)的侧边敞开形成有缓存让位口(1221)以使得所述缓存支撑板(122)呈C字形结构；两两所述缓存支撑板(122)等距间隔设置以形成位于相邻两片所述缓存支撑板(122)之间的石墨舟缓存空间。

2.如权利要求1所述的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其特征在于，每片所述缓存支撑板(122)的顶部设有缓存支撑组件(123)，所述缓存支撑组件(123)包括：

单向导正件(1231)，其半包覆或者全包覆式地安装于所述缓存支撑板(122)的顶部；以及

托举部(1232)，其一体式地结合于所述单向导正件(1231)的底部；

其中，所述托举部(1232)从所述单向导正件(1231)出发朝着所述石墨舟缓存空间的内部延伸。

3.如权利要求2所述的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其特征在于，所述托举部(1232)的长度大于所述单向导正件(1231)的长度，以使得所述托举部(1232)的两端突出于所述单向导正件(1231)的两端，从而使得所托举部(1232)与所述单向导正件(1231)之间形成位于所述单向导正件(1231)的两端的导向缺口，其中，所述单向导正件(1231)的两端转动连接有位于所述导向缺口处的导向滚轮(1233)。

4.如权利要求3所述的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其特征在于，所述导向滚轮(1233)的转轴与左支撑部(1312a)的长度方向相平行，以使得所述导向滚轮(1233)的滚轮面至少部分地侵入至所述左支撑部(1312a)的正上方。

5.如权利要求2所述的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其特征在于，所述托举部(1232)的顶面设有两块缓存导正块(1234)，两块所述缓存导正块(1234)间隔且相向设置以形成位于两者之间的缓存导正空间，所述缓存导正块(1234)的内侧形成有倾斜向下延伸的缓存导正面以使得所述缓存导正空间的宽度在从上至下的方向上呈逐渐缩小之势。

6.如权利要求2所述的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其特征在于，所述缓存支撑组件(123)被布置为使得相邻两个缓存支撑板(122)上的托举部(1232)彼此相对。

7.如权利要求1所述的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其特征在于，所述传送线(11)包括：

两根导向轨(111)，两根所述导向轨(111)平行且间隔设置以形成位于两者之间的导向通道；

两根传送皮带(112)，每根所述传送皮带(112)穿套于相应一根所述导向轨(111)之上；以及

传送驱动器(113)，其与所述传送皮带(112)传动连接。

8.如权利要求7所述的适用于管式PECVD的石墨舟缓存上料机构，其特征在于，每根所述导向轨(111)的内侧一体式地形成有皮带支撑轨(1111)，每根所述传送皮带(112)穿套于相应一根所述皮带支撑轨(1111)之上，其中，所述皮带支撑轨(1111)的顶面低于所述导向轨(111)的顶面。

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