CN212872258U - 一种电子探针用新型样品台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电子探针用新型样品台，包括样品台，标样孔槽，探针片槽，横向支撑杆，纵向支撑杆，紧固压片，滑槽，紧固螺母，横向定位孔和纵向定位孔，所述样品台内部设置有标样孔槽，所述标样孔槽下侧设置有探针片槽，所述探针片槽内部连接有横向支撑杆，所述横向支撑杆左右两侧设置有横向定位孔，所述横向支撑杆上侧设置有纵向支撑杆，所述纵向支撑杆前后两侧设置有纵向定位孔，所述探针片槽下侧设置有紧固压片，所述紧固压片上侧设置有贯穿的滑槽，所述滑槽内部连接有紧固螺母，该实用新型在放入探针片的同时，可以放入标准样品靶，并对于非常规尺寸的样品片也可以直接放入样品台，不用对其二次加工，更加符合实际测试过程中的应用。

Description

一种电子探针用新型样品台

技术领域

本实用新型涉及地质设备技术领域，具体为一种电子探针用新型样品台。

背景技术

现有电子探针的样品台都是放置样品(探针片、靶)的样品台与放置标样的样品台是分开的(原样品台见图1)，在实际生产中，测试样品多以探针片为主，样品靶次之，但是标样，无论是美国SPI标样还是国标，都是圆形的具有一定厚度的标样靶，在正常测试过程中，要先放入标样样品台，然后在全部测试完标样以后，再将标样取出，将放置样品的样品台放入仪器，但是在测试过程中如果出现数据有偏差，想要对标样进行测试查看问题出现的原因，就需要将样品取出，在将标样放入，不仅需要抽放真空，操作繁琐且耗时，而且样品再放入后，位置会有偏差，后期打点、拍照、投图都会有影响，在日常测试中也无法做到随时插入监控样，无法实时监控数据质量。

对于现在测试的探针片基本都是有固定尺寸的，但是也会偶尔有非常规尺寸的片子要进行测试，就要对其进行切割处理，会存在污染样品的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子探针用新型样品台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子探针用新型样品台，包括样品台，标样孔槽，探针片槽，横向支撑杆，纵向支撑杆，紧固压片，滑槽，紧固螺母，横向定位孔和纵向定位孔，所述样品台内部设置有标样孔槽，所述标样孔槽下侧设置有探针片槽，所述探针片槽内部连接有横向支撑杆，所述横向支撑杆左右两侧设置有横向定位孔，所述横向支撑杆上侧设置有纵向支撑杆，所述纵向支撑杆前后两侧设置有纵向定位孔，所述探针片槽下侧设置有紧固压片，所述紧固压片上侧设置有贯穿的滑槽，所述滑槽内部连接有紧固螺母。

优选的，述横向支撑杆与纵向支撑杆分别通过横向定位孔与纵向定位孔的作用设置在探针片槽内部，且横向支撑杆与纵向支撑杆呈“井”字型结构，所述横向定位孔与纵向定位孔在不使用的时候有相对应的堵塞装置。

优选的，述标样孔槽共有两个，且左右对称设置。

优选的，述紧固压片共四个，下端均匀分布三个，上端中心位置设置有一个。

优选的，所述样品台上侧设置有定位孔，所述定位孔与紧固螺母通过螺纹连接，对紧固压片进行紧固连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该实用新型在放入探针片的同时，可以放入标准样品靶，并对于非常规尺寸的样品片也可以直接放入样品台，而不用对其进行二次加工，更加符合实际测试过程中的应用，更加方便有效的监控数据质量。

1、设计有两个放置标样靶的标样孔槽，这样更加方便测试，可以同时放入3个探针片和两个标样靶，如果遇到数据不稳定的问题，不需要来回抽放真空进行样品交换，可以直接移到标样上进行测试，从而查找问题，在数据监控的时候也更方便的去穿插标样，来监控数据质量以及仪器稳定性。

2、在样品台的探针片槽内部增加3条支撑杆，在原本3个下方紧固压片的基础上，在上方正中间增加一个紧固压片，更加能够满足不同尺寸的样品片的放入和固定。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的侧面结构示意图；

图3为本实用新型的正面结构示意图；

图中：1-样品台，2-标样孔槽，3-探针片槽，4-横向支撑杆，5-纵向支撑杆，6-紧固压片，7-滑槽，8-紧固螺母，9-横向定位孔，10-纵向定位孔。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种电子探针用新型样品台，包括样品台1，标样孔槽2，探针片槽3，横向支撑杆4，纵向支撑杆5，紧固压片6，滑槽7，紧固螺母8，横向定位孔9和纵向定位孔10，所述样品台1内部设置有标样孔槽2，所述标样孔槽2下侧设置有探针片槽3，所述探针片槽3内部连接有横向支撑杆4，所述横向支撑杆4左右两侧设置有横向定位孔9，所述横向支撑杆4上侧设置有纵向支撑杆5，所述纵向支撑杆5前后两侧设置有纵向定位孔10，所述探针片槽3下侧设置有紧固压片6，所述紧固压片6上侧设置有贯穿的滑槽7，所述滑槽7内部连接有紧固螺母8，所述横向支撑杆4与纵向支撑杆5分别通过横向定位孔9与纵向定位孔10的作用设置在探针片槽3内部，且横向支撑杆4与纵向支撑杆5呈“井”字型结构，所述标样孔槽2共有两个，且左右对称设置，所述紧固压片6共四个，下端均匀分布三个，上端中心位置设置有一个，所述样品台1上侧设置有定位孔，所述定位孔与紧固螺母8通过螺纹连接，对紧固压片6进行紧固连接。

工作原理：首先将标样靶放置在标样槽孔2内部，再将探针片放置在探针片槽3内部，通过紧固压片6进行压紧，紧固压片6由滑槽7进行调节位置，通过紧固螺母8进行紧固连接，然后再将样品台1放入相对应的设备当中进行检测，设计有两个放置标样靶的标样孔槽2，这样更加方便测试，可以同时放入3个探针片和两个标样靶，如果遇到数据不稳定的问题，不需要来回抽放真空进行样品交换，可以直接移到标样上进行测试，从而查找问题，在数据监控的时候也更方便的去穿插标样，来监控数据质量以及仪器稳定性，在样品台的探针片槽3内部增加3条支撑杆，在原本3个下方紧固压片6的基础上，在上方正中间增加一个紧固压片6，更加能够满足不同尺寸的样品片的放入和固定。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种电子探针用新型样品台，包括样品台(1)，标样孔槽(2)，探针片槽(3)，横向支撑杆(4)，纵向支撑杆(5)，紧固压片(6)，滑槽(7)，紧固螺母(8)，横向定位孔(9)和纵向定位孔(10)，其特征在于：所述样品台(1)内部设置有标样孔槽(2)，所述标样孔槽(2)下侧设置有探针片槽(3)，所述探针片槽(3)内部连接有横向支撑杆(4)，所述横向支撑杆(4)左右两侧设置有横向定位孔(9)，所述横向支撑杆(4)上侧设置有纵向支撑杆(5)，所述纵向支撑杆(5)前后两侧设置有纵向定位孔(10)，所述探针片槽(3)下侧设置有紧固压片(6)，所述紧固压片(6)上侧设置有贯穿的滑槽(7)，所述滑槽(7)内部连接有紧固螺母(8)。

2.根据权利要求1所述的一种电子探针用新型样品台，其特征在于：所述横向支撑杆(4)与纵向支撑杆(5)分别通过横向定位孔(9)与纵向定位孔(10)的作用设置在探针片槽(3)内部，且横向支撑杆(4)与纵向支撑杆(5)呈“井”字型结构。

3.根据权利要求1所述的一种电子探针用新型样品台，其特征在于：所述标样孔槽(2)共有两个，且左右对称设置。

4.根据权利要求1所述的一种电子探针用新型样品台，其特征在于：所述紧固压片(6)共四个，下端均匀分布三个，上端中心位置设置有一个。

5.根据权利要求1所述的一种电子探针用新型样品台，其特征在于：所述样品台(1)上侧设置有定位孔，所述定位孔与紧固螺母(8)通过螺纹连接，对紧固压片(6)进行紧固连接。

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