CN212848322U - 一种储存器晶圆的烘烤设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种储存器晶圆的烘烤设备，包括烘烤设备本体，所述烘烤设备本体侧面设有电源开关，电源开关的一侧设有调节单元，烘烤设备本体的顶面分布有五个传热腔，其中四个传热腔呈矩形状分布，另一个传热腔设置在两对角线的焦点处，烘烤设备本体顶面连接有用于对存储器晶圆加热的加热面板，加热面板底面分布有与传热腔匹配的导热管，导热管上端贯穿至加热面板内部，加热面板顶面设有多个用于放置存储器晶圆的放置槽，放置槽底面设有若干凸起，凸起高度小于放置槽深度，放置槽侧面设有与放置槽连通的矩形槽。本实用新型便于储存器晶圆在加热时方便拿取，利于对其进行翻面加热，在拿取过程中不易造成存储器晶圆损伤。

Description

一种储存器晶圆的烘烤设备

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体涉及一种储存器晶圆的烘干设备。

背景技术

目前的存储器的内部会采用半导体存储器，半导体存储器简称闪存，闪存的存储单元为三端器件，与场效应管有相同的名称：源极、漏极和栅极。栅极与硅衬底之间有二氧化硅绝缘层，用来保护浮置栅极中的电荷不会泄漏。采用此种结构，使得存储单元具有了电荷保持能力；闪存与场效应管均为电压控制型器件，NAND型闪存的擦和写均是基于隧道效应，电流穿过浮置栅极与硅基层之间的绝缘层，对浮置栅极进行充电或放电，而NOR型闪存擦除数据仍是基于隧道效应，但在写入数据时则是采用热电子注入方式；

随着电子加工生产与技术进步，闪存制程从以前的90nm进步到14nm甚至更高，数据密度越来越高，结缘层的厚度越来越薄，部分存储器晶圆的绝缘层在实际生产过程中厚度过薄，会导致电流出现异常，最终导致数据出现错误，此部分不合格的元器件能够通过普通的检测设备进行检测，但是仍然有部分存储器晶圆在使用一段时间之后才会出现此现象，而目前的检测设备并不能对此部分存储器晶圆进行有效的检测，一般是将储存器晶圆进行加热烘烤，利用半导体在高温情况下导电性能变强，来加速存储器晶圆的老化过程，达到在常温放止几个月甚至半年一年的效果，这样便于设备对存储器晶圆进行质量检测，由于储存器晶圆较薄，在加热板上加热时，不方便拿取，拿取过程中容易造成晶圆的损伤，也不便于对储存器两面进行加热。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种储存器晶圆的烘干设备，便于储存器晶圆在加热板上加热时方便拿取，利于两面进行加热，在拿取过程中不易造成晶圆损伤。

为解决上述技术问题，本实用新型采用了以下方案：

一种储存器晶圆的烘烤设备，包括烘烤设备本体，所述烘烤设备本体侧面设有电源开关，电源开关的一侧设有调节单元，烘烤设备本体的顶面分布有五个传热腔，其中四个传热腔呈矩形状分布，另一个传热腔设置在两对角线的焦点处，烘烤设备本体顶面连接有用于对存储器晶圆加热的加热面板，加热面板底面分布有与传热腔匹配的导热管，导热管上端贯穿至加热面板内部，加热面板顶面设有多个用于放置存储器晶圆的放置槽，放置槽底面设有若干凸起，凸起高度小于放置槽深度，放置槽侧面设有与放置槽连通的矩形槽。

优选的，所述若干凸起均为环状柱形，且顶面均在同一水平面，凸起的高度为5-10mm。

优选的，所述加热面板的两侧设有把手。

优选的，所述调节单元包括加数按钮和减数按钮，加数按钮和减数按钮均呈三角形状，加数按钮呈正立的三角形状设在烘烤设备本体的外侧表面，减数按钮呈倒立的三角形状设在加数按钮的右侧，减数按钮和加数按钮的一端贯穿烘烤设备本体外侧表面到达烘烤设备本体内部。

优选的，所述加数按钮和减数按钮的正上方设有设定温度显示屏，设定温度显示屏的右侧设有实际温度显示屏，实际温度显示屏和设定温度显示屏均镶嵌在烘烤设备本体的外侧表面且位于电源开关左侧。

优选的，所述加数按钮的左侧设有加热指示灯和报警指示灯，报警指示灯位于加热指示灯与加数按钮之间，加热指示灯和报警指示灯的一端设置在烘烤设备本体的外侧，另一端贯穿烘烤设备本体的侧壁到达烘烤设备本体内部。

优选的，所述烘烤设备本体的两侧设有排气孔，排气孔处设有固定在烘烤设备本体上的排气扇。

优选的，所述加热指示灯和报警指示灯均在烘烤设备本体的同一侧面，且加热指示灯和报警指示灯高度相同。

本实用新型具有的有益效果：

1、本方案中的烘烤设备本体的上方增设有加热面板，加热面板与烘烤设备本体通过导热管连接，烘烤设备本体在发热过程中导热管能够将热量导向到加热面板，加热面板在受热情况下对其上表面的存储器晶圆进行加热烘烤，利用半导体在高温情况下导电性能变强，来加速存储器晶圆的老化过程，达到在常温放止几个月甚至半年一年的效果，便于后期设备对存储器晶圆进行质量检测，同时，加热面板上的放置槽便于放置存储器晶圆，使得存储器晶圆不易掉落加热面板，放置槽内的若干凸起，使得储存器晶圆与放置槽底面存在一定的间隙，在加上放置槽侧面设置的矩形槽为手动或者镊子拿取储存器晶圆时留出了一定的操作空间，这样便于对存储器晶圆进行翻面加热，使得存储器晶圆的加热效果更好，在拿取过程中也不易造成存储器晶圆的损坏。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为烘烤设备的结构示意图；

图3为加热面板的结构示意图；

图4为导热管在加热面板底面的分布图。

附图标记：1-烘烤设备本体，2-加热面板，3-电源开关，4-实际温度显示屏，5-设定温度显示屏，6-加数按钮，7-减数按钮，8-报警指示灯，9-加热指示灯，10-放置槽，11-矩形槽，12-排气孔，12-排气扇，14-传热腔，15-导热管，16-凸起，17-把手。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖向”、“纵向”、“侧向”、“水平”、“内”、“外”、“前”、“后”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“开有”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1

如图1-4所示，一种储存器晶圆的烘烤设备，包括烘烤设备本体1，所述烘烤设备本体1侧面设有电源开关3，电源开关3的一侧设有调节单元，烘烤设备本体1的顶面分布有五个传热腔14，其中四个传热腔14呈矩形状分布，另一个传热腔14设置在两对角线的焦点处，烘烤设备本体1顶面连接有用于对存储器晶圆加热的加热面板2，加热面板2底面分布有与传热腔14匹配的导热管15，导热管15上端贯穿至加热面板2内部，加热面板2顶面设有多个用于放置存储器晶圆的放置槽10，放置槽10底面设有若干凸起16，凸起16高度小于放置槽10深度，放置槽10侧面设有与放置槽10连通的矩形槽11。本实施例中在烘烤设备本体1的侧表面设有电源开关3，电源开关3对烘烤设备本体1内部的电路进行通断，便于工作人员控制设备的运行，电源开关3的一侧设有调节单元，调节单元能够调节烘烤设备本体1的烘烤温度；导热管15用于将烘烤设备本体1内部的热量传递给加热面板2，在加热面板2上设置五个传热腔14，这样使得传热区域能更广的覆盖加热面板2内部，加热效果更好，同时传热腔14与导热管15的套接配合，使得加热面板2在烘烤设备本体1顶面不易发生位移，起到限位的作用；加热面板2上的放置槽10内放置有存储器晶圆，加热面板2用于对存储器晶圆进行加热，放置槽10对存储器晶圆起到限位作用，不易滑落出加热面板2，放置槽10底面的若干凸起16，使得存储器晶圆与与放置槽10底面形成一定间隙，有利于拿取存储器晶圆，不易对其造成损伤，放置槽10侧面的矩形槽11为手动或者镊子拿取储存器晶圆时提供操作空间，这样更利于对存储器晶圆进行翻面加热，使其加热效果更好，本实施方案中利用半导体在高温情况下导电性能变强，来加速存储器晶圆的老化过程，达到在常温放止几个月甚至半年一年的效果，使得存储器晶圆的绝缘层问题暴露出来，从而去掉不合格的产品，提升产品的质量。

实施例2

如图1所示，具体的，所述若干凸起16均为环状柱形，且顶面均在同一水平面，凸起16的高度为5-10mm。本实施例中凸起16为环状柱形，可以减少凸起16对存储器晶圆加热面积的影响。

实施例3

如图1和3所示，具体的，所述加热面板2的两侧设有把手17。本实施例中把手17便于操作人员拿取加热面板2，加热完成后，可以连同存储器晶圆一起取下，再放置新的布满待加热的存储器晶圆的加热面板2，这样无需单独收集存储器晶圆，提高了加热效率。

实施例4

如图1所示，具体的，所述调节单元包括加数按钮6和减数按钮7，加数按钮6和减数按钮7均呈三角形状，加数按钮6呈正立的三角形状设在烘烤设备本体1的外侧表面，减数按钮7呈倒立的三角形状设在加数按钮6的右侧，减数按钮7和加数按钮6的一端贯穿烘烤设备本体1外侧表面到达烘烤设备本体1内部。本实施例中加数按钮6与减数按钮7便于工作人员对烘烤设备本体1的加热温度进行调控，采用正立和倒立的三角形状，便于操作人员识别。

实施例5

如图1所示，具体的，所述加数按钮6和减数按钮7的正上方设有设定温度显示屏5，设定温度显示屏5的右侧设有实际温度显示屏4，实际温度显示屏4位于设定温度显示屏5与电源开关3之间，实际温度显示屏4和设定温度显示屏5均镶嵌在烘烤设备本体1的外侧表面且位于电源开关3左侧。本实施例中实际温度显示屏4与设定温度显示屏5便于工作人员查看目前的温度情况。

实施例6

如图1所示，具体的，所述加数按钮6的左侧设有加热指示灯9和报警指示8灯，报警指示灯8位于加热指示灯9与加数按钮6之间，加热指示灯9和报警指示灯8的一端设置在烘烤设备本体1的外侧，另一端贯穿烘烤设备本体1的侧壁到达烘烤设备本体1内部。本实施例中加热指示灯9和报警指示灯8便于工作人员快速的了解到目前设备的运作情况。

实施例7

如图1所示，具体的，所述烘烤设备本体1的两侧设有排气孔12，排气孔12处设有固定在烘烤设备本体1上的排气扇13。本实施例中烘烤设备本体1中的热空气能够通过排气扇13迅速排至外界环境中，从而降低烘烤设备本体1内部热空气温度，有效的避免烘烤设备本体1内部温度过高影响其工作性能。

实施例8

如图1所示，具体的，所述加热指示灯9和报警指示灯8均在烘烤设备本体1的同一侧面，且加热指示灯9和报警指示灯8高度相同，便于工作人员查看。

本实用新型的工作原理：本实用新型中该设备在使用过程中工作人员将存储器晶圆放置在加热面板2上表面的放置槽10内，然后通过手握把手17将加热面板2放置在烘烤设备本体1上，使得导热管15套接在传热腔14内，拨动电源开关3启动设备，设备在使用时工作人员可以按下加数按钮6与减数按钮7来调整烘烤设备本体1的发热量，烘烤设备本体1在发热过程中将热量通过导热管15输送至加热面板2，加热面板2在接受到热量之后自身发热，并对其上表面的存储器晶圆进行烘烤，在加热过程中或者加热完成后，由于放置槽10内的凸起16使得存储器晶圆与放置槽10底面存在一定距离，加上放置槽10侧面的矩形槽11配合，在手动或者镊子拿取存储器晶圆时，更为便利，不易对其造成损伤，也方便对其进行翻面加热；在设备使用过程中实际温度显示屏4显示实际温度，设定温度显示屏显5示设定温度；烘烤设备本体1运行过程中烘烤设备本体1内部多余的热量通过排气扇13排到外界环境中，避免烘烤设备本体1自身过热损毁，提升烘烤设备本体1的使用寿命。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，依据本实用新型的技术实质，在本实用新型的精神和原则之内，对以上实施例所作的任何简单的修改、等同替换与改进等，均仍属于本实用新型技术方案的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种储存器晶圆的烘烤设备，包括烘烤设备本体(1)，其特征在于，所述烘烤设备本体(1)侧面设有电源开关(3)，电源开关(3)的一侧设有调节单元，烘烤设备本体(1)的顶面分布有五个传热腔(14)，其中四个传热腔(14)呈矩形状分布，另一个传热腔(14)设置在两对角线的焦点处，烘烤设备本体(1)顶面连接有用于对存储器晶圆加热的加热面板(2)，加热面板(2)底面分布有与传热腔(14)匹配的导热管(15)，导热管(15)上端贯穿至加热面板(2)内部，加热面板(2)顶面设有多个用于放置存储器晶圆的放置槽(10)，放置槽(10)底面设有若干凸起(16)，凸起(16)高度小于放置槽(10)深度，放置槽(10)侧面设有与放置槽(10)连通的矩形槽(11)。

2.根据权利要求1所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述若干凸起(16)均为环状柱形，且顶面均在同一水平面，凸起(16)的高度为5-10mm。

3.根据权利要求1所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述加热面板(2)的两侧设有把手(17)。

4.根据权利要求1所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述调节单元包括加数按钮(6)和减数按钮(7)，加数按钮(6)和减数按钮(7)均呈三角形状，加数按钮(6)呈正立的三角形状设在烘烤设备本体(1)的外侧表面，减数按钮(7)呈倒立的三角形状设在加数按钮(6)的右侧，减数按钮(7)和加数按钮(6)的一端贯穿烘烤设备本体(1)外侧表面到达烘烤设备本体(1)内部。

5.根据权利要求4所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述加数按钮(6)和减数按钮(7)的正上方设有设定温度显示屏(5)，设定温度显示屏(5)的右侧设有实际温度显示屏(4)，实际温度显示屏(4)和设定温度显示屏(5)均镶嵌在烘烤设备本体(1)的外侧表面且位于电源开关(3)左侧。

6.根据权利要求4所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述加数按钮(6)的左侧设有加热指示灯(9)和报警指示灯(8)，报警指示灯(8)位于加热指示灯(9)与加数按钮(6)之间，加热指示灯(9)和报警指示灯(8)的一端设置在烘烤设备本体(1)的外侧，另一端贯穿烘烤设备本体(1)的侧壁到达烘烤设备本体(1)内部。

7.根据权利要求6所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述烘烤设备本体(1)的两侧设有排气孔(12)，排气孔(12)处设有固定在烘烤设备本体(1)上的排气扇(13)。

8.根据权利要求6所述的一种储存器晶圆的烘烤设备，其特征在于，所述加热指示灯(9)和报警指示灯(8)均在烘烤设备本体(1)的同一侧面，且加热指示灯(9)和报警指示灯(8)高度相同。

Images