CN212834145U - 一种具有隔热保温结构的退火炉 - Google Patents
一种具有隔热保温结构的退火炉 Download PDFInfo
- Publication number
- CN212834145U CN212834145U CN202021486191.4U CN202021486191U CN212834145U CN 212834145 U CN212834145 U CN 212834145U CN 202021486191 U CN202021486191 U CN 202021486191U CN 212834145 U CN212834145 U CN 212834145U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- furnace
- heat insulation
- heat
- furnace body
- annealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Abstract
本实用新型公开了一种具有隔热保温结构的退火炉，包括炉体、智能温控器和隔热罩，所述炉体中部设置有炉门，所述炉门一侧设置有操作面板，所述操作面板一侧设置有所述智能温控器，所述智能温控器一侧设置有把手，所述炉体内壁设置有隔热罩，所述隔热罩与所述炉体之间留有保温腔，所述隔热罩内侧砌筑有耐火砖，所述耐火砖内侧设置有电热炉丝，所述炉门与所述炉体通过合页连接。有益效果在于：本实用新型通过设置智能温控器、耐火砖、隔热罩和进热管，不仅能够对退火炉内的温度进行控制，避免退火炉长时间加热造成耗电量大，而且还能够对退火炉进行循环保温，避免退火炉内温度下降造成保温性能差，提高了退火炉节能的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及退火炉技术领域，具体涉及一种具有隔热保温结构的退火炉。
背景技术
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。
目前，现有的退火炉多数采用密封结构，由于缺少温度控制部件，容易在对退火炉长时间加热造成耗电量大，同时由于火炉长时间开启关闭，容易使退火炉内温度下降造成保温性能差，降低了退火炉节能的效率，其次，现有的退火炉在大都采用简易结构，由于缺少降温部件，容易使自然冷却降温造成材料退火工艺下降，不能满足退火炉工艺使用的需求。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
为了克服现有技术不足，现提出一种具有隔热保温结构的退火炉，解决了现有的退火炉，由于缺少温度控制部件，容易在对退火炉长时间加热造成耗电量大，同时由于火炉长时间开启关闭，容易使退火炉内温度下降造成保温性能差，降低了退火炉节能效率的问题。
(二)技术方案
本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种具有隔热保温结构的退火炉，包括炉体、智能温控器和隔热罩，所述炉体中部设置有炉门，所述炉门一侧设置有操作面板，所述操作面板一侧设置有所述智能温控器，所述智能温控器一侧设置有把手，所述炉体内壁设置有隔热罩，所述隔热罩与所述炉体之间留有保温腔，所述隔热罩内侧砌筑有耐火砖，所述耐火砖内侧设置有电热炉丝，所述炉门与所述炉体通过合页连接，所述操作面板与所述炉门通过螺钉连接，所述智能温控器与所述炉门通过螺钉连接，所述把手与所述炉门通过螺钉连接，所述隔热罩与所述炉体通过螺钉连接，所述电热炉丝与所述耐火砖通过螺钉连接。
进一步的，所述电热炉丝一侧设置有进热管，所述隔热罩下方设置有隔热板。
通过采用上述技术方案，通过所述进热管能够将退火炉内的热量输送到所述隔热罩外侧。
进一步的，所述隔热板上方设置有导轨，所述导轨上方设置有滑车，所述隔热罩内侧位于滑车上方设置有电加热管，所述电加热管一侧设置有输送管，所述输送管贯穿所述所述隔热罩和所述炉体后伸出并连通有电动阀，所述电动阀一侧连通有冷风机。
通过采用上述技术方案，通过所述滑车能够将在下料进行摆放。
进一步的，所述进热管贯穿所述耐火砖以及所述隔热罩，所述隔热板与所述炉体通过螺钉连接，所述隔热罩与所述隔热板通过螺钉连接。
通过采用上述技术方案，通过所述隔热板能够对退火炉内进行隔热。
进一步的，所述导轨与所述隔热板通过螺钉连接，所述滑车与所述导轨滑动连接。
通过采用上述技术方案，通过所述导轨能够使所述滑车灵活滑动。
进一步的，所述电加热管与所述耐火砖通过螺钉连接，所述输送管贯穿所述耐火砖。
通过采用上述技术方案，通过所述电加热管能够对退火炉内进行加热。
进一步的，所述电动阀与所述输送管通过螺纹连接，所述冷风机与所述输送管插接，所述冷风机与所述炉体通过螺钉连接。
通过采用上述技术方案，通过所述冷风机能够对退火炉内进行降温冷却，避免自然冷却降温造成材料退火工艺下降，满足退火炉工艺使用的需求。
(三)有益效果
本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：
1、为解决现有的退火炉多数采用密封结构，由于缺少温度控制部件，容易在对退火炉长时间加热造成耗电量大，同时由于火炉长时间开启关闭，容易使退火炉内温度下降造成保温性能差，降低了退火炉节能效率的问题，本实用新型通过设置智能温控器、耐火砖、隔热罩和进热管，不仅能够对退火炉内的温度进行控制，避免退火炉长时间加热造成耗电量大，而且还能够对退火炉进行循环保温，避免退火炉内温度下降造成保温性能差，提高了退火炉节能的效率；
2、为解决现有的退火炉在大都采用简易结构，由于缺少降温部件，容易使自然冷却降温造成材料退火工艺下降，不能满足退火炉工艺使用需求的问题，本实用新型通过设置输送管、电动阀和冷风机，能够对退火炉内进行降温冷却，避免自然冷却降温造成材料退火工艺下降，满足退火炉工艺使用的需求。
附图说明
图1是本实用新型所述一种具有隔热保温结构的退火炉的结构示意图；
图2是本实用新型所述一种具有隔热保温结构的退火炉的左剖视图；
图3是本实用新型所述一种具有隔热保温结构的退火炉的电路框图。
附图标记说明如下：
1、炉体；2、炉门；3、操作面板；4、智能温控器；5、把手；6、耐火砖；7、隔热罩；8、电热炉丝；9、进热管；10、隔热板；11、导轨；12、滑车；13、电加热管；14、输送管；15、电动阀；16、冷风机。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
如图1-图3所示，本实施例中的一种具有隔热保温结构的退火炉，包括炉体1、智能温控器4和隔热罩7，炉体1中部设置有炉门2，炉门2一侧设置有操作面板3，操作面板3一侧设置有智能温控器4，智能温控器4是一款用于控制温度的设备，可以控制地暖空调、热水器、中央新风系统、灯光等，智能温控器4一侧设置有把手5，炉体1内壁设置有隔热罩7，隔热罩7与炉体1之间留有保温腔，隔热罩7内侧砌筑有耐火砖6，耐火砖6内侧设置有电热炉丝8，炉门2与炉体1通过合页连接，操作面板3与炉门2通过螺钉连接，电热炉丝8一侧设置有进热管9，隔热罩7下方设置有隔热板10，通过进热管9能够将退火炉内的热量输送到隔热罩7外侧，隔热板10上方设置有导轨11，导轨11上方设置有滑车12，隔热罩7内侧位于滑车12上方设置有电加热管13，电加热管13一侧设置有输送管14，输送管14贯穿隔热罩7和炉体1后伸出并连通有电动阀15，电动阀15一侧连通有冷风机16，通过滑车12能够将在下料进行摆放，进热管9贯穿耐火砖6以及隔热罩7，隔热板10与炉体1通过螺钉连接，隔热罩7与隔热板10通过螺钉连接，通过隔热板10能够对退火炉内进行隔热，导轨11与隔热板10通过螺钉连接，滑车12与导轨11滑动连接，通过导轨11能够使滑车12灵活滑动，电加热管13与耐火砖6通过螺钉连接，输送管14贯穿耐火砖6，通过电加热管13能够对退火炉内进行加热。
如图1-图3所示，本实施例中，智能温控器4与炉门2通过螺钉连接，把手5与炉门2通过螺钉连接，隔热罩7与炉体1通过螺钉连接，电热炉丝8与耐火砖6通过螺钉连接，不仅能够对退火炉内的温度进行控制，避免退火炉长时间加热造成耗电量大，而且还能够对退火炉进行循环保温，避免退火炉内温度下降造成保温性能差，提高了退火炉节能的效率。
如图2和图3所示，本实施例中，电动阀15与输送管14通过螺纹连接，冷风机16与输送管14插接，冷风机16与炉体1通过螺钉连接，能够对退火炉内进行降温冷却，避免自然冷却降温造成材料退火工艺下降，满足退火炉工艺使用的需求。
本实施例的具体实施过程如下：将退火炉接通电源，把需要退后的材料放在滑车12上，通过导轨11推入炉体1内，关上炉门2，通过操作面板3启动智能温控器4，通过智能温控器4设定退火炉内的加热温度，启动电加热管13和电热炉丝8进行加热升温，产生的部分热量经过进热管9进入隔热罩7外侧对隔热罩7进行保温，同时通过隔热板10对炉体1底部进行隔热保温，当炉体1内温度达到智能温控器4设定的温度，自行停止加热，材料在经过退火后，根据工艺要求需要快速冷却，启动冷风机16产生的冷气，开启电动阀15，经过输送管14进入炉体1内，进行降温冷却，该退火炉操作便捷，通过设置智能温控器4、耐火砖6、隔热罩7和进热管9，不仅能够对退火炉内的温度进行控制，避免退火炉长时间加热造成耗电量大，而且还能够对退火炉进行循环保温，避免退火炉内温度下降造成保温性能差，提高了退火炉节能的效率，其次，通过设置输送管14、电动阀15和冷风机16，能够对退火炉内进行降温冷却，避免自然冷却降温造成材料退火工艺下降，满足退火炉工艺使用的需求。
上面所述的实施例仅仅是对本实用新型的优选实施方式进行描述，并非对本实用新型的构思和范围进行限定。在不脱离本实用新型设计构思的前提下，本领域普通人员对本实用新型的技术方案做出的各种变型和改进，均应落入到本实用新型的保护范围，本实用新型请求保护的技术内容，已经全部记载在权利要求书中。
Claims (7)
1.一种具有隔热保温结构的退火炉，其特征在于：包括炉体(1)、智能温控器(4)和隔热罩(7)，所述炉体(1)中部设置有炉门(2)，所述炉门(2)一侧设置有操作面板(3)，所述操作面板(3)一侧设置有所述智能温控器(4)，所述智能温控器(4)一侧设置有把手(5)，所述炉体(1)内壁设置有隔热罩(7)，所述隔热罩(7)与所述炉体(1)之间留有保温腔，所述隔热罩(7)内侧砌筑有耐火砖(6)，所述耐火砖(6)内侧设置有电热炉丝(8)，所述炉门(2)与所述炉体(1)通过合页连接，所述操作面板(3)与所述炉门(2)通过螺钉连接，所述智能温控器(4)与所述炉门(2)通过螺钉连接，所述把手(5)与所述炉门(2)通过螺钉连接，所述隔热罩(7)与所述炉体(1)通过螺钉连接，所述电热炉丝(8)与所述耐火砖(6)通过螺钉连接。
2.根据权利要求1所述的一种具有隔热保温结构的退火炉，其特征在于：所述电热炉丝(8)一侧设置有进热管(9)，所述隔热罩(7)下方设置有隔热板(10)。
3.根据权利要求2所述的一种具有隔热保温结构的退火炉，其特征在于：所述隔热板(10)上方设置有导轨(11)，所述导轨(11)上方设置有滑车(12)，所述隔热罩(7)内侧位于滑车(12)上方设置有电加热管(13)，所述电加热管(13)一侧设置有输送管(14)，所述输送管(14)贯穿所述隔热罩(7)和所述炉体(1)后伸出并连通有电动阀(15)，所述电动阀(15)一侧连通有冷风机(16)。
4.根据权利要求2所述的一种具有隔热保温结构的退火炉，其特征在于：所述进热管(9)贯穿所述耐火砖(6)以及所述隔热罩(7)，所述隔热板(10)与所述炉体(1)通过螺钉连接，所述隔热罩(7)与所述隔热板(10)通过螺钉连接。
5.根据权利要求3所述的一种具有隔热保温结构的退火炉，其特征在于：所述导轨(11)与所述隔热板(10)通过螺钉连接，所述滑车(12)与所述导轨(11)滑动连接。
6.根据权利要求3所述的一种具有隔热保温结构的退火炉，其特征在于：所述电加热管(13)与所述耐火砖(6)通过螺钉连接，所述输送管(14)贯穿所述耐火砖(6)。
7.根据权利要求3所述的一种具有隔热保温结构的退火炉，其特征在于：所述电动阀(15)与所述输送管(14)通过螺纹连接，所述冷风机(16)与所述输送管(14)插接，所述冷风机(16)与所述炉体(1)通过螺钉连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021486191.4U CN212834145U (zh) | 2020-07-24 | 2020-07-24 | 一种具有隔热保温结构的退火炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021486191.4U CN212834145U (zh) | 2020-07-24 | 2020-07-24 | 一种具有隔热保温结构的退火炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN212834145U true CN212834145U (zh) | 2021-03-30 |
Family
ID=75121203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202021486191.4U Active CN212834145U (zh) | 2020-07-24 | 2020-07-24 | 一种具有隔热保温结构的退火炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN212834145U (zh) |
-
2020
- 2020-07-24 CN CN202021486191.4U patent/CN212834145U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103398577A (zh) | 钐钴永磁体真空烧结炉 | |
| CN202099324U (zh) | 三段连续式真空退火炉 | |
| CN203478929U (zh) | 钐钴永磁体真空烧结炉 | |
| CN212834145U (zh) | 一种具有隔热保温结构的退火炉 | |
| CN201170691Y (zh) | 盐芯烧结炉 | |
| CN208256708U (zh) | 一种电池片处理装置 | |
| CN210657223U (zh) | 一种高效真空退火炉 | |
| CN201933010U (zh) | 一种钢化玻璃均质炉 | |
| CN209065756U (zh) | 一种用于烘干玻璃片的烤炉 | |
| CN201408801Y (zh) | 锂电池极片涂布远红外线烘干装置 | |
| CN100366762C (zh) | 采用热管进行快速降温的热处理炉 | |
| CN215481107U (zh) | 一种节能退火炉 | |
| CN110057163B (zh) | 家用食品冷热互换机器人 | |
| CN101186958A (zh) | 双室高压气淬真空炉 | |
| CN208443161U (zh) | 一种用于色母粒干燥工序的烘箱 | |
| CN208256706U (zh) | 一种光衰设备 | |
| CN208586328U (zh) | 一种节能环保的台车式强热风循环回火炉的节能炉门结构 | |
| CN209039326U (zh) | 一种玻璃瓶生产用节能退火炉 | |
| CN208458494U (zh) | 多室模具加热炉 | |
| CN209980111U (zh) | 一种辊道窑温控设备 | |
| CN213984278U (zh) | 一种热风循环烘箱 | |
| CN208422943U (zh) | 一种双通道电注入式抗光衰炉 | |
| CN106929407A (zh) | 冷热风道系统及基因测序仪 | |
| CN205343558U (zh) | 一种可快速升温和散热的加热系统 | |
| CN211256018U (zh) | 一种具有保温结构的连续加热淬火棍棒炉 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 531400 Land for Block A next to Boli Village, Guohua Town, Pingguo City, Baise City, Guangxi Zhuang Autonomous Region, 100 meters west of Pingguo Aluminum Toll Station, Boli Village, Guohua Town, Pingguo City Patentee after: Guangxi Runtai Aluminum Industry Co.,Ltd. Address before: 531406 land block a beside Boli village, Guohua Town, Pingguo City, Baise City, Guangxi Zhuang Autonomous Region (100m to the west of Pingguo Aluminum toll station, Boli village, Guohua Town, Pingguo city) Patentee before: Guangxi baikuang Runtai Aluminum Co.,Ltd. |
|
| CP03 | Change of name, title or address |