CN212826177U - 一种大尺寸硅片金刚线切割装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种大尺寸硅片金刚线切割装置，其包括本体，本体上设有三切割导辊，三切割导辊呈倒三角排布，上方两切割导辊之间形成切割间隙，金刚线绕在三切割导辊上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段，升降机构设于切割间隙上方，用于驱动硅棒向下，驱动机构用于驱动三切割导辊交替进行正转和反转，并带动金刚线对硅棒进行切割。本实用新型大尺寸硅片金刚线切割装置通过设置三切割导辊，将金刚线绕在三切割导辊上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段，并通过驱动机构驱动三切割导辊交替进行正转和反转，可将硅棒一次性切割成多个硅片，显著提升切割效率，满足大规模生产的需求。

Description

一种大尺寸硅片金刚线切割装置

技术领域

本实用新型涉及硅片切割技术领域，特别涉及一种大尺寸硅片金刚线切割装置。

背景技术

硅片的生产加工，尤其是对硅棒进行切割从而获取合格的硅片是整个产业链中的重要一环。而在硅片生产加工领域，现有的硅片切割大多是采用两导轮带动金刚线对硅棒进行切割，一次只能切割一块硅片，存在切割效率低的问题，已不能满足社会化大生产的需求。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型目的在于提供一种结构合理，切割效率高的大尺寸硅片金刚线切割装置。其采用如下技术方案：

一种大尺寸硅片金刚线切割装置，其包括本体，所述本体上设有：

三切割导辊，所述三切割导辊呈倒三角排布，上方两切割导辊之间形成切割间隙；

金刚线，绕在所述三切割导辊上并在所述切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段；

升降机构，设于所述切割间隙上方，用于驱动硅棒向下；

驱动机构，用于驱动所述三切割导辊交替进行正转和反转，并带动所述金刚线对硅棒进行切割。

作为本实用新型的进一步改进，所述三切割导辊上沿轴向均设有多个环形切割线槽，上方两切割导辊上的环形切割线槽一一对应设置，所述金刚线绕设在所述环形切割线槽内使得所述有效切割段与所述切割导辊的轴向垂直。

作为本实用新型的进一步改进，下方切割导辊上的环形切割线槽与上方切割导辊上的环形线槽交错设置。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降机构底部设有固定板，所述固定板底部设有粘接平面，硅棒粘接于所述粘接平面底部。

作为本实用新型的进一步改进，所述升降机构底部通过水平滑槽与固定板连接，所述水平滑槽用于沿所述切割导辊的轴向调节所述硅棒。

作为本实用新型的进一步改进，所述本体上还设有转接轮组，所述金刚线通过所述转接轮组绕在所述切割导辊上。

作为本实用新型的进一步改进，所述转接轮组包括水平转接轮和竖直转接轮。

作为本实用新型的进一步改进，所述切割间隙内设有集废槽，所述集废槽设于所述有效切割段下方。

作为本实用新型的进一步改进，所述驱动机构为驱动电机。

作为本实用新型的进一步改进，所述驱动电机包括第一电机、第二电机和第三电机，所述第一电机、第二电机和第三电机分别与所述三切割导辊连接。

本实用新型的有益效果：

本实用新型大尺寸硅片金刚线切割装置通过设置三切割导辊，将金刚线绕在三切割导辊上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段，并通过驱动机构驱动三切割导辊交替进行正转和反转，可将硅棒一次性切割成多个硅片，显著提升切割效率，满足大规模生产的需求。

上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是本实用新型实施例中大尺寸硅片金刚线切割装置的整体结构示意图；

图2是本实用新型实施例中大尺寸硅片金刚线切割装置的局部结构示意图；

图3是本实用新型实施例中升降机构、固定板和硅棒的装配示意图；

图4是本实用新型实施例中转接轮组的结构示意图。

标记说明：1、硅棒；10、本体；20、切割导辊；30、金刚线；31、有效切割段；40、升降机构；41、水平滑槽；50、驱动机构；70、固定板；71、粘接平面；81、水平转接轮；82、竖直转接轮。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

如图1-2所示，为本实用新型实施例中的大尺寸硅片金刚线切割装置，该大尺寸硅片金刚线切割装置包括本体10，本体10上设有三切割导辊20、金刚线30、升降机构40和驱动机构50。

三切割导辊20呈倒三角排布，上方两切割导辊20之间形成切割间隙，金刚线30绕在三切割导辊20上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段31，升降机构40设于切割间隙上方，用于驱动硅棒1向下，驱动机构50用于驱动三切割导辊20交替进行正转和反转，并带动金刚线30对硅棒1进行切割。

在本实施例中，三切割导辊20上沿轴向均设有多个环形切割线槽，上方两切割导辊20上的环形切割线槽一一对应设置，金刚线30绕设在环形切割线槽内使得有效切割段与切割导辊20的轴向垂直。

下方切割导辊20上的环形切割线槽与上方切割导辊20上的环形线槽交错设置，对上方切割导辊20上相邻环形切割线槽中的金刚线30进行承接过渡，减少环形线槽边缘对金刚线30的磨损。

如图3所示，升降机构40底部设有固定板70，固定板70底部设有粘接平面71，硅棒1粘接于粘接平面71底部。优选的，升降机构40底部通过水平滑槽41与固定板70连接，水平滑槽41用于沿切割导辊20的轴向调节硅棒1。具体的，升降机构40可以为升降气缸、升降电机等结构。

如图4所示，本体10上还设有转接轮组，金刚线30通过转接轮组绕在切割导辊20上。具体的，转接轮组包括水平转接轮81和竖直转接轮82。

在其中一实施例中，切割间隙内设有集废槽，集废槽设于有效切割段31下方的切割避让空间内，用于承接切割废料。

在本实施例中，驱动机构50为驱动电机，驱动电机包括第一电机、第二电机和第三电机，第一电机、第二电机和第三电机分别与三切割导辊20连接。

本实用新型大尺寸硅片金刚线切割装置通过设置三切割导辊，将金刚线绕在三切割导辊上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段，并通过驱动机构驱动三切割导辊交替进行正转和反转，可将硅棒一次性切割成多个硅片，显著提升切割效率，满足大规模生产的需求。

以上实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，包括本体，所述本体上设有：

三切割导辊，所述三切割导辊呈倒三角排布，上方两切割导辊之间形成切割间隙；

金刚线，绕在所述三切割导辊上并在所述切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段；

升降机构，设于所述切割间隙上方，用于驱动硅棒向下；

驱动机构，用于驱动所述三切割导辊交替进行正转和反转，并带动所述金刚线对硅棒进行切割。

2.如权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，所述三切割导辊上沿轴向均设有多个环形切割线槽，上方两切割导辊上的环形切割线槽一一对应设置，所述金刚线绕设在所述环形切割线槽内使得所述有效切割段与所述切割导辊的轴向垂直。

3.如权利要求2所述的大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，下方切割导辊上的环形切割线槽与上方切割导辊上的环形线槽交错设置。

4.如权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，所述升降机构底部设有固定板，所述固定板底部设有粘接平面，硅棒粘接于所述粘接平面底部。

5.如权利要求4所述的大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，所述升降机构底部通过水平滑槽与固定板连接，所述水平滑槽用于沿所述切割导辊的轴向调节所述硅棒。

6.如权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，所述本体上还设有转接轮组，所述金刚线通过所述转接轮组绕在所述切割导辊上。

7.如权利要求6所述的大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，所述转接轮组包括水平转接轮和竖直转接轮。

8.如权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，所述切割间隙内设有集废槽，所述集废槽设于所述有效切割段下方。

9.如权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，所述驱动机构为驱动电机。

10.如权利要求9所述的大尺寸硅片金刚线切割装置，其特征在于，所述驱动电机包括第一电机、第二电机和第三电机，所述第一电机、第二电机和第三电机分别与所述三切割导辊连接。

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