CN212807572U - 一种提高测试洁净度的对比度仪 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种提高测试洁净度的对比度仪，包括可开启的密闭罩体和置于密闭罩体内的水平支架，水平支架的下方设有用于测试样片使用的显微镜头，靠近显微镜头的一侧设有照明灯，其另一侧设有湿度测试仪，显微镜头的正下方设有用于固定样品的样品台，样品台的正下方设有信号接收器，用于接收黑白画面下的亮度值，信号接收器和显微镜头分别垂直于样品台设置，并位于样品台的上下两侧；密闭罩体上还设有与其连通的抽真空装置、泄压装置和压力表，抽真空装置用于将密闭罩体内抽至真空状态。本实用新型通过抽真空装置将密闭罩体内的残留空气抽出，从而避免空气中的粉尘颗粒等物质灰尘进入到密闭罩体的测试室内影响测试的准确性。

Description

一种提高测试洁净度的对比度仪

技术领域

本实用新型属于对比度测试技术领域，具体涉及一种提高测试洁净度的对比度仪。

背景技术

中国面板行业的兴起，带动着相关联的上游企业也一并提高，彩色光刻胶作为面板中的一项重要原材料，对其性质的评价也需要做到精准的要求，其中对比度的测试是彩色光刻胶的一项重要指标，但目前受于国内技术的缺陷，大部分对比度的测试设备为国外生产，采用的原理为：通过点灯系统进行黑白画面的切换，根据预设时间的间隔来获取黑画面和白画面的亮度值，根据亮度值来计算得出对比度的值，测试的环境处于空气中，空气中的灰尘以及湿度对对比度的测试影响很大，需要大量的重复性测试才能的得出结果。

中国专利文献CN201710142594.3公开了一种对比度测试系统，包括点灯系统及测试系统。其中,点灯系统采用待测试显示屏的BIST模式进行自动点灯和黑白画面的切换,并通过所述测试系统间隔预设时间分别获取所述待测试显示屏的黑画面亮度值和白画面亮度值；对比度测试系统根据所述黑画面亮度值和所述白画面亮度值计算获得所述待测试显示屏的对比度值。可以解决现有产线无法对显示屏的对比度进行有效检测的问题。上述专利文献主要讲述的对比度仪的测试原理，并没有提到如何提高对比度的测试精度。

实用新型内容

本实用新型为了克服上述现有技术的不足，提供了一种提高测试洁净度的对比度仪，解决现有的对比度仪测试对比度测试结果不准确的技术问题，本实用新型通过减少密闭罩体内的灰尘以及保持测试环境的湿度稳定一致，避免空气中的灰尘及湿度对测试结果的影响，从而提高对比度的测试精度更加精准。

所采用的技术方案如下：

一种提高测试洁净度的对比度仪，包括可开启的密闭罩体和置于所述密闭罩体内的水平支架，所述水平支架的下方设有用于测试样片的显微镜头，靠近所述显微镜头的附近位置设有照明灯和湿度测试仪，所述显微镜头的正下方设有用于固定样品的样品台，所述样品台的正下方设有用于接收黑白画面下的亮度值的信号接收器；所述信号接收器和所述显微镜头分别垂直于所述样品台设置，并位于所述样品台的上下两侧；所述密闭罩体上还设有与其连通的抽真空装置、泄压装置和压力表，所述抽真空装置用于将所述密闭罩体内抽至真空状态。

优选地，所述抽真空装置包括真空泵和抽真空管路，所述抽真空管路的一端与所述密闭罩体的底部相连通，其另一端与所述真空泵的抽气端连接。

优选地，所述泄压装置为一设置于所述密闭罩体上部的且与所述密闭罩体相连通的泄压管路，所述泄压管路上设有一泄压阀。

或进一步优选地，所述泄压装置还包括空气压缩泵、注气管道和空气滤网，所述空气滤网设置于所述注气管道上，用于对进入所述密闭罩体内的空气进行过滤，所述注气管道的一端与所述空气压缩泵出气端连接，其另一端与所述密闭罩体的底部相连通。

所述空气滤网优选为GB型或GWB型高效型空气过滤网。

所述显微镜头设置于所述水平支架的中部，且其镜头朝向所述水平支架的正下方。

所述样品台上设有用于放置测试样片的检测孔，所述检测孔正对所述显微镜头，且所述显微镜头的大小与所述检测孔大小保持一致，所述样品台的上端面与测试样片的大小保持一致。优选样品台的大小设置为100mm×100mm。

所述密闭罩体的整体厚度为10mm～12mm的钢化玻璃。

所述密闭罩体的承受真空度为100Pa～300Pa。

所述湿度测试仪为数显型湿度测试仪，用于实时监测并显示所测环境下的湿度值。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

A.本实用新型通过抽真空装置将密闭罩体内的残留空气抽出，同时将密闭罩体内的粉尘颗粒等物质抽出，从而避免空气中的灰尘进入到密闭罩体的测试室内影响测试的准确性，与一般对比度仪相比，本实用新型所采用的真空对比度仪测试样片更加准确。

B.本实用新型将空气抽出后还能保证测试室内的湿度均匀一致，通过湿度测试仪实时检测密闭罩体内的湿度，减少因不同时间环境湿度的差异性对测试稳定性的影响，提高了样片对比度的测试精度。

C.本实用新型选用固定大小的样品台，能保证每次样片测试的区域一致，减少样片不同位置对测试数据的影响。

D.本实用新型在泄压装置中的注气管道中选用空气滤网过滤空气中的固定颗粒物，始终保持测试室内环境具有较高的洁净度，从而保证测试更加精准。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型所提供的一种提高洁净度的对比度仪整体结构示意图；

图2为一般对比度仪和真空对比度仪标准测量对比图。

图中所标识的附图标记如下：

1-密闭罩体；2-显微镜头；3-信号接收器；4-照明灯；5-湿度测试仪；6-水平支架；7-样品台；8-抽真空装置，81-真空泵，82-抽真空管路；9-泄压装置，91-泄压管路，92-泄压阀，93-空气压缩泵，94-注气管道，95-空气滤网；10-压力表。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实用新型提供了一种提高测试洁净度的对比度仪，包括可开启的密闭罩体1和置于密闭罩体1内的水平支架6，水平支架6上设有用于测试样片的显微镜头2，靠近显微镜头2的一侧设有照明灯4，其另一侧设有湿度测试仪5，在显微镜头2的正下方设有用于固定样品的样品台7，样品台7的正下方设有信号接收器3，其属于光信号接收器，采用德国FEMTO生产的HSA-X-S-2G-IN信号接收器，用于接收黑白画面下的亮度值，信号接收器3和显微镜头2分别垂直于样品台7设置，并位于样品台7的上下两侧；在密闭罩体1上还设有与其连通的抽真空装置8、泄压装置9和压力表10，抽真空装置8用于将密闭罩体1内抽至真空状态。具体地，抽真空装置8包括真空泵81和抽真空管路82，抽真空管路82的一端与密闭罩体1的底部相连通，其另一端与真空泵81的抽气端连接。本实用新型利用真空泵81将密闭罩体1内的空气抽出，从而避免空气中的灰尘进入到测试室内，影响测试的准确性，同时将空气抽出后还能保证测试室内的湿度均匀一致，减少因不同时间环境湿度的差异性对测试稳定性的影响。密闭罩体1内将玻璃两侧连接固定在水平支架6上，在水平支架6中心位置正下方设置显微镜头2，用于测试样片使用，照明灯4用于控制测试系统的点灯，样品台7用于固定样品的位置，在样品台7正下方和显微镜头2垂直对应的是信号接收器3用于接收黑白画面下的亮度值，导入系统内通过软件进行计算得出对比度值。

本实用新型中所采用的固定大小的样品台能保证每次测试区域一致，减少样片不同位置对测试数据的影响。在样品台7上设有用于放置测试样片的检测孔(图中未示出，通常设置在样品台的中部位置)，检测孔正对显微镜头2，且显微镜头2的大小与检测孔大小保持一致，样品台7的上端面与测试样片的大小保持一致。

其中的泄压装置9为一设置于密闭罩体1上部的且与密闭罩体1相连通的泄压管路91，泄压管路91上设有一泄压阀92，打开泄压阀92时，可使密闭罩体1内的压力保持常压状态，这里的泄压阀92为常用的压力阀。

当然，泄压装置9还包括空气压缩泵93、注气管道94和空气滤网95，空气滤网95设置于注气管道94上，用于对进入密闭罩体1内的空气进行过滤，注气管道94的一端与空气压缩泵93出气端连接，其另一端与密闭罩体1的底部相连通。在密闭罩体1外部上方位置的压力表10及泄压阀92用于监测密闭罩体1的真空度以及卸掉密闭罩体1的压力。在密闭罩体1外部左下方位置的空气压缩泵93用于向密闭罩体1充入空气，起到泄压的作用，同时在空气压缩泵93和密闭罩体1连接的注气管道94的进气口处增加一个空气滤网95，用于过滤外部环境的空气，防止空气中灰尘进入到密闭罩体1内，对测试造成影响，空气滤网95选用高效型空气过滤网，GB型和GWB型均可，滤网需要定期检查更换，提高其过滤能力。

如图1所示，密闭罩体为的整体厚度为10mm～12mm的钢化玻璃，经过钢化处理，其真空度需要达到100-300Pa，保证玻璃能达到抽真空之后承受的强度。

本实用新型在图中显微镜头2右侧安装湿度测试仪5，用于监测密闭罩体1内的湿度情况，湿度测试仪5选用数字实时显示的类型，便于实时进行监控，其为现有技术，这里不再赘述。

同时，样品台7的大小设置为100mm×100mm，需要和测试样片的大小保持一致，保证每次样片放置的位置一致，还可以在样品台7的四个角上放上立柱，便于固定样片的位置，样品台7上对应显微镜头2垂直下方的位置具有相同直径的检测孔。

具体运行情况如下：

(1)打开对比度仪，预热对比度仪1h后，打开测试软件，点击一键校验，校验设备的可靠性，确认设备的可靠性无问题后再进行测试。

(2)打开密闭罩体，将测试样片放置在样品台的位置固定好，关闭密闭罩体，打开真空泵，将密闭罩体内的空气抽干，观察压力表的示数能达到要求后，开始测试，照明灯点灯得出黑画面和白画面的亮度值，信号接收器接收到的信号传送到软件上，然后软件计算得出结果。

(3)关闭真空泵，打开泄压阀，将密闭罩体内的压力恢复到常压，准备下次测试。

分别采用传统对比度仪器和本实用新型所提供的真空对比度仪器对1μm标准样片进行测试，对比如下表所示。

表1：一般对比度仪和真空对比度仪分别测试对比度(10500)标准样品的测试数据对比表

测试编号	一般对比度仪测试结果	真空对比度仪测试结果
			1	10685	10500
2	10324	10532
			3	10456	10498
4	10553	10524
			5	10532	10541
6	10643	10486
			7	10684	10495
8	10425	10493
			9	10445	10521
10	10365	10532
			11	10456	10510
12	10695	10531
			13	10548	10499
14	10556	10496
			15	10574	10526
极差	371	55
			标准差	116.5153577	17.96212947

表2：不同测试时间对比度仪湿度对比

由表1可知，测试标准样片与一般对比度仪的极差和标准差，与测试标准样片与真空对比度仪的极差和标准差相比，后者较低，因此，本实用新型所采用的真空对比度仪的测试结果更加精准。从表2中可知，通过湿度测试仪5检测出的不同月份进行样片检测时的密闭罩体内的湿度情况，从表2中可以看出，采用本实用新型的真空对比度仪，外界环境的变化对密闭罩体内部的湿度影响较小，保持不同测试样片的湿度一致性较好。

由图2可知：一般对比度仪测试标准样片的数据波动较大，而真空对比度仪测试标准样片的波动较小，说明真空对比度仪的测试准确性更好。

上述所采用的真空泵、空气压缩泵、显微镜头等都可以采用现有技术，不再对其具体结构和工作原理进一步赘述。

以上是本实用新型的具体实施案例结构，无论采用何种密闭罩体、密闭罩体的厚度或者材质、样品台的大小，只要涉及到对比度仪使用抽真空的方式来提高测试室内的洁净度和保证测试室内湿度一致的情况，均应属于本实用新型的保护范围。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种提高测试洁净度的对比度仪，包括可开启的密闭罩体(1)和置于所述密闭罩体(1)内的水平支架(6)，其特征在于，所述水平支架(6)的下方设有用于测试样片的显微镜头(2)，靠近所述显微镜头(2)的附近位置设有照明灯(4)和湿度测试仪(5)，所述显微镜头(2)的正下方设有用于固定样品的样品台(7)，所述样品台(7)的正下方设有用于接收黑白画面下的亮度值的信号接收器(3)；所述信号接收器(3)和所述显微镜头(2)分别垂直于所述样品台(7)设置，并位于所述样品台(7)的上下两侧；所述密闭罩体(1)上还设有与其连通的抽真空装置(8)、泄压装置(9)和压力表(10)，所述抽真空装置(8)用于将所述密闭罩体(1)内抽至真空状态。

2.根据权利要求1所述的提高测试洁净度的对比度仪，其特征在于，所述抽真空装置(8)包括真空泵(81)和抽真空管路(82)，所述抽真空管路(82)的一端与所述密闭罩体(1)的底部相连通，其另一端与所述真空泵(81)的抽气端连接。

3.根据权利要求2所述的提高测试洁净度的对比度仪，其特征在于，所述泄压装置(9)为一设置于所述密闭罩体(1)上部的且与所述密闭罩体(1)相连通的泄压管路(91)，所述泄压管路(91)上设有一泄压阀(92)。

4.根据权利要求3所述的提高测试洁净度的对比度仪，其特征在于，所述泄压装置(9)还包括空气压缩泵(93)、注气管道(94)和空气滤网(95)，所述空气滤网(95)设置于所述注气管道(94)上，用于对进入所述密闭罩体(1)内的空气进行过滤，所述注气管道(94)的一端与所述空气压缩泵(93)出气端连接，其另一端与所述密闭罩体(1)的底部相连通。

5.根据权利要求4所述的提高测试洁净度的对比度仪，其特征在于，所述空气滤网(95)为GB型或GWB型高效型空气过滤网。

6.根据权利要求1所述的提高测试洁净度的对比度仪，其特征在于，所述显微镜头(2)设置于所述水平支架(6)的中部，且其镜头朝向所述水平支架(6)的正下方。

7.根据权利要求1-6任一所述的提高测试洁净度的对比度仪，其特征在于，所述样品台(7)上设有用于放置测试样片的检测孔，所述检测孔正对所述显微镜头(2)，且所述显微镜头(2)的大小与所述检测孔大小保持一致，所述样品台(7)的上端面与测试样片的大小保持一致。

8.根据权利要求1所述的提高测试洁净度的对比度仪，其特征在于，所述密闭罩体(1)的整体厚度为10mm～12mm的钢化玻璃。

9.根据权利要求8所述的提高测试洁净度的对比度仪，其特征在于，所述密闭罩体(1)的承受真空度为100Pa～300Pa。

10.根据权利要求1所述的提高测试洁净度的对比度仪，其特征在于，所述湿度测试仪(5)为数显型湿度测试仪，用于实时监测并显示所测环境下的湿度值。

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