CN212800525U - 一种镀膜治具和镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种镀膜治具和镀膜装置，镀膜治具包括框体，所述框体具有四个侧边，所述侧边包括：侧边本体、由所述侧边本体向所框体内延伸的凸起，各所述侧边本体在所述凸起的一侧围成膜片空间，各所述凸起用于承接所述膜片空间内的膜片；所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧上形成第一斜面，所述膜片搭设在各所述凸起上时，所述膜片的边缘与所述侧边本体的第一斜面与之间形成间隙。膜片搭设在四个凸起上时，膜片的边缘与第一斜面之间形成间隙，在进行镀膜时，膜片边缘与第一斜面之间具有间隙便于真空镀膜的进行，提升膜片边缘的镀膜速率，进而提升膜片整体的镀膜质量。

Description

一种镀膜治具和镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜加工领域，特别是涉及一种镀膜治具和镀膜装置。

背景技术

随着经济的发展，社会的进步，能源节约已经成为必然和社会共识。CVD、 PVD，上下料已经趋于自动化，在满足自动化上下料得同时，又要考虑到增加机台的镀膜效率，增强产品的品质。现有技术中的镀膜治具，一般在治具上开设一用于放置CVD或PVD片的凹槽，膜片卡入凹槽中进行镀膜，但镀膜过程中，膜片的边缘与治具的凹槽距离一般较近，会导致膜片的边缘处镀膜速率较低。膜片中部与膜片边缘的镀膜速率不同，会导致膜片整体的镀膜质量降低。

实用新型内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种镀膜治具，提升膜片边缘的镀膜速率，从而提升镀膜整体质量。

一种镀膜治具，包括框体，所述框体具有四个侧边，所述侧边包括：侧边本体、由所述侧边本体向所述框体内延伸的凸起，各所述侧边本体在所述凸起的一侧围成膜片空间，各所述凸起用于承接所述膜片空间内的膜片；所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧上形成第一斜面，所述膜片搭设在各所述凸起上时，所述膜片的边缘与所述侧边本体的第一斜面与之间形成间隙。

上述镀膜治具，膜片搭设在四个凸起上时，膜片的边缘与第一斜面之间形成间隙，在进行镀膜时，膜片边缘与第一斜面之间具有间隙便于真空镀膜的进行，提升膜片边缘的镀膜速率，进而提升膜片整体的镀膜质量。

在其中一个实施例中，所述框体为长方形或正方形，各所述侧边本体上的第一斜面围成一倒置的梯形凸台。

在其中一个实施例中，各所述侧边本体在第一斜面上均设有定位部，所述膜片搭设在各所述凸起上时，位于各所述定位部之间。由于第一斜面的设置，可能导致膜片进料时定位困难，为解决上述问题，本实施方式中的各侧边本体在第一斜面上均设有定位部，定位部用于对膜片进行限位，通过四个侧边本体上定位部的设置，可以对膜片的四个边缘进行定位，达到方便定位和定位稳定的效果。

在其中一个实施例中，各所述侧边本体上均设有两个所述定位部，所述侧边本体被两个所述定位部分隔成三段等长的边段。膜片在膜片空间内被定位部定位时，每个边缘分别由两个定位部限位，限位更加稳定，同时在限位时可能出现膜片边缘与定位部抵持的情况，边缘与多个定位部接触可以分散膜片边缘受到的是作用力，更好的保护膜片。

在其中一个实施例中，所述凸起上用于承接膜片的一侧面为承接面，所述侧边本体还包括：连接所述第一斜面的平台面，所述平台面平行与任一所述凸起的承接面，所述第一斜面位于所述承接面与所述平台面之间。

在其中一个实施例中，所述第一斜面靠近所述承接面的一端与所述承接面连接。

在其中一个实施例中，所述侧边本体还包括：设在所述第一斜面底部的连接面，所述连接面的两端分别与所述第一斜面及所述承接面连接，所述第一斜面高于所述承接面。

在其中一个实施例中，所述承接面具有连接所述第一斜面的第一边、与所述第一边相对的第二边，所述定位部设在所述第一斜面上，所述定位部朝向所述凸起的一侧具有限位面，所述限位面与所述第二边对齐。

在其中一个实施例中，所述凸起在朝向所述框体内部的一侧具有竖直面，所述第一斜面与所述凸起的竖直面之间的夹角在30°至70°之间。

在其中一个实施例中，所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧形成有第二斜面，所述第一斜面和所述第二斜面分别位于所述凸起的两侧，且所述第一斜面和所述第二斜面朝所述凸起相互靠拢。在镀膜治具横置时，各第二凸起围成梯形凸台，增大膜片背面的镀膜空间提升，膜片背部与凸起接触的边缘的镀膜速率。

本实用新型还公开了一种镀膜装置，包括：镀膜平台和若干个如上所述的镀膜治具，所述镀膜平台上开设若干个镀膜槽，各所述镀膜治具分别设在所述镀膜槽中。

上述镀膜装置，该镀膜装置可以设置于机械手下方，通过机械手依次对镀膜平台上的各个镀膜治具进行上料、取料等步骤，也可以同时进行真空镀膜操作。提升多个膜片同时镀膜的质量。

在其中一个实施例中，所述镀膜治具的各侧边本体向所述框体外延伸有强化筋，所述镀膜治具位于所述镀膜槽中时，所述强化筋搭设在所述镀膜平台上。在安放镀膜治具时，只需将镀膜治具直接放置在镀膜槽上，镀膜治具的强化筋会自动搭在镀膜平台上，完成镀膜治具的安放，在完成镀膜，准备取出镀膜治具时，只需通过强化筋即可将镀膜治具提起，从镀膜槽中取出，方便快捷。

在其中一个实施例中，所述镀膜平台上开设若干个镀膜槽，各所述镀膜治具分别安装在所述镀膜槽中，所述镀膜治具的任意两个相邻的侧边本体连接形成连接角，所述连接角向所述框体外延伸有强化筋，所述镀膜治具位于所述镀膜槽中时，所述强化筋搭设在所述镀膜平台上。

在其中一个实施例中，各所述镀膜治具与所述镀膜平台一体成型。

附图说明

图1为一实施例中镀膜治具的主视图；

图2为一实施例中镀膜治具的斜视图；

图3为一实施例中图1中A-A处的剖图；

图4为另一实施例中图1中A-A处的剖图；

图5为第二实施例中镀膜治具的背部结构示意图；

图6为第三实施例中镀膜治具的结构示意图；

图7为第四实施例中镀膜装置的结构示意图。

其中：1、框体；10、膜片空间；2、侧边；3、侧边本体；31、第一斜面； 32、平台面；33、第二斜面；34、连接面；4、凸起；41、第一边；42、第二边；43、承接面；44、竖直面；5、定位部；51、限位面；6、倒角；7、强化筋； 8、连接角；9、镀膜平台；91、镀膜治具。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用以解释本实用新型，并不限定本实用新型的保护范围。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本实用新型的第一实施方式涉及一种镀膜治具，镀膜治具呈长方形或正方形的框体1设置，PVD或CVD膜片放入镀膜治具中进行镀膜操作。

其中，如图1所示，镀膜治具包括框体1，框体1具有四个侧边2，四个侧边2均为直线型边，围成一正方形或矩形，其中，结合图2与图3，侧边2包括：侧边本体3、由侧边本体3向框体1内延伸的凸起4，膜片在镀膜时进入四个侧边本体3内，由各个凸起4承接。凸起4设在侧边本体3的中部，将四个侧边本体3围成的空间分隔成两部分，四个凸起4的一侧为膜片空间10，本实施方式中为上侧。四个侧边本体3在四个凸起4的上侧围成了膜片空间10，膜片在工作时进入膜片空间10内，由各凸起4承接膜片，进行镀膜操作。现有技术的方案中，一般膜片位于膜片空间10内时，为了膜片的限位，侧边本体3与膜片之间的距离过近，甚至相贴合，会造成膜片边缘与侧边本体3之间间隙过小，镀膜不变的情况发生，使得膜片边缘的位置镀膜速率低于膜片中部的镀膜速率，造成了镀膜速率不一致的情况发生，影响膜片整体镀膜质量。

本实施方式中的镀膜治具，如图1和图2所示，侧边本体3朝向膜片空间 10的一侧形成第一斜面31，第一斜面31位于凸起4的上方，并自侧边本体3 的上边缘向下倾斜，四个侧边本体3的的第一斜面31围成一个倒置的梯形凸台，梯形凸台的四边朝下倾斜。膜片位于膜片空间10内，即膜片搭设在四个凸起4 上时，膜片的边缘与第一斜面31之间形成间隙，在进行镀膜时，膜片边缘与第一斜面31之间具有间隙便于真空镀膜的进行，提升膜片边缘的镀膜速率，进而提升膜片整体的镀膜质量。

由于第一斜面31的设置，可能导致膜片进料时定位困难，为解决上述问题，本实施方式中的各侧边本体3在第一斜面31上均设有定位部5，定位部5用于对膜片进行限位，通过四个侧边本体3上定位部5的设置，可以对膜片的四个边缘进行定位，达到方便定位和定位稳定的效果。其中，结合图1、图2与图3，凸起4的上表面为承接面43，侧边本体3在凸起4上方的朝向框体1内部的一侧为：与凸起4的承接面43连接的第一斜面31、与第一斜面31连接的平台面 32，平台面32连接在第一斜面31的顶部，与任一凸起4的承接面43平行，承接面43和平台面32均为水平设置，平台面32为使框体1的顶面呈水平，便于镀膜工序的进行。凸起4的承接面43具有靠近第一斜面31的第一边41、远离第一边41的第二边42，在一个实施例中，如图3所示，第一斜面31连接在平台面32和承接面43之间，即第一斜面31的顶端与平台面32相连，第一斜面 31的底端与承接面的第一边41相连。定位部5设在第一斜面31上，底端位于第一斜面31底部，定位部5朝向框体1内部的一侧具有限位面51，限位面51 与凸起4的承接面43的第一边41连接。定位部5的底部连接承接面43是为了避免膜片在定位时抵在第一斜面31的下侧，造成定位偏差的情况发生。

在另一个实施例中，如图4所示，侧边本体3上还具有：设在第一斜面31 底部的连接面34，第一斜面31的顶端连接平台面32，第一斜面31的底端与连接面34连接，连接面34与第一边41连接，即连接面34将第一边41与第一斜面31连接，连接面34的设置抬升了第一斜面的高度，使得第一斜面31与承接面43相隔开，避免了膜片边缘在搭设凸起4上的承接面43时，容易搭在第一斜面31上的情况发生，减少膜片在第一斜面31上的搭边几率，使膜片可以稳定地搭载凸起4的承接面43上。

定位部5的两端分别与第一斜面31的顶端和底端连接，定位部5上朝向框体1内部的限位面51通过限定膜片边缘的位置来限定膜片的位置，膜片在进入膜片空间10时，通过四个侧边2上的定位部5进行定位，膜片通过定位部5滑到各凸起4上，抵持在各凸起4的承接面43上，安放在框体1最中心的位置。其中，各侧边本体3的第一斜面31上均设有两个定位部5，侧边本体3被两个定位部5分隔成三个等长的边段。膜片在膜片空间10内被定位部5定位时，每个边缘分别由两个定位部5限位，限位更加稳定，同时在限位时可能出现膜片边缘与定位部5抵持的情况，边缘与多个定位部5接触可以分散膜片边缘受到的是作用力，更好的保护膜片。当然，每个侧边本体3的第一斜面31上也可以设置其他数量的定位部5，如3个或4个或其他数量，定位部5可以等距设置或不等距设置，本实施方式中仅以两个定位部5等距分割侧边本体3为例做说明，不做具体限定。值得注意的是，凸起4在朝向框体1内部的一侧具有竖直面44，第一斜面31与凸起4的竖直面44之间的夹角在30°至70°之间，可以为30°至70°之间的任意角度，该区间内的角度可以较好的引导膜片，同时可以与膜片之间形成足够大的间隙，提升膜片边缘的镀膜速率。

另外，定位部5的顶部位于第一斜面31的顶部，与平台面32连接。定位部5覆盖第一斜面31，定位部5的顶部连接平台面32是为了避免膜片在定位时搭在定位部5上，造成膜片定位错误的情况发生；定位部5可以通过固定件或粘接的方式安装在第一斜面31上，也可以与第一斜面31一体成型，本实施方式中以定位部5与第一斜面31一体成型为例，不做具体限定。定位部5与第一斜面31一体成型可以更好的提升定位部5位置和限位的稳定性，便于加工同时免去了安装流程。

另外值得注意的是，四个侧边2中，任意相邻的两个侧边2之间相连，连接处形成倒角6，为膜片的边角提供镀膜空间，本实施方式中，两个侧边2相连形成的倒角6上也具有一斜面，使得膜片的边角与框体1的倒角6处也形成间隙，该间隙可以可以提升膜片边角的镀膜速率，避免因膜片的边角镀膜速率较低而影响膜片整体的镀膜品质。

另外，膜片除了正面需要镀膜外，背面也需镀膜，凸起4设在侧边本体3 的中部，侧边本体3在凸起4的下侧也具有一定距离，为了便于膜片背面的镀膜工序，侧边本体3在朝向膜片空间10的一侧还具有第二斜面33，第一斜面 31和第二斜面33分别位于凸起4的两侧，且第一斜面31和第二斜面33朝凸起 4相互靠拢。在镀膜治具横置时，各第二凸起4围成梯形凸台，增大膜片背面的镀膜空间，提升膜片背部与凸起4接触的边缘的镀膜速率。第二斜面33与凸起 4的竖直平面之间的夹角在30°至70°之间，可以为30°至70°之间的任意角度，该区间内的角度可以与膜片之间形成足够大的间隙，提升膜片边缘的镀膜速率。

本实施方式中的膜片治具，通过第一斜面31和第二斜面33设置，提升了膜片边缘和背部的镀膜速率，从而提升了膜片的整体镀膜质量；通过多个定位部5的设置，解决了因斜面与膜片之间的间隙而产生的定位问题。

本实用新型的第二实施方式公开了一种镀膜装置，镀膜装置包括镀膜平台和若干个如第一实施方式中的镀膜治具，镀膜治具安装在镀膜平台上，本实施方式中镀膜平台上开设有若干个镀膜槽，各镀膜治具分别设在镀膜槽中。该镀膜装置可以设置于机械手下方，通过机械手依次对镀膜平台上的各个镀膜治具进行上料、取料等步骤，也可以同时进行真空镀膜操作。提升多个膜片的整体镀膜质量。

如图2和图5所示，镀膜治具的各个侧边本体3上向框体1外延伸有强化筋7，强化筋7连接在侧边本体3的平台面32上，位于镀膜治具的顶部。各个镀膜槽的开槽尺寸与侧边本体3所围成的形状相同，在安放镀膜治具时，只需将镀膜治具直接放置在镀膜槽上，镀膜治具的强化筋7会自动搭在镀膜平台上，完成镀膜治具的安放，在完成镀膜，准备取出镀膜治具时，只需通过强化筋7 即可将镀膜治具提起，从镀膜槽中取出，方便快捷。

本实用新型的第三实施方式涉及一种镀膜装置，大体与第二实施方式中的镀膜装置相同，主要区别在于，第二实施方式中的侧边本体3上延伸有强化筋7，而在第三实施方式中，如图6所示，镀膜治具的任意两个相邻的侧边本体3连接形成连接角8，连接角8向框体外延伸有强化筋7，所述镀膜治具位于所述镀膜槽中时，强化筋7搭设在镀膜平台上。相较于第二实施方式中的镀膜装置中侧边本体3整体延伸强化筋7，本实施方式中仅在连接角8处延伸了强化筋7，不仅可以稳定地设在镀膜槽，同时节省了治具用料，降低了治具的加工成本。

本实用新型的第四实施方式涉及一种镀膜装置，镀膜装置包括镀膜平台和若干个如第一实施方式中的镀膜治具，本实施方式中，如图7所示，镀膜平台9 与镀膜治具91一体成型，无需拆装过程，可直接通过机械手依次对镀膜平台9 上的各个镀膜治具91进行上料、取料等步骤，也可以同时进行真空镀膜操作。提升多个膜片的整体镀膜质量。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (13)

1.一种镀膜治具，其特征在于，包括框体，所述框体具有四个侧边，所述侧边包括：侧边本体、由所述侧边本体向所述框体内延伸的凸起，各所述侧边本体在所述凸起的一侧围成膜片空间，各所述凸起用于承接所述膜片空间内的膜片；所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧上形成第一斜面，所述膜片搭设在各所述凸起上时，所述膜片的边缘与所述侧边本体的第一斜面之间形成间隙。

2.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述框体为长方形或正方形，各所述侧边本体上的第一斜面围成一倒置的梯形凸台。

3.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，各所述侧边本体在第一斜面上均设有定位部，所述膜片搭设在各所述凸起上时，位于各所述定位部之间。

4.根据权利要求3所述的镀膜治具，其特征在于，所述凸起上用于承接膜片的一侧面为承接面，所述侧边本体还包括：连接所述第一斜面的平台面，所述平台面平行与任一所述凸起的承接面，所述第一斜面位于所述承接面与所述平台面之间。

5.根据权利要求4所述的镀膜治具，其特征在于，所述第一斜面靠近所述承接面的一端与所述承接面连接。

6.根据权利要求4所述的镀膜治具，其特征在于，所述侧边本体还包括：设在所述第一斜面底部的连接面，所述连接面的两端分别与所述第一斜面及所述承接面连接，所述第一斜面高于所述承接面。

7.根据权利要求4所述的镀膜治具，其特征在于，所述承接面具有连接所述第一斜面的第一边、与所述第一边相对的第二边，所述定位部设在所述第一斜面上，所述定位部朝向所述凸起的一侧具有限位面，所述限位面与所述第二边对齐。

8.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述凸起在朝向所述框体内部的一侧具有竖直面，所述第一斜面与所述凸起的竖直面之间的夹角在30°至70°之间。

9.根据权利要求1所述的镀膜治具，其特征在于，所述侧边本体朝向所述膜片空间的一侧形成有第二斜面，所述第一斜面和所述第二斜面分别位于所述凸起的两侧，且所述第一斜面和所述第二斜面朝所述凸起相互靠拢。

10.一种镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜平台和若干个如权利要求1至8中任一项所述的镀膜治具，各所述镀膜治具均安装在所述镀膜平台上。

11.根据权利要求10所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜平台上开设若干个镀膜槽，各所述镀膜治具分别安装在所述镀膜槽中，所述镀膜治具的各侧边本体向所述框体外延伸有强化筋，所述镀膜治具位于所述镀膜槽中时，所述强化筋搭设在所述镀膜平台上。

12.根据权利要求10所述的镀膜装置，其特征在于，所述镀膜平台上开设若干个镀膜槽，各所述镀膜治具分别安装在所述镀膜槽中，所述镀膜治具的任意两个相邻的侧边本体连接形成连接角，所述连接角向所述框体外延伸有强化筋，所述镀膜治具位于所述镀膜槽中时，所述强化筋搭设在所述镀膜平台上。

13.根据权利要求10所述的镀膜装置，其特征在于，各所述镀膜治具与所述镀膜平台一体成型。

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