CN212800521U - 一种涂层机靶材装夹结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种涂层机的靶材装夹结构，包括靶材，以及用于放置靶材的半圆形置放槽；所述置放槽设有自槽底向置放槽上端面延伸的板体，所述置放槽顶部开口，置放槽与板体相对的另一侧设置为开口；所述置放槽内壁面设有多个等间距分布且相对壁面向下凹陷的夹槽；所述靶材外周设有一圈相对周侧端面凸起，且与夹槽相配合的凸条，用于所述夹槽夹住靶材凸条。该结构简单，且实用性强，能实现快速便捷的装夹及拆卸，提高工作效率。优化了原有靶材装夹夹具结构的装配方式，实现了靶材更换的即插即用；大大提高了生产效率，缩短了靶材更换装夹的操作时间；也减少了多余零配件的使用和维护，从而降低了生产成本和维护成本。

Description

一种涂层机靶材装夹结构

技术领域

本实用新型涉及机械刀具加工物理涂层领域，特别是涉及一种涂层机靶材装夹结构。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，使粒子沉积在带有负偏压的目标工件上，形成功能镀膜。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

在使用过程中，靶材需要通过装夹夹具进行夹持。更换靶材需要拆下引弧针、靶材前端圆形盖板、固定环，再取下靶材装夹夹具；在正常工作时，经过多次涂层工作后，靶材表面会逐渐消耗向中心侵蚀形成涡状，会影响靶材电弧作用下溅射的稳定性，从而影响其使用寿命，同时也会影响涂层质量。如果要改善上述问题，提高靶材的及时更换和更换效率，则需要改变靶材的装夹结构，以优化其在加工工作过程中的拆装更换。为了更加方便涂层靶材的更换和装夹，需要克服的问题主要有：(1)更换原有的拼装式靶材装夹夹具，重新设计靶材装夹夹具结构；(2)改变靶材的固定方式。在现有的靶材装夹结构中，需要对多个零件结构进行拆装；多次拆装会导致零部件的磨损，和增加了作业难度从而降低了生产效率。

因此，针对现有技术中存在的问题，亟需提供一种结构简单，能够提高靶材的装夹效率，实现稳定加工的涂层机靶材装夹结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于避免现有技术中的不足之处，而提供一种涂层机靶材装夹结构，该结构包括靶材，以及用于放置靶材的半圆形置放槽；通过设计用于放置靶材的半圆形的置放槽，并在置放槽的一侧设有板体；通过在置放槽内设有夹槽，使靶材上的凸条与夹槽配合形成固定，能够实现靶材的即插即用，实现靶材的快速便捷装夹与拆卸。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种涂层机的靶材装夹结构，包括靶材，以及用于放置靶材的半圆形置放槽；所述置放槽设有自槽底向置放槽上端面延伸的板体，所述置放槽顶部开口，置放槽与板体相对的另一侧设置为开口；

所述置放槽内壁面设有多个等间距分布且相对壁面向下凹陷的夹槽；所述靶材外周设有一圈相对周侧端面凸起，且与夹槽相配合的凸条，用于所述夹槽夹住靶材凸条。

优选的，所述置放槽为一体成型结构。

具体的，通过设计用于放置靶材的半圆形的置放槽，并在置放槽的一侧设有板体，置放槽与板体的相对侧设置为开口，提供靶材在使用时消耗侵蚀所需空间。置放槽顶部开口，用于使靶材可以从顶部向下运动插入所述置放槽内。再通过在置放槽内设有夹槽，使靶材上的凸条与夹槽配合形成固定，能够实现靶材的即插即用，相比现有技术而言，其装夹方式更加快速便捷。在置放槽内设有多个等间距分布的夹槽，随着靶材使用的消耗侵蚀，需要将靶材外移，设置多个夹槽可以供处于不同使用阶段的靶材装夹；随着靶材的使用消耗，逐步地将靶材外移，放置在不同的夹槽内以实现固定。该结构简单，且实用性强，能实现快速便捷的装夹及拆卸，相比现有技术的装夹结构能够减少结构配件以及更换靶材的时间，提高装夹效率。

具体的，在靶材外周侧壁上设有一圈凸条，当靶材在装夹时，可以以任意角度插入置放槽内进行装夹固定，使用便捷。

优选的，所述夹槽具有三个，由靠近板体的一侧朝另一侧依次设置，分别为第一夹槽，第二夹槽和第三夹槽。

以上的，所述第一夹槽连通至板体，所述板体下端部壁面为第一夹槽内壁面。

具体的，第一夹槽与板体连通的设计，能有效利用置放槽内的空间，同时利用板体的支撑力作为第一夹槽的内壁，实现对靶材的更为有效支撑。

优选的，所述置放槽前端面与第三夹槽的距离为置放槽宽度的1/2～1/3。

具体的，距离的限定，可以保证置放槽内有足够的宽度来放置被消耗侵蚀后的靶材，能够对靶材进行容纳。

优选的，所述置放槽的宽度大于或等于靶材的厚度。

优选的，所述置放槽的对称轴线处设置有连通至板体端面的通槽。

具体的，通槽的设计，可以辅助靶材的拆卸。通过通槽对靶材底部施力，可以辅助靶材快速拆卸。

以上的，所述通槽将所述夹槽分割为两部分，并与夹槽相连通。

优选的，所述夹槽的宽度自槽口向槽底逐渐变小。

具体的，夹槽宽度自槽口向槽底逐渐变小，可以容纳具有不同宽度的凸条的靶材，实现对不同靶材的固定。

优选的，所述凸条的宽度自靶材周侧端面朝外部方向逐渐变小。

优选的，所述靶材的形状为圆形。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供了一种涂层机的靶材装夹结构，该结构包括靶材，以及用于放置靶材的半圆形置放槽；通过设计用于放置靶材的半圆形的置放槽，并在置放槽的一侧设有板体；通过在置放槽内设有夹槽，使靶材上的凸条与夹槽配合形成固定，能够实现靶材的即插即用，相比现有技术而言，其装夹方式更加快速便捷。在置放槽内设有多个等间距分布的夹槽，随着靶材的使用侵蚀，需要将靶材外移，设置多个夹槽可以供处于不同使用阶段的靶材装夹；该结构简单，且实用性强，能实现快速便捷的装夹及拆卸，提高工作效率。该装夹结构与现有夹具结构相比较，优化了原有靶材装夹夹具结构的装配方式，实现了靶材更换的即插即用；大大提高了生产效率，缩短了靶材更换装夹的操作时间；也减少了多余零配件的使用和维护，从而降低了生产成本和维护成本。

附图说明

图1为本实用新型提供的靶材装夹结构的结构示意图；

图2为本实用新型提供的靶材装夹结构的装配示意图；

图3为本实用新型提供的靶材装夹结构的夹槽结构示意图；

图4为本实用新型提供的靶材装夹结构的置放槽结构示意图。

附图标记说明

1靶材，2半圆形置放槽；

11凸条，21板体，22夹槽，22a第一夹槽，22b第二夹槽，22c第三夹槽，23通槽。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。

如图1～4所示，本实施例提供了一种涂层机的靶材装夹结构，包括靶材1，以及用于放置靶材的半圆形置放槽2；所述置放槽2设有自槽底向置放槽2上端面延伸的板体21，所述置放槽2顶部开口，置放槽2与板体21相对的另一侧设置为开口；

所述置放槽2内壁面设有多个等间距分布且相对壁面向下凹陷的夹槽22；所述靶材1外周设有一圈相对周侧端面凸起，且与夹槽22相配合的凸条11，用于所述夹槽22夹住靶材凸条11。

具体的，通过设计用于放置靶材的半圆形的置放槽2，并在置放槽2的一侧设有板体21；置放槽2与板体21的相对侧设置为开口，用于实现对靶材1的使用消耗侵蚀。置放槽2顶部开口，用于使靶材1可以从顶部向下移动插入所述置放槽2内。再通过在置放槽2内设有夹槽22，使靶材上的凸条11与夹槽22配合形成固定，能够实现靶材1的即插即用，相比现有技术而言，其装夹方式更加快速便捷。在置放槽2内设有多个等间距分布的夹槽22，随着靶材的使用侵蚀，需要将靶材外移，设置多个夹槽22可以供处于不同使用阶段的靶材装夹；随着靶材的使用消耗，逐步地将靶材外移，放置在不同的夹槽内以实现固定。该结构简单，且实用性强，能实现快速便捷的装夹及拆卸，相比现有技术的装夹结构能够减少结构配件以及更换靶材1的时间，提高装夹效率。

具体的，在靶材外周侧壁上设有一圈凸条11，当靶材在装夹时，可以以任意角度插入置放槽2内进行装夹固定，使用便捷。

在本实施例中，所述夹槽具有三个，由靠近板体21的一侧朝另一侧依次设置，分别为第一夹槽22a，第二夹槽22b和第三夹槽22c。所述第一夹槽22a连通至板体21，所述板体21下端部壁面为第一夹槽22a内壁面。第一夹槽22a与板体21连通的设计，能有效利用置放槽2内的空间，同时利用板体21的支撑力作为第一夹槽22a的内壁，实现对靶材的更为有效支撑。所述置放槽2前端面与第三夹槽22c的距离为置放槽2宽度的1/2。距离的限定，可以保证置放槽2内有足够的宽度来放置被侵蚀后的靶材，能够对靶材进行容纳。

在本实施例中，所述置放槽2的宽度大于或等于靶材的厚度。所述置放槽2的对称轴线处设置有连通至板体21端面的通槽23。通槽23的设计，可以辅助靶材的拆卸。通过通槽23对靶材底部施力，可以辅助靶材快速拆卸。

在本实施例中，所述通槽23将所述夹槽分割为两部分，并与夹槽相连通。所述靶材的形状为圆形。

根据上述说明书的揭示和教导，本实用新型所属领域的技术人员还可以对上述实施方式进行变更和修改。因此，本实用新型并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式，对实用新型的一些修改和变更也应当落入本实用新型的权利要求的保护范围内。此外，尽管本说明书中使用了一些特定的术语，但这些术语只是为了方便说明，并不对本实用新型构成任何限制。

Claims (10)

1.一种涂层机靶材装夹结构，其特征在于，包括靶材，以及用于放置靶材的半圆形置放槽；所述置放槽设有自槽底向置放槽上端面延伸的板体，所述置放槽顶部开口，置放槽与板体相对的另一侧设置为开口；

所述置放槽内壁面设有多个等间距分布且相对壁面向下凹陷的夹槽；所述靶材外周设有一圈相对周侧端面凸起，且与夹槽相配合的凸条，用于所述夹槽夹住靶材凸条。

2.根据权利要求1所述的靶材装夹结构，其特征在于，所述夹槽具有三个，由靠近板体的一侧朝另一侧依次设置，分别为第一夹槽，第二夹槽和第三夹槽。

3.根据权利要求2所述的靶材装夹结构，其特征在于，所述第一夹槽连通至板体，所述板体下端部壁面为第一夹槽内壁面。

4.根据权利要求2所述的靶材装夹结构，其特征在于，所述置放槽前端面与第三夹槽的距离为置放槽宽度的1/2～1/3。

5.根据权利要求1所述的靶材装夹结构，其特征在于，所述置放槽的宽度大于或等于靶材的厚度。

6.根据权利要求1所述的靶材装夹结构，其特征在于，所述置放槽的对称轴线处设置有连通至板体端面的通槽。

7.根据权利要求6所述的靶材装夹结构，其特征在于，所述通槽将所述夹槽分割为两部分，并与夹槽相连通。

8.根据权利要求1所述的靶材装夹结构，其特征在于，所述夹槽的宽度自槽口向槽底逐渐变小。

9.根据权利要求8所述的靶材装夹结构，其特征在于，所述凸条的宽度自靶材周侧端面朝外部方向逐渐变小。

10.根据权利要求1所述的靶材装夹结构，其特征在于，所述靶材的形状为圆形。

Images