CN212776821U - 一种特殊气体全自动不间断供气设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种特殊气体全自动不间断供气设备，包括第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块；第一工艺气体供应模块和第二工艺气体供应模块用于供应特殊气体，并对工艺气体进行过滤、稳压处理；扫抽真空模块用于在更换钢瓶前将残留有害气体、颗粒物吹扫外置；高压测漏模块用于供气前对气路管道加压检测。本实用新型可实现左右钢瓶全自动无缝切换，根据系统的压力自动切换供气，保证气体供应不间断，还可实现远程控制紧急切断气体供应，以及管路吹扫抽真空和高压测漏的功能，本实用新型从安全第一的角度出发，在集中供应管理、方便操作、高纯度供应等方面都做到了兼顾。

Description

一种特殊气体全自动不间断供气设备

技术领域

本实用新型涉及特殊气体供气技术领域，特别涉及一种特殊气体全自动不间断供气设备。

背景技术

随着社会的需求与国家政策扶持，直接推动新能源、材料、微电子、光伏、生物医疗等相关热点行业的发展，各类科研院所及大学实验室均不同程度的使用到用气设备，如：ICP(Inductive Coupled Plasma Emission Spectrometer，电感耦合等离子光谱发生仪)、PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学的气相沉积)设备、镀膜机、燃烧炉、气象色谱仪等。这些设备除了用到氢气(H2)、乙炔(C2H2)、甲烷 (CH4)、乙烯(C2H4)、(SiH4)、磷烷(PH3)、氯气(Cl2)、三氯化硼(BCl3)、氯化氢(HCl)等易燃易爆或毒腐气体外，还会用到惰性气体，如氩气(Ar)、氮气(N2)、氦气(He)等。这类惰性气体本身是没有在的危险性的，但由于用气的设备比较特殊，所以对于所使用的气体要求也会相对特殊。

目前高校科研实验室、生产车间等在对非易燃易爆性且无毒性无腐蚀性气体的使用分配过程中，尚存在安全系数低、不方便扩展、管理操作危险的问题。

实用新型内容

为了解决现有高校科研实验室、生产车间等对特殊气体的供应和使用存在安全系数低、不方便扩展、管理操作危险的技术问题，本实用新型提出一种特殊气体全自动不间断供气设备，为科学实验保质保量的安全输送了各种特殊气体，操作简单、安全便捷，同时避免了非专业人员的误操作，还可以做到多点预留，方便日后的扩展。

具体地，本实用新型提出一种特殊气体全自动不间断供气设备，包括第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块；所述第一工艺气体供应模块包括连接第一进气管口并依次连接的第一过滤器、第一高压气动隔膜阀、调压阀、低压手动隔膜阀、限流开关、第二过滤器和阻火器，所述阻火器出口端连接第一出气管口；所述第二工艺气体供应模块包括连接第二进气管口并依次连接的第三过滤器和第二高压气动隔膜阀，所述第二高压气动隔膜阀出口端连接所述调压阀入口端；所述吹扫抽真空模块包括连接第三进气管口并依次连接的第一低压气动隔膜阀、第一单向阀和第三高压气动隔膜阀，连接所述第一低压气动隔膜阀出口端并依次连接的第二单向阀和第四高压气动隔膜阀，以及，连接所述调压阀出口端并依次连接的第二低压气动隔膜阀、第三单向阀和真空发生器，所述第三高压气动隔膜阀出口端连接所述第一进气管口，所述第四高压气动隔膜阀出口端连接所述第二进气管口，所述第三单向阀出口端连接所述真空发生器第一入口端，所述真空发生器出口端连接第二出气管口；所述高压测漏模块包括连接第四进气管口和所述第一单向阀入口端的第五高压气动隔膜阀，连接所述第一过滤器出口端和所述真空发生器第一入口端的第六高压气动隔膜阀，连接所述第三过滤器出口端和所述真空发生器第一入口端的第七高压气动隔膜阀，以及，连接所述第四进气管口和所述真空发生器第二入口端的第八高压气动隔膜阀。

进一步地，本实用新型提出的一种特殊气体全自动不间断供气设备还包括连接所述第一进气管口的第一压力传感器、连接所述调压阀出口端的第二压力传感器、连接所述第二进气管口的第三压力传感器和连接所述真空发生器第一入口端的第四压力传感器。

进一步地，所述第一过滤器和所述第三过滤器均为垫片式过滤器。

进一步地，所述第二过滤器为在线过滤器。

进一步地，所述第一进气管口通过第一供气弯管连接第一特殊气体钢瓶，所述第二进气管口通过第二供气弯管连接第二特殊气体钢瓶。

进一步地，所述第三进气管口连接高纯氮气气体钢瓶。

进一步地，所述第四进气管口连接高纯氮气气体钢瓶。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型集成了第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块，可实现左右钢瓶全自动无缝切换，根据系统的压力自动切换供气，保证气体供应不间断，还可实现远程控制紧急切断气体供应，以及管路吹扫抽真空和高压测漏的功能；本实用新型从安全第一的角度出发，在集中供应管理、方便操作、高纯度供应等方面都做到了兼顾，且功能强大，操作简单，可广泛引用于实验室、医疗、科研、半导体、光伏太阳能、新能源等产业，为生产科研带来极大便利。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，而描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。

图1是本实用新型实施例结构示意图。

下面结合实施例，并参照附图，对本实用新型目的的实现、功能特点及优点作进一步说明。

具体实施方式

为了使实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

参见图1，本实用新型提出一种特殊气体全自动不间断供气设备，包括第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块；第一工艺气体供应模块包括连接第一进气管口A并依次连接的第一过滤器1、第一高压气动隔膜阀2、调压阀3、低压手动隔膜阀4、限流开关5、第二过滤器6和阻火器7，阻火器7出口端连接第一出气管口B；第二工艺气体供应模块包括连接第二进气管口C并依次连接的第三过滤器8和第二高压气动隔膜阀9，第二高压气动隔膜阀9出口端连接调压阀3入口端；吹扫抽真空模块包括连接第三进气管口D并依次连接的第一低压气动隔膜阀10、第一单向阀11和第三高压气动隔膜阀12，连接第一低压气动隔膜阀10出口端并依次连接的第二单向阀13和第四高压气动隔膜阀14，以及，连接调压阀3出口端并依次连接的第二低压气动隔膜阀15、第三单向阀16和真空发生器17，第三高压气动隔膜阀12出口端连接第一进气管口A，第四高压气动隔膜阀14出口端连接第二进气管口C，第三单向阀16出口端连接真空发生器17第一入口端，真空发生器17出口端连接第二出气管口E；高压测漏模块包括连接第四进气管口F和第一单向阀11入口端的第五高压气动隔膜阀18，连接第一过滤器1出口端和真空发生器17第一入口端的第六高压气动隔膜阀19，连接第三过滤器8出口端和真空发生器17第一入口端的第七高压气动隔膜阀20，以及，连接第四进气管口F和真空发生器17第二入口端的第八高压气动隔膜阀21。

具体地，第一工艺气体供应模块和第二工艺气体供应模块可分别通过第一出气管口B供应特殊气体，通过模块内的过滤器及调压器可对工艺气体进行过滤、稳压处理，处理后的工艺气体进入管路进行下一步动作，如风险可远程通过紧急切断开关由气动阀切断气体供应而不需要人员现场操作。扫抽真空模块可在更换钢瓶前将残留有害气体、颗粒物吹扫外置，使盘面处于真空状态在工艺气体供应时候不会有第三方化学反应的风险。高压测漏模块用于供气前对气路管道加压检测，从而预防气体泄漏。本实用新型气路设置可实现左右钢瓶全自动无缝切换。

进一步地，本实用新型提出的一种特殊气体全自动不间断供气设备还包括连接第一进气管口A的第一压力传感器22、连接调压阀3出口端的第二压力传感器23、连接第二进气管口C的第三压力传感器24和连接真空发生器 17第一入口端的第四压力传感器25。

具体地，通过压力传感器对气路采集管道各处压力数据，输入中央处理集成仪表进行数据处理分析，达到设定值时即进行报警与切换供气，可实现根据系统的压力自动切换供气，保证气体供应不间断。

进一步地，第一过滤器1和第三过滤器8均为垫片式过滤器。

进一步地，第二过滤器6为在线过滤器。

进一步地，第一进气管口A通过第一供气弯管连接第一特殊气体钢瓶，第二进气管口C通过第二供气弯管连接第二特殊气体钢瓶。

进一步地，第三进气管口D连接高纯氮气气体钢瓶。可采用高纯氮气对管路进行吹扫。

进一步地，第四进气管口F连接高纯氮气气体钢瓶。可采用高纯氮气对管路进行高压测漏。

综上所述，本实用新型提供的一种特殊气体全自动不间断供气设备实施例，集成了第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块，可实现左右钢瓶全自动无缝切换，根据系统的压力自动切换供气，保证气体供应不间断，还可实现远程控制紧急切断气体供应，以及管路吹扫抽真空和高压测漏的功能。本实用新型从安全第一的角度出发，在集中供应管理、方便操作、高纯度供应等方面都做到了兼顾，且功能强大，操作简单，可广泛引用于实验室、医疗、科研、半导体、光伏太阳能、新能源等产业，为生产科研带来极大便利。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，包括第一工艺气体供应模块、第二工艺气体供应模块、吹扫抽真空模块和高压测漏模块；所述第一工艺气体供应模块包括连接第一进气管口(A)并依次连接的第一过滤器(1)、第一高压气动隔膜阀(2)、调压阀(3)、低压手动隔膜阀(4)、限流开关(5)、第二过滤器(6)和阻火器(7)，所述阻火器(7)出口端连接第一出气管口(B)；所述第二工艺气体供应模块包括连接第二进气管口(C)并依次连接的第三过滤器(8)和第二高压气动隔膜阀(9)，所述第二高压气动隔膜阀(9)出口端连接所述调压阀(3)入口端；所述吹扫抽真空模块包括连接第三进气管口(D)并依次连接的第一低压气动隔膜阀(10)、第一单向阀(11)和第三高压气动隔膜阀(12)，连接所述第一低压气动隔膜阀(10)出口端并依次连接的第二单向阀(13)和第四高压气动隔膜阀(14)，以及，连接所述调压阀(3)出口端并依次连接的第二低压气动隔膜阀(15)、第三单向阀(16)和真空发生器(17)，所述第三高压气动隔膜阀(12)出口端连接所述第一进气管口(A)，所述第四高压气动隔膜阀(14)出口端连接所述第二进气管口(C)，所述第三单向阀(16)出口端连接所述真空发生器(17)第一入口端，所述真空发生器(17)出口端连接第二出气管口(E)；所述高压测漏模块包括连接第四进气管口(F)和所述第一单向阀(11)入口端的第五高压气动隔膜阀(18)，连接所述第一过滤器(1)出口端和所述真空发生器(17)第一入口端的第六高压气动隔膜阀(19)，连接所述第三过滤器(8)出口端和所述真空发生器(17)第一入口端的第七高压气动隔膜阀(20)，以及，连接所述第四进气管口(F)和所述真空发生器(17)第二入口端的第八高压气动隔膜阀(21)。

2.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，还包括连接所述第一进气管口(A)的第一压力传感器(22)、连接所述调压阀(3)出口端的第二压力传感器(23)、连接所述第二进气管口(C)的第三压力传感器(24)和连接所述真空发生器(17)第一入口端的第四压力传感器(25)。

3.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第一过滤器(1)和所述第三过滤器(8)均为垫片式过滤器。

4.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第二过滤器(6)为在线过滤器。

5.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第一进气管口(A)通过第一供气弯管连接第一特殊气体钢瓶，所述第二进气管口(C)通过第二供气弯管连接第二特殊气体钢瓶。

6.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第三进气管口(D)连接高纯氮气气体钢瓶。

7.如权利要求1所述的一种特殊气体全自动不间断供气设备，其特征在于，所述第四进气管口(F)连接高纯氮气气体钢瓶。

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