CN212713841U - 一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，包括聚四氟乙烯材质的漏斗，以及石英材质的导流管；所述漏斗的底部设有内螺纹，所述导流管的顶部设有外螺纹，漏斗与导流管通过内外螺纹可拆卸的连接。导流管的底部设有石英材质下口加强环；导流管靠近漏斗的端部设有聚四氟乙烯材质的保护环，保护环下方还设有石英材质的支撑台。该掺杂工装采用分体式结构设计，其上部为聚四氟乙烯漏斗，下部为石英导流管，两者采用螺纹连接可有效降低采购成本，且易于拆卸、组装及清洗。石英管损坏后仅更换下部石英管降低了使用成本。该工装选用材料均为高纯度材料可有效避免该工装对于多晶硅原料的污染。

Description

一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装

技术领域

本实用新型属于单晶制备领域，具体涉及一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装。

背景技术

单晶硅棒电阻的控制主要是通过母合金为载体将掺杂元素加入到多晶原料内。而随着整个单晶行业的发展，掺杂元素的种类发生变更，目前主流是以纯元素进行掺杂。纯元素多为细小的颗粒状，在使用二次加料器时部分厂家采用石英漏斗将纯元素颗粒导入加料器内，该方案所采用的石英漏斗易磕碰损坏且采购成本较高。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构简单、使用寿命高、后期易维修保养且采购成本较低的加掺杂工装。

为了实现上述目的，本实用新型采取的技术方案如下：

一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，包括聚四氟乙烯材质的漏斗，以及石英材质的导流管；所述漏斗的底部设有内螺纹，所述导流管的顶部设有外螺纹，漏斗与导流管通过内外螺纹可拆卸的连接。

进一步地，所述导流管的底部设有下口加强环，其为石英材质；导流管的底部设有外螺纹，下口加强环内部设有内螺纹，下口加强环通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管的底部，其起到结构强化、防止石英管下口磕碰损坏。

进一步地，所述导流管靠近漏斗的端部设有保护环，其为聚四氟乙烯材质，通过套接的方式固定在导流管上，主要起保护石英管，防止其摇晃撞击在石英加料器上，同时起到固定作用，保持该工装处于加料器中心位置。

进一步地，所述导流管位于保护环的下方，还设有石英材质的支撑台，所述支撑台设有内螺纹，导流管位于保护环的下方设有外螺纹，支撑台通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管上，其作为支撑上方的聚四氟乙烯保护环。

优选地，所述漏斗包括上方的圆锥部和下方的管体部，圆锥部和管体部一体成型；所述圆锥部的上方开口半径为60～80mm；所述管体部的外径为40～50mm。

优选地，所述导流管的外径为25～35mm。

优选地，所述下口加强环的外径为40～45mm。

优选地，所述保护环的外径为185～195mm。

优选地，所述支撑台的外径为40～50mm。

有益效果：

本实用新型二次加料器加掺杂工装采用分体式结构设计，其上部为聚四氟乙烯漏斗，下部为石英导流管，两者采用螺纹连接可有效降低采购成本，且易于拆卸、组装及清洗。石英管损坏后仅更换下部石英管降低了使用成本。该工装选用材料均为高纯度材料可有效避免该工装对于多晶硅原料的污染。该掺杂剂工装创造性的将两种完全不同的材料结合到一起，各自发挥自己的特点，聚四氟乙烯漏斗材质自带柔性可避免与石英加料器的磕碰，石英管高纯且透明，当掺杂剂自漏斗处倒入后经石英管引流至加料器中部时可全程进行观察，跟踪掺杂剂加入的全过程，从而保证掺杂剂完全加入到多晶原料内，最终实现产品电阻的稳定可控。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做更进一步的具体说明，本实用新型的上述和/或其他方面的优点将会变得更加清楚。

图1为该用于单晶炉二次加料器加掺杂工装的结构示意图。

其中，各附图标记分别代表：1漏斗；11圆锥部；12管体部；2导流管；3下口加强环；4保护环；5支撑台；6石英加料器；7多晶原料；8掺杂剂。

具体实施方式

根据下述实施例，可以更好地理解本实用新型。

说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新型所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“前”、“后”、“中间”等用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的范畴。

如图1所示，该用于单晶炉二次加料器加掺杂工装包括漏斗1、导流管2、下口加强环3、保护环4以及支撑台5；漏斗1、保护环4均为聚四氟乙烯材质，导流管2、下口加强环3、支撑台5均为石英材质。

漏斗1的底部设有内螺纹，导流管2的顶部设有外螺纹，漏斗1与导流管2通过内外螺纹可拆卸的连接。

导流管2的底部设有外螺纹，下口加强环3内部设有内螺纹，下口加强环3通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管2的底部，其起到结构强化、防止石英管下口磕碰损坏。

保护环4设置于导流管2靠近漏斗1的端部，通过套接的方式固定在导流管2上，主要起保护石英管，防止其摇晃撞击在石英加料器上，同时起到固定作用，保持该工装处于加料器中心位置。

支撑台5位于导流管2位于保护环4的下方，通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管2上，其作为支撑上方的聚四氟乙烯保护环。

漏斗1包括上方的圆锥部11和下方的管体部12，圆锥部11和管体部12一体成型；所述圆锥部11的上方开口半径为70mm；所述管体部12的外径为46mm。导流管2的外径为30mm。所述下口加强环3的外径为40mm。保护环4的外径为190mm。所述支撑台5的外径为40mm。

使用时，先将下口加强环3和支撑台5安装在导流管2上，然后再依次安装聚四氟乙烯保护环4和聚四氟乙烯漏斗1，即完成该工装的安装。随后将该工装垂直放入下方装有多晶原料7的石英加料器6内，向聚四氟乙烯漏斗1中缓慢加入掺杂剂8即可。

本实用新型提供了一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装的思路及方法，具体实现该技术方案的方法和途径很多，以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。

Claims (9)

1.一种用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，包括聚四氟乙烯材质的漏斗(1)，以及石英材质的导流管(2)；所述漏斗(1)的底部设有内螺纹，所述导流管(2)的顶部设有外螺纹，漏斗(1)与导流管(2)通过内外螺纹可拆卸的连接。

2.根据权利要求1所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述导流管(2)的底部设有下口加强环(3)，其为石英材质；导流管(2)的底部设有外螺纹，下口加强环(3)内部设有内螺纹，下口加强环(3)通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管(2)的底部。

3.根据权利要求2所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述导流管(2)靠近漏斗(1)的端部设有保护环(4)，其为聚四氟乙烯材质，通过套接的方式固定在导流管(2)上。

4.根据权利要求3所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述导流管(2)位于保护环(4)的下方，还设有石英材质的支撑台(5)，所述支撑台(5)设有内螺纹，导流管(2)位于保护环(4)的下方设有外螺纹，支撑台(5)通过内外螺纹可拆卸的套接在导流管(2)上。

5.根据权利要求4所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述漏斗(1)包括上方的圆锥部(11)和下方的管体部(12)，圆锥部(11)和管体部(12)一体成型；所述圆锥部(11)的上方开口半径为60～80mm；所述管体部(12)的外径为40～50mm。

6.根据权利要求5所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述导流管(2)的外径为25～35mm。

7.根据权利要求6所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述下口加强环(3)的外径为40～45mm。

8.根据权利要求6所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述保护环(4)的外径为185～195mm。

9.根据权利要求6所述的用于单晶炉二次加料器加掺杂工装，其特征在于，所述支撑台(5)的外径为40～50mm。

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