CN212581999U - 一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，尤其为一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，包括壳体、靶材结构和基板，所述壳体的右端内侧固定连接有双出轴电机，所述双出轴电机的一端主轴末端固定连接有第一螺杆，所述双出轴电机的一端主轴末端固定连接有第二螺杆，所述第一螺杆的外侧螺旋连接有连接杆，本实用新型中，通过设置的双出轴电机、第一螺杆、第二螺杆和限位杆等构件，通过双出轴电机带动第一螺杆与第二螺杆转动，第一螺杆与第二螺杆的螺纹方向相反，因此固定杆与连接杆的移动方向相反，即可控制基板与靶材结构移动，即可便于控制基板与靶材结构之间的距离，使得基板与靶材结构之间的距离通过控制双出轴电机得到控制，提高了灵活性。

Description

一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机

技术领域

本实用新型涉及溅射镀膜技术领域，具体为一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机。

背景技术

磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极，利用氩离子轰击靶材结构，产生阴极溅射，把靶材结构原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术，随着我国国民经济的发展，磁控溅射镀膜机在工业中的应用越来越广，各领域对磁控溅射镀膜机的设计提出更严格的要求。

目前我国生产的设备大多对基板与靶材结构的位置进行固定，可调节的灵活程度不高，使得镀膜效果差强人意，并且对于基板与靶材结构之间的距离不便于精准控制，同时对于基板与靶材结构单独的固定结构不便于调整，导致只能对单一基板或是靶材结构使用，实用性大大降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，包括壳体、靶材结构和基板，所述壳体的右端内侧固定连接有双出轴电机，所述双出轴电机的一端主轴末端固定连接有第一螺杆，所述双出轴电机的一端主轴末端固定连接有第二螺杆，所述第一螺杆的外侧螺旋连接有连接杆，所述连接杆的左端固定连接有支撑板，所述支撑板的顶端内侧开有螺纹孔，所述支撑板的顶端滑动连接有滑板，所述滑板的内侧螺旋连接有螺丝，且螺丝与螺纹孔为螺旋连接，所述第二螺杆的外侧螺旋连接有固定杆，所述固定杆的左端固定连接有驱动电机，所述驱动电机的主轴末端固定连接有固定板，所述固定板的一端内侧固定连接有弹簧，所述弹簧的一端固定连接有滑块。

优选的，所述螺丝的个数共2个，且对称分布在支撑板的竖直中心线的左右两侧，且滑板通过螺丝与支撑板可拆卸连接。

优选的，所述第一螺杆的底端与所述壳体的底端内侧为转动连接，所述壳体的底端内侧固定连接有限位杆，所述限位杆的外侧与所述连接杆和所述固定杆均为滑动连接，且固定杆位于连接杆的上方。

优选的，所述支撑板的顶端与所述靶材结构相贴合，所述壳体的左端固定连接有控制模块。

优选的，所述弹簧的个数共2个，且对称分布在固定板的竖直中心线的左右两侧，且弹簧的两端分别与固定板和滑块固定连接，所述滑块通过所述弹簧与所述固定板弹性连接。

优选的，所述基板与所述滑块和所述固定板相贴合，所述第一螺杆与所述第二螺杆的长度相同，且第一螺杆与第二螺杆的螺纹方向相反。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过设置的螺丝、螺纹孔、滑板和支撑板等构件，通过拧动螺丝在螺纹孔内将其固定，即可将滑板固定，使得两侧的滑板将不同形状大小的靶材结构进行固定，对于不同形状与大小的板材结构均适用，相比于现有的多数的单一固定结构，提高了灵活性与实用性，同时通过螺丝即可控制，操作简单并且便于安装与拆卸便于对零部件进行更换。

2、本实用新型中，通过设置的双出轴电机、第一螺杆、第二螺杆和限位杆等构件，通过双出轴电机带动第一螺杆与第二螺杆转动，第一螺杆与第二螺杆的螺纹方向相反，因此固定杆与连接杆的移动方向相反，即可控制基板与靶材结构移动，即可便于控制基板与靶材结构之间的距离，使得基板与靶材结构之间的距离通过控制双出轴电机得到控制，提高了灵活性。

3、本实用新型中，通过设置的弹簧、滑块和固定板，通过弹簧的弹性作用，当基板被放入两端滑块之间时，滑块挤压弹簧，弹簧受到挤压受力作用增加，弹性作用也同时增加，即可推动滑块对基板起到挤压卡住将其固定的作用，对基板简易安装，同时通过驱动电机带动固定板内的基板转动，相对于现有的固定结构，旋转使得基板镀膜的更加均匀，并且安装方便，实用性提高，且投入资金较低。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型图1的A处结构示意图；

图3为本实用新型支撑板的俯视结构示意图。

图中：1-壳体、2-支撑板、3-螺纹孔、4-螺丝、5-滑板、6-靶材结构、7-控制模块、8-限位杆、9-第一螺杆、10-连接杆、11-双出轴电机、12-第二螺杆、13-固定杆、14-固定板、15-弹簧、16-滑块、17-基板、18-驱动电机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，包括壳体1、靶材结构6和基板17，壳体1的右端内侧固定连接有双出轴电机11，双出轴电机11的一端主轴末端固定连接有第一螺杆9，双出轴电机11的一端主轴末端固定连接有第二螺杆12，第一螺杆9的外侧螺旋连接有连接杆10，连接杆10的左端固定连接有支撑板2，支撑板2的顶端内侧开有螺纹孔3，支撑板2的顶端滑动连接有滑板5，滑板5的内侧螺旋连接有螺丝4，且螺丝4与螺纹孔3为螺旋连接，第二螺杆12的外侧螺旋连接有固定杆13，固定杆13的左端固定连接有驱动电机18，驱动电机18的主轴末端固定连接有固定板14，固定板14的一端内侧固定连接有弹簧15，弹簧15的一端固定连接有滑块16。

螺丝4的个数共2个，且对称分布在支撑板2的竖直中心线的左右两侧，且滑板5通过螺丝4与支撑板2可拆卸连接，便于拆卸更换；第一螺杆9的底端与壳体1的底端内侧为转动连接，壳体1的底端内侧固定连接有限位杆8，限位杆8的外侧与连接杆10和固定杆13均为滑动连接，且固定杆13位于连接杆10的上方，便于移动；支撑板2的顶端与靶材结构6相贴合，壳体1的左端固定连接有控制模块7，便于控制；弹簧15的个数共2个，且对称分布在固定板14的竖直中心线的左右两侧，且弹簧15的两端分别与固定板14和滑块16固定连接，滑块16通过弹簧15与固定板14弹性连接，弹力好便于将基板17卡住；基板17与滑块16和固定板14相贴合，第一螺杆9与第二螺杆12的长度相同，且第一螺杆9与第二螺杆12的螺纹方向相反，便于控制距离。

工作流程：本实用新型中在使用之前先通过外接电源进行供电，首先启动双出轴电机11，使得双出轴电机11使得两端的第一螺杆9和第二螺杆12转动，由于第一螺杆9和第二螺杆12的螺纹方向相反因此在转动时，与第一螺杆9螺旋连接的连接杆10以及与第二螺杆12螺旋连接的固定杆13会向反方向移动，其中由于连接杆10的左端与支撑板2固定连接，并且支撑板2的顶端贴合有靶材结构6，并且固定杆13的左端与驱动电机18固定连接，并且驱动电机18的主轴末端与固定板14固定连接，同时固定板14的内侧卡合有基板17，即可以通过连接杆10和固定杆13向反方向移动来调整基板17与靶材结构6之间的间距，便于对基板17的高度以及靶材结构6的高度进行调节，即便于对二者之间的距离进行调整，省时省力，之后由于现有多数靶材结构6的固定结构较为死板，无法对多种形状的靶材结构6进行使用，以及基板17一般处于固定状态，镀膜的效果差强人意，因此首先拧松螺丝4，滑动滑板5，调整两侧滑板5之间的位置，将靶材结构6放入滑板5之间，滑动滑板5使得滑板5将靶材结构6卡死固定，对于不同形状大小的靶材结构6均适用，提高了实用性，之后将基板17由侧端放入固定块14内，由于固定块14两端均固定连接有弹簧15，同时滑块16通过弹簧15与固定板14弹性连接，因此可以将基板17在弹簧15受挤压的弹性作用力下将基板17进行卡住固定，之后同时启动驱动电机18，使得驱动电机18带动固定板14转动，从而带动基板17进行转动，便于更加均匀地进行镀膜，相比于传统的固定结构效率更高并且安装简便，占地面积小，投入成本低，实用性更高。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，包括壳体(1)、靶材结构(6)和基板(17)，其特征在于：所述壳体(1)的右端内侧固定连接有双出轴电机(11)，所述双出轴电机(11)的一端主轴末端固定连接有第一螺杆(9)，所述双出轴电机(11)的一端主轴末端固定连接有第二螺杆(12)，所述第一螺杆(9)的外侧螺旋连接有连接杆(10)，所述连接杆(10)的左端固定连接有支撑板(2)，所述支撑板(2)的顶端内侧开有螺纹孔(3)，所述支撑板(2)的顶端滑动连接有滑板(5)，所述滑板(5)的内侧螺旋连接有螺丝(4)，且螺丝(4)与螺纹孔(3)为螺旋连接，所述第二螺杆(12)的外侧螺旋连接有固定杆(13)，所述固定杆(13)的左端固定连接有驱动电机(18)，所述驱动电机(18)的主轴末端固定连接有固定板(14)，所述固定板(14)的一端内侧固定连接有弹簧(15)，所述弹簧(15)的一端固定连接有滑块(16)。

2.根据权利要求1所述的一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述螺丝(4)的个数共2个，且对称分布在支撑板(2)的竖直中心线的左右两侧，且滑板(5)通过螺丝(4)与支撑板(2)可拆卸连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述第一螺杆(9)的底端与所述壳体(1)的底端内侧为转动连接，所述壳体(1)的底端内侧固定连接有限位杆(8)，所述限位杆(8)的外侧与所述连接杆(10)和所述固定杆(13)均为滑动连接，且固定杆(13)位于连接杆(10)的上方。

4.根据权利要求1所述的一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述支撑板(2)的顶端与所述靶材结构(6)相贴合，所述壳体(1)的左端固定连接有控制模块(7)。

5.根据权利要求1所述的一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述弹簧(15)的个数共2个，且对称分布在固定板(14)的竖直中心线的左右两侧，且弹簧(15)的两端分别与固定板(14)和滑块(16)固定连接，所述滑块(16)通过所述弹簧(15)与所述固定板(14)弹性连接。

6.根据权利要求1所述的一种具有调节功能的小型磁控溅射镀膜机，其特征在于：所述基板(17)与所述滑块(16)和所述固定板(14)相贴合，所述第一螺杆(9)与所述第二螺杆(12)的长度相同，且第一螺杆(9)与第二螺杆(12)的螺纹方向相反。

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