CN212577058U - 一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机，包括气动防爆软轴驱动主机，它由气动马达驱动系统和气动真空吸附系统构成一个气路组合体，所述主机与柔性清洗软轴、负压回收干拾器相连，柔性清洗软轴深入负压回收干拾器中间，所述柔性清洗软轴末端设有专用清洗头，所述主机与负压回收干拾器稳定吸盘间有气管相连，所述主机外接有脚踏阀，所述负压回收干拾器与厂区集中除尘系统连接。本实用新型采用全气动防爆器件，将干式软轴应用于多晶硅还原炉尾气管清洗，它安全高效、干净快捷，全程封闭工作，不会产生二次污染。将驱动系统、吸附系统、干拾系统进一步整合成组合体，使用方便灵活。

Description

一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机

技术领域

本实用新型涉及一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机，用于对多晶硅还原炉尾气管的清理。属于机械设备领域。

背景技术

多晶硅还原炉在生成多晶硅棒的过程中，会在尾气管上逐渐形成坚硬的垢层。它们的存在会导致导热性能降低甚至破坏等问题，必须及时清理。目前主要靠人工手动清理，由于尾气管度较长，且为蛇形管道，作业时尾气管会有各种有毒有害气体溢出，给清理人员带来无法清洗以及健康和安全风险，同时由于生产车间防爆等级很高，为消除隐患，一般电动工具很难排上用场，因此坚硬的垢层很难找到快速、有效的方法清理，清理时间至少都在24小时以上，而且清理并不彻底，时间长了甚至会导致炉盘上的管路堵死；清理后的粉尘又会污染十万级净化车间。因此研究一种行之有效的手段来改变现状是很有必要的。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，它安全高效、干净快捷，且不会产生二次污染。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是，一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，包括气动防爆软轴驱动主机，它由气动马达驱动系统和气动真空吸附系统构成一个气路组合体，所述主机与柔性清洗软轴、负压回收干拾器相连，柔性清洗软轴深入负压回收干拾器中间，所述柔性清洗软轴末端设有专用清洗头，所述主机与负压回收干拾器稳定吸盘间有气管相连，所述主机外接有脚踏阀，所述负压回收干拾器与厂区集中除尘系统连接。

所述气动防爆软轴驱动主机采用全气动防爆器件。

所述的柔性清洗软轴外层是橡塑材料，内层是钢丝弹簧。

所述的负压回收干拾器它有一个中空的圆柱体，圆柱体下设有至少三个固定脚，固定脚下设有负压稳定吸盘，圆柱体一侧设有除尘接口法兰。

所述柔性清洗软轴末端的专用清洗头是可以张开的爪。

所述防爆柔性清洗软轴可以深入尾气管中，且可以随着管道进行弯曲，适用直管，弯管等各种场合。

所述防爆柔性清洗软轴可穿过负压回收干拾器，负压回收干拾器底面与尾气管盘面相接触，负压回收干拾器吸风口与室内除尘系统连接。

所述防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机利用稳定压缩空气进行驱动。

所述防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机可依靠本机进行空气干燥，过滤。

所述防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机可通过调节转速调节软轴所连清洗头清洗速度和效果。

所述防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机可调节负压干拾器吸力。

所述专用清洗工具在离心力的作用下清洗爪可以张开，在高速转动下可以实现较大的剥离力，可适用于不同直径的管道。

本实用新型采用全气动防爆器件，将干式软轴应用于多晶硅还原炉尾气管清洗，它安全高效、干净快捷，全程封闭工作，不会产生二次污染。将驱动系统、吸附系统、干拾系统进一步整合成组合体，使用方便灵活。

附图说明

图1是本实用新型立体示意图。

图2是本实用新型主视示意图。

图3是本实用新型主机主视图。

图4是本实用新型主机俯视图

图5是本实用新型负压回收干拾器示意图

图6为本实用新型气动原理示意图。

图中：

1主机

11气动真空吸附系统；

12角阀；

13三联件；

14气动马达驱动系统；

15进气球阀；

16压力表；

17调压阀；

2柔性清洗软轴

21专用清洗头；

3负压回收干拾器

31圆柱体；

32固定脚；

33负压稳定吸盘；

34除尘接口法兰；

4气管

5脚踏阀

6炉面

7地面

8尾气管

具体实施方式

以下结合附图和实施例，对本实用新型进一步说明。

如图1至图6所示，本实用新型公开了一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，包括气动防爆软轴驱动主机1，它由气动马达驱动系统14和气动真空吸附系统11构成一个气路组合体，所述主机与柔性清洗软轴2、负压回收干拾器3相连，柔性清洗软轴深入负压回收干拾器中间，所述柔性清洗软轴末端设有专用清洗头21，所述主机与负压回收干拾器稳定吸盘间有气管4相连，所述主机外接有脚踏阀5，所述负压回收干拾器与厂区集中除尘系统连接。

所述微型集成式气动防爆软轴驱动主机采用全气动防爆器件，不会产生高温及火花，适用于防爆场合。

所述的柔性清洗软轴外层是橡塑材料，内层是钢丝弹簧。

所述的负压回收干拾器它有一个中空的圆柱体31，圆柱体下设有至少三个固定脚32，固定脚下设有负压稳定吸盘33，圆柱体一侧设有除尘接口法兰34。

所述柔性清洗软轴末端的专用清洗头是可以张开的爪。

一种防爆式多晶硅还原炉尾气管清洗机，与厂区压缩空气相连接、超长高扭矩软轴与尾气管清洗主机相连，负压回收干拾器与厂区集中除尘系统相连，负压稳定系统由组真空吸盘及真空系统构成，负压稳定系统工作时将产生极强的负压，将负压回收干拾器固定在多晶硅还原炉炉面。

主机中11为负压干拾器稳定系统提供真空源，12为控制马达停/转，13过滤进机的压缩空气、干燥湿气、润滑零件，14为软轴提供旋转动力，15为主机气源通断阀，16显示压力，17调节气动马达处气源，从而控制马达转速。

在清洗开始前需先将干净的压缩空气源通入防爆尾气管清洗主机，将软轴与防爆尾气管清洗主机相连，专用清洗头装在软轴末端，将负压干拾器固定在待清洗的尾气管上方，利用负压稳定系统将负压干拾器牢牢地吸在尾气管上方，随后将软轴穿过负压干拾器，放入待清洗的尾气管内，利用除尘接口法兰将负压干拾器除尘接口与室内中央除尘相连。随后打开防爆尾气管清洗主机进气球阀，利用调压阀将压力调至合适位置后，踏下脚踏阀，此时，由压缩空气驱动得气动马达带动软轴开始旋转，装在软轴前端的清洗头开始随着旋转，清洗头在离心力的作用下清洗爪张开，敲击尾气管，实现尾气管上附着物的剥离，通过负压回收干拾器进入厂区集中除尘系统。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机，其特征是：包括气动防爆软轴驱动主机，它由气动马达驱动系统和气动真空吸附系统构成一个气路组合体，所述主机与柔性清洗软轴、负压回收干拾器相连，柔性清洗软轴深入负压回收干拾器中间，所述柔性清洗软轴末端设有专用清洗头，所述主机与负压回收干拾器稳定吸盘间有气管相连，所述主机外接有脚踏阀，所述负压回收干拾器与厂区集中除尘系统连接。

2.如权利要求1所述的一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机，其特征是：所述气动防爆软轴驱动主机采用全气动防爆器件。

3.如权利要求1所述的一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机，其特征是：所述的柔性清洗软轴外层是橡塑材料，内层是钢丝弹簧。

4.如权利要求1所述的一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机，其特征是：所述的负压回收干拾器它有一个中空的圆柱体，圆柱体下设有至少三个固定脚，固定脚下设有负压稳定吸盘，圆柱体一侧设有除尘接口法兰。

5.如权利要求1所述的一种防爆式多晶硅炉尾气管清洗机，其特征是：所述柔性清洗软轴末端的专用清洗头是可以张开的爪。

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