CN212559317U - 一种磁控溅射膜上/下膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种磁控溅射膜上/下膜装置，包括轨道、划设于轨道上的滑动座、固定在滑动座上的立架、用于固定磁控溅射膜的磁控溅射膜支撑架及连接驱动磁控溅射膜上下活动的升降驱动机构；所述升降驱动机构为固定在所述滑动座上的顶部与所述磁控溅射膜支撑架相抵的千斤顶，并且所述立架与磁控溅射膜支撑架之间设有导向限位机构。所述千斤顶通过千斤顶底座固定在滑动座上，通过远程遥控电动液压千斤顶，以驱动磁控溅射支撑架通过导向限位机构带动膜材料升/降来完成上/下膜。千斤顶升/降速度相比卷扬机要快，可以提高效率；加装扶手，提高操作人员的自身安全；降低在产品在搬运过程中由于支撑架的滑落，造成产品直接落地砸坏的风险。

Description

一种磁控溅射膜上/下膜装置

技术领域

本实用新型涉及一种磁控溅射产品上/下膜装置。

背景技术

由于磁控溅射膜材质特殊及运输要求苛刻，因此现有技术中都是采用专门的上/下膜装置来对其进行上/下搬运操作。以防止在上膜和下膜时可能造成的产品损坏，并提高上膜/下膜时的操作工人的人身安全，达到对溅射膜上/下搬运时更高效、安全、快捷的运输。

目前已有的上/下膜装置主要包含轨道、滑设于轨道上的滑动座、固定在滑动座上的立架以及设置在立架上的，其拉绳经由定滑轮与磁控溅射支撑架相连的卷扬机。具体使用时，以上膜为例，待溅射的膜材料固定至磁控溅射支撑架上，然后通过轨道将滑动座推至磁控溅射设备的指定位置。随后工人摇动卷扬机摇臂，以驱动磁控溅射支撑架带动膜材料上升至指定高度后，再推送入磁控溅射设备的收卷或放卷腔室内部。磁控溅射完毕后，再通过操作卷扬机和滑动座将磁控溅射膜移出，完成下膜。

然而目前这种上/下膜装置在实际操作时，暴露出如下问题：

1、手动转动卷扬机的效率低，工人操作费力，且卷扬机本身的成本投入较高；

2、卷扬机的拉绳与设置在磁控溅射支撑架上的一个挂钩连接，在摇动卷扬机时，磁控溅射膜支撑架本身稳定性差，容易晃动，严重时更会导致脱落，存在很大的安全隐患；

3、磁控溅射膜支撑架一旦脱落，极易砸伤操作人员，而且膜直接落地砸坏，损失更大。

因此，总结来说已有的上/下膜装置的成本高、效率低、易损伤产品品质，及存在极易砸伤操作人员的安全隐患。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种安全性更高，工作稳定性更好的磁控溅射膜上/下膜装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案是：一种磁控溅射膜上/下膜装置，包括轨道、滑设于轨道上的滑动座、固定在滑动座上的立架、用于固定磁控溅射膜的磁控溅射膜支撑架及连接驱动磁控溅射膜上下活动的升降驱动机构；所述升降驱动机构为固定在所述滑动座上的顶部与所述磁控溅射膜支撑架相抵的千斤顶，并且所述立架与磁控溅射膜支撑架之间设有导向限位机构。

在某些实施方式中，所述导向限位机构为T形导轨和T形槽滑块的组合，包括固定在所述立架上的至少两根纵向设置且相互平行的所述T形导轨，及固定在所述磁控溅射膜支撑架上且与所述T形导轨一一对应配合的所述T形槽滑块。

在某些实施方式中，所述导向限位机构为导杆和导套的组合，包括固定在所述立架上的至少两根纵向设置且相互平行的所述导杆，及固定在所述磁控溅射膜支撑架上且一一对应套设于所述导杆上的所述导套，各所述导套内侧设有滑动轴承与相应的所述导杆接触。

在某些实施方式中，所述千斤顶通过千斤顶底座固定在滑动座上，所述千斤顶底座由上部不锈钢钢板、下部不锈钢钢板与中间的工字型支撑三部分构成，上部不锈钢钢板尺寸小于下部不锈钢钢板，三部分采用焊接连接，焊接处采用满焊。

在某些实施方式中，所述上部不锈钢钢板的尺寸为150mm*150mm*20mm。

在某些实施方式中，所述千斤顶为电动液压千斤顶。

在某些实施方式中，所述千斤顶的顶部固定有顶撑架，所述顶撑架顶部设有软垫与所述磁控溅射膜支撑架接触。

在某些实施方式中，所述立架上固定有扶手。

本实用新型的范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的（但不限于）具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案等。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

（1）本实用新型提供的一种磁控溅射膜上/下膜装置通过远程遥控电动液压千斤顶来驱动磁控溅射支撑架升/降，相比卷扬机的工作稳定性更高，且借助导向限位机构来进一步提升支撑架的运动平稳性，能够有效避免支撑架及其上产品的掉落情况，防止产品直接落地砸坏的风险以及造成人员伤亡；

（2）工人操作千斤顶相比卷扬机更加省力，执行效率更高，且由于无需进行定滑轮及绳索的悬挂加载安装，故节约成本；

（3）立架上取消了卷扬机，在原部位加装扶手，进一步提高了操作人员对于滑动座的操作便利性和安全性；

（4）设计的千斤顶底座给予千斤顶稳固的支撑，提升磁控溅射膜支撑架的升降稳定性；

（5）千斤顶的顶部设计顶撑架，并设置软垫与磁控溅射膜支撑架接触，以避免对于磁控溅射膜支撑架的撞击损伤。

附图说明

附图1为实施例一构造示意图；

附图2为实施例一俯视向示意图；

附图3为实施例二构造示意图；

附图4为千斤顶底座的透视图；

其中: 1、立架；2、磁控溅射膜支撑架；3、千斤顶；4、T形导轨；5、滑块；6、轨道；7、滑动座；8、千斤顶底座、81、上部不锈钢钢板；82、下部不锈钢钢板；83、工字型支撑；9、扶手；10、顶撑架；11、软垫；12、滑动轴承；13、导套；14、导杆。

具体实施方式

实施例一：

如附图1、2所示，一种磁控溅射膜上/下膜装置，包括轨道6、划设于轨道上的滑动座7、固定在滑动座上的立架1、用于固定磁控溅射膜的磁控溅射膜支撑架2及连接驱动磁控溅射膜上下活动的升降驱动机构；所述升降驱动机构为固定在所述滑动座7上的顶部与所述磁控溅射膜支撑架2相抵的千斤顶3，并且所述立架1与磁控溅射膜支撑架2之间设有导向限位机构。

所述导向限位机构为T形导轨4和T形槽滑块5的组合，包括固定在所述立架1上的两根纵向设置且相互平行的所述T形导轨4，及固定在所述磁控溅射膜支撑架上且与所述T形导轨4一一对应配合的所述T形槽滑块5。

所述千斤顶3通过千斤顶底座8固定在滑动座上，所述千斤顶底座8由上部不锈钢钢板81、下部不锈钢钢板82与中间的工字型支撑83三部分构成，上部不锈钢钢板81尺寸小于下部不锈钢钢板82，三部分采用焊接连接，焊接处采用满焊，提高了安全性能。所述上部不锈钢钢板81的尺寸为150mm*150mm*20mm。

所述千斤顶3为可远程操控的10T电动液压千斤顶。所述千斤顶3的顶部固定有顶撑架10，所述顶撑架10顶部设有软垫11与所述磁控溅射膜支撑架2接触，保护膜层表面不被划伤。所述立架固定有扶手9，提高操作人员的自身安全。

以上膜为例，待溅射的膜材料固定至磁控溅射支撑架2上，然后通过轨道6将滑动座7推至磁控溅射设备的指定位置。随后操作人员远程遥控电动液压千斤顶3，以驱动磁控溅射支撑架2通过T形槽滑块5沿T形导轨4带动膜材料上升至指定高度后，再推送入磁控溅射设备的收卷或放卷腔室内部。磁控溅射完毕后，再通过操作人员依次操作电动液压千斤顶3和滑动座7将磁控溅射膜移出，完成下膜。千斤顶的升/降速度快，提高了工作效率。

实施例二：

如附图3所示，一种磁控溅射膜上/下膜装置，包括轨道6、划设于轨道上的滑动座7、固定在滑动座上的立架1、用于固定磁控溅射膜的磁控溅射膜支撑架2及连接驱动磁控溅射膜上下活动的升降驱动机构；所述升降驱动机构为固定在所述滑动座7上的顶部与所述磁控溅射膜支撑架2相抵的千斤顶3，并且所述立架1与磁控溅射膜支撑架2之间设有导向限位机构。

所述导向限位机构为导杆14和导套13的组合，包括固定在所述立架1上的两根纵向设置且相互平行的所述导杆14，及固定在所述磁控溅射膜支撑架(2)上且一一对应套设于所述导杆14上的所述导套13，各所述导套13内侧设有滑动轴承12与相应的所述导杆14接触。

所述千斤顶3通过千斤顶底座8固定在滑动座上，所述千斤顶底座8由上部不锈钢钢板81、下部不锈钢钢板82与中间的工字型支撑83三部分构成，上部不锈钢钢板81尺寸小于下部不锈钢钢板82，三部分采用焊接连接，焊接处采用满焊，提高了安全性能。所述上部不锈钢钢板81的尺寸为150mm*150mm*20mm。

所述千斤顶3为可远程操控的10T电动液压千斤顶。所述千斤顶3的顶部固定有顶撑架10，所述顶撑架10顶部设有软垫11与所述磁控溅射膜支撑架2接触，保护膜层表面不被划伤。所述立架固定有扶手9，提高操作人员的自身安全。

以上膜为例，待溅射的膜材料固定至磁控溅射支撑架2上，然后通过轨道6将滑动座7推至磁控溅射设备的指定位置。随后操作人员远程遥控电动液压千斤顶3，以驱动磁控溅射支撑架2通过导套13沿导杆14带动膜材料上升至指定高度后，再推送入磁控溅射设备的收卷或放卷腔室内部。磁控溅射完毕后，再通过操作人员依次操作电动液压千斤顶3和滑动座7将磁控溅射膜移出，完成下膜。千斤顶的升/降速度快，提高了工作效率。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种磁控溅射膜上/下膜装置，包括轨道(6)、滑设于轨道上的滑动座(7)、固定在滑动座上的立架(1)、用于固定磁控溅射膜的磁控溅射膜支撑架(2)及连接驱动磁控溅射膜上下活动的升降驱动机构；其特征在于，所述升降驱动机构为固定在所述滑动座(7)上的顶部与所述磁控溅射膜支撑架(2)相抵的千斤顶(3)，并且所述立架(1)与磁控溅射膜支撑架(2)之间设有导向限位机构。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射膜上/下膜装置，其特征在于，所述导向限位机构为T形导轨(4)和T形槽滑块(5)的组合，包括固定在所述立架（1）上的至少两根纵向设置且相互平行的所述T形导轨（4），及固定在所述磁控溅射膜支撑架(2)上且与所述T形导轨（4）一一对应配合的所述T形槽滑块(5)。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射膜上/下膜装置，其特征在于，所述导向限位机构为导杆（14）和导套（13）的组合，包括固定在所述立架（1）上的至少两根纵向设置且相互平行的所述导杆（14），及固定在所述磁控溅射膜支撑架(2)上且一一对应套设于所述导杆（14）上的所述导套（13），各所述导套（13）内侧设有滑动轴承（12）与相应的导杆（14）接触。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射膜上/下膜装置，其特征在于，所述千斤顶(3)通过千斤顶底座（8）固定在滑动座上，所述千斤顶底座（8）由上部不锈钢钢板（81）、下部不锈钢钢板（82）与中间的工字型支撑（83）三部分构成，上部不锈钢钢板（81）尺寸小于下部不锈钢钢板（82），三部分采用焊接连接，焊接处采用满焊。

5.根据权利要求4所述的一种磁控溅射膜上/下膜装置，其特征在于，所述上部不锈钢钢板（81）的尺寸为150mm*150mm*20mm。

6.根据权利要求1或4所述的一种磁控溅射膜上/下膜装置，其特征在于，所述千斤顶（3）为电动液压千斤顶。

7.根据权利要求1所述的一种磁控溅射膜上/下膜装置，其特征在于，所述千斤顶（3）的顶部固定有顶撑架（10），所述顶撑架（10）顶部设有软垫（11）与所述磁控溅射膜支撑架（2）接触。

8.根据权利要求1所述的一种磁控溅射膜上/下膜装置，其特征在于，所述立架（1）上固定有扶手（9）。

Images