CN212517152U - 一种吸笔 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种吸笔，属于晶圆片吸附技术领域。所述吸笔包括：支撑杆、若干第一伸缩杆、若干连接杆及若干吸盘；若干所述第一伸缩杆的第一端均与所述支撑杆固定连接；若干所述第一伸缩杆与若干所述连接杆一一对应，所述第一伸缩杆的第二端与相对应的所述连接杆的第一端固定连接；若干所述连接杆与若干所述吸盘一一对应，所述连接杆的第二端与相对应的所述吸盘固定连接。本实用新型吸笔操作简便，不受薄片本身只能吸取特定的一面的限制，双面皆可吸，操作简便，避免吸笔头直接接触晶圆片有效区域而造成损伤，可明显消除由吸笔操作造成的各种损伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆片吸附技术领域，特别涉及一种吸笔。
背景技术
在半导体晶圆芯片制作领域，通常使用吸笔操作和转移晶圆薄片，吸笔操作较之镊子操作薄片能更有效的规避风险，避免镊子操作时受力不均导致薄片破裂。
局限于薄片本身的性质，传统的吸笔操作时，只能吸取特定的一面，这对操作人员的操作手法提出了极高的要求。与此同时，传统吸笔吸取薄片时，吸笔内部产生真空负压，在吸附住薄片的同时，会使得吸笔头与薄片的接触部位产生挤压，使得晶圆薄片的有效区域留下吸笔印，在强光手电筒下显为白色点状，造成极大的经济损失。
实用新型内容
本实用新型提供一种吸笔，解决了或部分解决了现有技术中吸笔操作和转移晶圆薄片，只能吸取晶圆薄片特定的一面，同时，使得晶圆薄片的有效区域留下吸笔印的技术问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种吸笔包括：支撑杆、若干第一伸缩杆、若干连接杆及若干吸盘；若干所述第一伸缩杆的第一端均与所述支撑杆固定连接；若干所述第一伸缩杆与若干所述连接杆一一对应，所述第一伸缩杆的第二端与相对应的所述连接杆的第一端固定连接；若干所述连接杆与若干所述吸盘一一对应，所述连接杆的第二端与相对应的所述吸盘固定连接。
进一步地，若干所述第一伸缩杆的等角度均匀间隔与所述支撑杆固定连接。
进一步地，所述第一伸缩杆的第二端与所述连接杆的第一端垂直。
进一步地，所述吸笔还包括：握持杆；所述握持杆可转动式地与所述支撑杆连接。
进一步地，所述握持杆朝向所述连接杆的端部固定设置有套筒；
所述支撑杆套设在所述套筒内。
进一步地，所述套筒的直径与所述支撑杆的直径相匹配。
进一步地，所述套筒上开设有若干第一通孔，所述支撑杆上开设有若干第二通孔；若干所述第一通孔与若干所述第二通孔一一对应，连接件穿过所述第一通孔进入相对应的所述第二通孔内。
进一步地，所述握持杆为第二伸缩杆
本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
由于若干第一伸缩杆的第一端均与支撑杆固定连接，若干第一伸缩杆与若干连接杆一一对应，第一伸缩杆的第二端与相对应的连接杆的第一端固定连接，若干连接杆与若干吸盘一一对应，连接杆的第二端与相对应的吸盘固定连接，所以，当对晶圆薄片进行操作时，在支撑杆上调节若干第一伸缩杆的长度，通过连接杆带动吸盘到达合适位置，通过吸盘直接吸取晶圆薄片大边和小边的无效区域，从而避免吸盘直接接触晶圆薄片有效区域而造成损伤，可消除操作造成的各种损伤，同时，由于吸取的区域是晶圆薄片的无效区域，不受晶圆薄片本身只能吸取特定的一面的限制，双面皆可吸，操作风险降低。
附图说明
图1为本实用新型实施例提供的吸笔的结构示意图。
具体实施方式
参见图1，本实用新型实施例提供了一种吸笔包括：支撑杆1、若干第一伸缩杆2、若干连接杆3及若干吸盘4。
若干第一伸缩杆2的第一端均与支撑杆1固定连接。
若干第一伸缩杆2与若干连接杆3一一对应，第一伸缩杆2的第二端与相对应的连接杆3的第一端固定连接。
若干连接杆3与若干吸盘4一一对应，连接杆3的第二端与相对应的吸盘4固定连接。
本申请具体实施方式由于若干第一伸缩杆2的第一端均与支撑杆1固定连接，若干第一伸缩杆2与若干连接杆3一一对应，第一伸缩杆2的第二端与相对应的连接杆3的第一端固定连接，若干连接杆3与若干吸盘4一一对应，连接杆3的第二端与相对应的吸盘4固定连接，所以，当对晶圆薄片进行操作时，在支撑杆1上调节若干第一伸缩杆2的长度，通过连接杆3带动吸盘4到达合适位置，通过吸盘4直接吸取晶圆薄片5大边和小边的无效区域，从而避免吸盘4直接接触晶圆薄片5有效区域而造成损伤，可消除操作造成的各种损伤，可适用不同尺寸规格的晶圆片生产操作，并可应用到厚度＜100um晶圆薄片的吸附，同时，由于吸取的区域是晶圆薄片5的无效区域，不受晶圆薄片5本身只能吸取特定的一面的限制，双面皆可吸，操作风险降低。
其中，支撑杆1、若干第一伸缩杆2及若干连接杆3均为管状结构，支撑杆1、若干第一伸缩杆2及若干连接杆3内设置有波纹管，若干吸盘4上均开设有吸附孔，波纹管的一端与吸附孔连通，波纹管的另一端与抽真空设备连通，启动抽真空设备，即可通过波纹管对吸盘4进行抽真空，便于吸附晶圆薄片5。
具体的，若干第一伸缩杆2的等角度均匀间隔与支撑杆1固定连接，使第一伸缩杆2通过连接杆3带动吸盘4到达合适位置，保证吸盘4吸附的稳定性。
具体的，第一伸缩杆2的第二端与连接杆3的第一端垂直，使第一伸缩杆2与晶圆薄片之间有间隙，便于第一伸缩杆2的伸缩。
具体的，吸笔还包括：握持杆6。
握持杆6可转动式地与支撑杆1连接。
握持杆6朝向所述支撑杆1的端部固定设置有套筒7；支撑杆1套设在套筒7内。
套筒7的直径与支撑杆1的直径相匹配，保证套筒7可以绕支撑杆1进行转动。
其中，套筒7在支撑杆1的位置靠近若干伸缩杆2中与支撑杆1同轴的伸缩杆，与若干伸缩杆2中不与支撑杆1同轴的伸缩杆错开，避免若干伸缩杆2中不与支撑杆1同轴的伸缩杆干扰套筒7的转动。
套筒7上开设有若干第一通孔，支撑杆1上开设有若干第二通孔。
若干第一通孔与若干第二通孔一一对应，连接件穿过第一通孔进入相对应的第二通孔内。
当对晶圆薄片进行操作时，使套筒7在支撑杆1上转动，套筒7带动握持杆6到达适宜握持的位置，然后，将连接件穿过第一通孔进入相对应的第二通孔内，将套筒7锁定在支撑杆1上。对晶圆薄片操作完毕时，将连接件由第一通孔从第二通孔拿出，将套筒7在支撑杆1上解锁，使套筒7带动握持杆6到达合适位置。
其中，连接件可以为插销。
握持杆6为第二伸缩杆，当对晶圆薄片进行操作时，使握持杆6伸长，便于操作，当对晶圆薄片操作完毕时，使握持杆6收缩，便于收纳。
最后所应说明的是，以上具体实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照实例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的精神和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (8)
1.一种吸笔，其特征在于，包括：支撑杆、若干第一伸缩杆、若干连接杆及若干吸盘；
若干所述第一伸缩杆的第一端均与所述支撑杆固定连接；
若干所述第一伸缩杆与若干所述连接杆一一对应，所述第一伸缩杆的第二端与相对应的所述连接杆的第一端固定连接；
若干所述连接杆与若干所述吸盘一一对应，所述连接杆的第二端与相对应的所述吸盘固定连接。
2.根据权利要求1所述的吸笔，其特征在于：
若干所述第一伸缩杆的等角度均匀间隔与所述支撑杆固定连接。
3.根据权利要求1所述的吸笔，其特征在于：
所述第一伸缩杆的第二端与所述连接杆的第一端垂直。
4.根据权利要求1所述的吸笔，其特征在于，所述吸笔还包括：握持杆；
所述握持杆可转动式地与所述支撑杆连接。
5.根据权利要求4所述的吸笔，其特征在于：
所述握持杆朝向所述连接杆的端部固定设置有套筒；
所述支撑杆套设在所述套筒内。
6.根据权利要求5所述的吸笔，其特征在于：
所述套筒的直径与所述支撑杆的直径相匹配。
7.根据权利要求5所述的吸笔，其特征在于：
所述套筒上开设有若干第一通孔，所述支撑杆上开设有若干第二通孔；
若干所述第一通孔与若干所述第二通孔一一对应，连接件穿过所述第一通孔进入相对应的所述第二通孔内。
8.根据权利要求5所述的吸笔，其特征在于：
所述握持杆为第二伸缩杆。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202021530084.7U CN212517152U (zh) | 2020-07-29 | 2020-07-29 | 一种吸笔 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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|---|---|
| CN212517152U true CN212517152U (zh) | 2021-02-09 |
Family
ID=74443537
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202021530084.7U Active CN212517152U (zh) | 2020-07-29 | 2020-07-29 | 一种吸笔 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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-
2020
- 2020-07-29 CN CN202021530084.7U patent/CN212517152U/zh active Active
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