CN212459440U

CN212459440U - 一种缺陷定位装置和缺陷定位系统

Info

Publication number: CN212459440U
Application number: CN202021372134.3U
Authority: CN
Inventors: 史进; 李在桓
Original assignee: Xian Eswin Silicon Wafer Technology Co Ltd
Current assignee: Xian Eswin Silicon Wafer Technology Co Ltd
Priority date: 2020-07-13
Filing date: 2020-07-13
Publication date: 2021-02-02
Anticipated expiration: 2030-07-13

Abstract

本实用新型提供一种缺陷定位装置和缺陷定位系统。缺陷定位装置包括：夹具，用于固定待检测产品；定位传感器，与所述夹具固定连接，所述定位传感器用于检测所述夹具的姿态信息；控制开关，与所述定位传感器电连接，所述控制开关用于向所述定位传感器输出控制所述定位传感器记录检测到的姿态信息的控制信号。本实用新型实施例提供的缺陷定位装置用于在目视检测产品缺陷过程中对产品存在的缺陷进行标记，使用过程中，可以通过定位传感器对缺陷定位装置的姿态进行检测，进一步通过操作控制开关实现对于缺陷的记录，从而能够快捷准确的实现对于产品缺陷的定位和记录，有助于提高检测效率。

Description

一种缺陷定位装置和缺陷定位系统

技术领域

本实用新型涉及检测技术领域，尤其涉及一种缺陷定位装置和缺陷定位系统。

背景技术

相关技术中，半导体的加工过程大致分为拉晶、成型、抛光、清洗等步骤，而在每段工序中，又会涉及十数种设备。由于每台设备之间都是相互独立，所以半导体加工过程中需要进行频繁的运载，在运载过程中，不可避免的会造成硅片的外表面损伤，具体可能是正面、背面和边缘处出现损伤。

相关技术中，主要通过目测对半导体的损伤进行初步检测，然后由工作人员进行登记，以便后续进行进一步的检测。然而这种检测方式操作相对复杂。

发明内容

本实用新型实施例提供一种缺陷定位装置和缺陷定位系统，以解决现有对于半导体上缺陷定位复杂的问题。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种缺陷定位装置，包括：

夹具，用于固定待检测产品；

定位传感器，与所述夹具固定连接，所述定位传感器用于检测所述夹具的姿态信息；

控制开关，与所述定位传感器电连接，所述控制开关用于向所述定位传感器输出控制所述定位传感器记录检测到的姿态信息的控制信号。

可选的，所述定位传感器包括陀螺仪和加速度计中的一种或多种。

可选的，所述控制开关的数量为多个，多个所述控制开关分别用于输出不同缺陷对应的所述控制信号。

可选的，所述缺陷定位装置还包括复位开关，所述复位开关与所述定位传感器电连接，所述复位开关用于向所述定位传感器提供使数据初始化的信号。

第二方面，本实用新型实施例还提供了一种缺陷定位系统，包括检测光源和以上任一项所述的缺陷定位装置。

可选的，还包括底座，所述底座上方形成检测区，所述检测光源固定于所述底座上，且朝向所述检测区设置。

可选的，所述检测光源为光照度不小于40万勒克斯的平行光源。

可选的，所述底座上设置有初始化位置标识，所述初始化位置标识用于标识所述缺陷定位装置的初始位置。

可选的，所述初始化位置标识包括与所述缺陷定位装置相匹配的容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述缺陷定位装置以确定所述缺陷定位装置处于所述初始位置。

本实用新型实施例提供的缺陷定位装置用于在目视检测产品缺陷过程中对产品存在的缺陷进行标记，使用过程中，可以通过定位传感器对缺陷定位装置的姿态进行检测，进一步通过操作控制开关实现对于缺陷的记录，从而能够快捷准确的实现对于产品缺陷的定位和记录，有助于提高检测效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获取其他的附图。

图1是本实用新型一实施例提供的缺陷定位装置的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例中进行缺陷检测的场景示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了一种缺陷定位装置100和一种包括该缺陷定位装置100的缺陷定位系统。

本实施例中的缺陷定位系统用于对于产品上的缺陷进行目视检测，目视检测指的是操作人员直接通过目测的方式发现产品上的缺陷，本实施例中以对半导体进行检测为例说明，显然，实际的待检测产品并不局限于此。

半导体在运载过程中，不可避免的会造成硅片的外表面损伤，具体可能是正面、背面和边缘处出现损伤，因此，需要工作人员进行初步的目视检测，以发现并统计半导体表面肉眼明细可见的缺陷。

如图1所示，在一个实施例中，该缺陷定位装置100包括夹具110、定位传感器120和控制开关130。

本实施例中的夹具110用于固定待检测产品，例如，本实施例中，夹具110具体包括互相对合的两部分，以实现对于圆形半导体300的夹持，显然，实施时，该夹具110的结构可以根据待检测的产品的结构做出调整，只要能够实现对于待检测产品的固定即可。

定位传感器120与夹具110固定连接，该定位传感器120用于检测夹具110的姿态信息，在一个可选的具体实施方式中，定位传感器120包括陀螺仪和加速度计中的一种或多种，通过设置定位传感器120，可以实现对于夹具110的运动过程的检测，从而进一步确定夹具110的姿态信息，所涉及的算法和计算过程可参考相关技术，此处不做进一步限定和描述。

控制开关130与定位传感器120电连接，控制开关130用于向定位传感器120输出控制定位传感器120记录检测到的姿态信息的控制信号。

使用过程中，当操作人员发现半导体300上的缺陷时，操作该控制开关130以发送控制信号，此时，该缺陷定位装置100记录下的位置信息代表半导体300上存在相关缺陷。

本实用新型实施例提供的缺陷定位装置100用于在目视检测产品缺陷过程中对产品存在的缺陷进行标记，使用过程中，可以通过定位传感器120对缺陷定位装置100的姿态进行检测，进一步通过操作控制开关130实现对于缺陷的记录，从而能够快捷准确的实现对于产品缺陷的定位和记录，有助于提高检测效率。

本实施例中，缺陷定位系统包括检测光源200和缺陷定位装置100。

在一个可选的具体实施方式中，缺陷定位系统包括一底座，底座上方形成检测区，检测光源200固定于底座上，且朝向检测区设置。进一步的，检测光源200为光照度不小于40万勒克斯的平行光源。

这样，使用过程中，这样，当半导体300移动到光源的照射方向时，能够反射光线，从而更有助于发现半导体300上存在的缺陷。

进一步的，在一个可选的具体实施方式中，缺陷定位装置100还包括复位开关，复位开关与定位传感器120电连接，复位开关用于向定位传感器120提供使数据初始化的信号。相应的，底座上设置有初始化位置标识，初始化位置标识用于标识缺陷定位装置100的初始位置。

使用时，首先根据初始化位置标识将缺陷定位装置100置于初始位置，在一个具体实施方式中，初始化位置标识包括与缺陷定位装置100相匹配的容纳槽，容纳槽用于容纳缺陷定位装置100以确定缺陷定位装置100处于初始位置。换句话说，当缺陷定位装置100位于该容纳槽内时，认为缺陷定位装置100位于初始位置，更便于定位。

找缺陷定位装置100位于初始位置时，按下复位开关，此时，向定位传感器120提供使数据初始化的信号，以使定位传感器120的位置数据初始化，这样，当后续移动缺陷定位装置100时，获得的位置数据实际上是缺陷定位装置100相对于初始位置的位置数据，有助于确定缺陷定位装置100的位置，从而确定缺陷的位置。

进一步的，控制开关130的数量为多个，多个控制开关130分别用于输出不同缺陷对应的控制信号。例如，半导体300上的缺陷可能包括灰尘、划痕、裂纹等不同的缺陷，每一缺陷对应一个控制开关130，如果发现了其中某一种缺陷，则按下对应的控制开关130，从而记录该缺陷的类型和位置信息。

接下来，对该缺陷定位系统的使用过程和原理做进一步详细说明。

如图2所示，以检测半导体300为例，使用过程中，首先利用缺陷定位装置100的夹具110固定待检测的半导体300，并将缺陷定位装置100放置于初始位置，例如，上述容纳槽中。

接下来，按下复位开关，相当于将定位传感器120记录的数据清零。

进一步的，打开检测光源200，检测光源200照向检测区。

检测过程中，操作人员手持缺陷定位装置100，并将其移动到检测区，使检测光源200发出的光线照射到半导体300表面，从而更加清楚的观察半导体300表面的情况。这一过程中，操作人员的眼睛的观察方向是固定的，通过手持缺陷定位装置100，并不断调整其角度、位置，从而实现从各个角度观察半导体300的各个位置，以发现半导体300可能存在的缺陷。

当发现半导体300上存在的某一缺陷时，按下相应的控制开关130，此时，能够记录该缺陷的类型和定位传感器120检测到的位置信息，从而实现了对于该半导体300上存在的缺陷的定位和记录。

后续，当其他工作人员需要对该半导体300进行复查或进一步检测时，读取之前记录的信息，由于所记录的位置信息为缺陷定位装置100相对于初始位置的信息，所以，根据该位置信息可以复原检测过程中，缺陷定位装置100的姿态和位置信息，从而便于再现发现该缺陷的状态，以便进行后续处理。

以上，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种缺陷定位装置，其特征在于，包括：

夹具，用于固定待检测产品；

2.如权利要求1所述的缺陷定位装置，其特征在于，所述定位传感器包括陀螺仪和加速度计中的一种或多种。

3.如权利要求1所述的缺陷定位装置，其特征在于，所述控制开关的数量为多个，多个所述控制开关分别用于输出不同缺陷对应的所述控制信号。

4.如权利要求1所述的缺陷定位装置，其特征在于，所述缺陷定位装置还包括复位开关，所述复位开关与所述定位传感器电连接，所述复位开关用于向所述定位传感器提供使数据初始化的信号。

5.一种缺陷定位系统，其特征在于，包括检测光源和权利要求1至4中任一项所述的缺陷定位装置。

6.如权利要求5所述的缺陷定位系统，其特征在于，还包括底座，所述底座上方形成检测区，所述检测光源固定于所述底座上，且朝向所述检测区设置。

7.如权利要求6所述的缺陷定位系统，其特征在于，所述检测光源为光照度不小于40万勒克斯的平行光源。

8.如权利要求6所述的缺陷定位系统，其特征在于，所述底座上设置有初始化位置标识，所述初始化位置标识用于标识所述缺陷定位装置的初始位置。

9.如权利要求8所述的缺陷定位系统，其特征在于，所述初始化位置标识包括与所述缺陷定位装置相匹配的容纳槽，所述容纳槽用于容纳所述缺陷定位装置以确定所述缺陷定位装置处于所述初始位置。