CN212412006U - 一种晶圆测试用预清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆测试用预清洗装置，包括底板，所述底板底部的四角均固定连接有支撑柱，所述底板的顶部固定连接有围板，所述底板的底部固定连接有第一气缸，所述底板的内部开设有第一蓄水槽，所述底板的顶部固定连接有第一喷水头。本实用新型通过底板、支撑柱、围板、第一气缸、第一蓄水槽、第一喷水头、滑杆、横板、第二气缸、喷水盘、调节板、限位弧板和缓冲机构的设置，解决了现有的清洗装置取料不便，晶圆测试时规格大小不一，清洗时不能便捷的调整清洗规格，降低了清洗效率的问题，该晶圆测试用预清洗装置，具备取料便捷和规格调节便捷的优点，提高了晶圆清洗效率。

Description

一种晶圆测试用预清洗装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆清洗技术领域，具体为一种晶圆测试用预清洗装置。

背景技术

目前，在半导体器件的制造工艺中，常常使用电化学镀(ECP)等工艺在刻蚀出的沟槽内壁以及晶圆表面形成铜电镀层，在铜电镀层形成完毕，将晶圆从电镀液中取出后，由于晶圆的边缘区域原来被电镀环夹住，所以基本镀不上铜电镀层，但是，可能会出现毛边。

为防止该毛边对后续检测工艺造成影响，需要对其进行清洗，采用物理气相沉积(PVD)对晶圆进行镀铜时也会遇见同样的晶圆边缘污染问题，需要对其进行清洗，但现有的清洗装置取料不便，晶圆测试时规格大小不一，清洗时不能便捷的调整清洗规格，降低了清洗效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆测试用预清洗装置，具备取料便捷和规格调节便捷的优点，解决了现有的清洗装置取料不便，晶圆测试时规格大小不一，清洗时不能便捷的调整清洗规格，降低了清洗效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆测试用预清洗装置，包括底板，所述底板底部的四角均固定连接有支撑柱，所述底板的顶部固定连接有围板，所述底板的底部固定连接有第一气缸，所述底板的内部开设有第一蓄水槽，所述底板的顶部固定连接有第一喷水头，所述第一喷水头与第一蓄水槽相连通，所述围板顶部的左侧和右侧均固定连接有滑杆，所述滑杆的顶部固定连接有横板，所述横板的顶部固定连接有第二气缸，所述第二气缸的活塞端固定连接有喷水盘，所述围板的左侧和右侧均滑动安装有调节板，所述调节板的内端固定连接有限位弧板，所述第一气缸的顶部固定连接有缓冲机构。

优选的，所述缓冲机构包括挡板，所述挡板的顶部滑动安装有限位杆，所述限位杆的顶部固定连接有顶板，所述限位杆的表面套设有弹簧，所述弹簧的顶端与顶板的底部接触，所述弹簧的底端与挡板的顶部接触。

优选的，所述顶板的顶部固定连接有第三喷头，所述顶板的左侧连通有注水管，所述第三喷头与注水管相连通，所述注水管与外接水泵相连通。

优选的，所述喷水盘的左侧和右侧均固定连接有滑套，所述滑套与滑杆滑动连接，所述喷水盘的内部开设有第二蓄水槽，所述喷水盘的底部开设有第四喷水头，所述第四喷水头设置有若干个，且若干个第四喷水头与第二蓄水槽相连通，所述喷水盘的顶部连通有进水管，所述进水管与外接水泵相连通。

优选的，所述底板的底部连通有加水管，所述加水管远离底板的一端与外接水泵相连通，所述围板右侧的底部连通有排水管。

优选的，所述围板外侧的顶部固定连接有固定板，所述固定板的顶部螺纹连接有锁紧螺栓。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过底板、支撑柱、围板、第一气缸、第一蓄水槽、第一喷水头、滑杆、横板、第二气缸、喷水盘、调节板、限位弧板和缓冲机构的设置，解决了现有的清洗装置取料不便，晶圆测试时规格大小不一，清洗时不能便捷的调整清洗规格，降低了清洗效率的问题，该晶圆测试用预清洗装置，具备取料便捷和规格调节便捷的优点，提高了晶圆清洗效率。

2、本实用新型因缓冲机构包括挡板，挡板的顶部滑动安装有限位杆，限位杆的顶部固定连接有顶板，限位杆的表面套设有弹簧，弹簧的顶端与顶板的底部接触，弹簧的底端与挡板的顶部接触，该设计通过挡板、限位杆、顶板和弹簧的设置，便于使用者通过挡板对限位杆进行限位，同时弹簧的弹力可缓冲晶圆放置后的力，保证晶圆放置的稳定性。

3、本实用新型因顶板的顶部固定连接有第三喷头，顶板的左侧连通有注水管，第三喷头与注水管相连通，注水管与外接水泵相连通，该设计通过第三喷头和注水管的设置，便于使用者通过注水管对顶板提供水源，同时水源通过第三喷头喷向晶圆进行清洗。

4、本实用新型因喷水盘的左侧和右侧均固定连接有滑套，滑套与滑杆滑动连接，喷水盘的内部开设有第二蓄水槽，喷水盘的底部开设有第四喷水头，第四喷水头设置有若干个，且若干个第四喷水头与第二蓄水槽相连通，喷水盘的顶部连通有进水管，进水管与外接水泵相连通，该设计通过滑套、第二蓄水槽、第四喷水头和进水管的设置，便于使用者通过滑套对喷水盘进行上下移动限位，同时第二蓄水槽便于进水管注入水源，方便水源通过第四喷头喷出对晶圆进行清洗。

5、本实用新型因底板的底部连通有注水管，注水管远离底板的一端与外接水泵相连通，围板右侧的底部连通有排水管，该设计通过注水管和排水管的设置，便于使用者通过加水管使水源进入第一蓄水槽的内部，再通过第一蓄水槽将水源输送至第一喷水头对晶圆进行喷洒清洗，同时排水管便于污水排出。

6、本实用新型因围板外侧的顶部固定连接有固定板，固定板的顶部螺纹连接有锁紧螺栓，该设计通过固定板和锁紧螺栓的设置，便于使用者旋转锁紧螺栓使锁紧螺栓向下移动与调节板的顶部紧密接触进行位置定位，方便对不同规格的晶圆进行限位。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1的俯视剖面结构示意图；

图3为本实用新型图1中A处的放大图。

图中：1底板、2支撑柱、3围板、4第一气缸、5第一蓄水槽、 6第一喷水头、7滑杆、8横板、9第二气缸、10喷水盘、11调节板、 12限位弧板、13缓冲机构、131挡板、132限位杆、133顶板、134 弹簧、14第三喷头、15注水管、16滑套、17第二蓄水槽、18第四喷水头、19进水管、20加水管、21排水管、22固定板、23锁紧螺栓。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种晶圆测试用预清洗装置，包括底板1，底板 1底部的四角均固定连接有支撑柱2，底板1的顶部固定连接有围板 3，底板1的底部连通有加水管20，加水管20远离底板1的一端与外接水泵相连通，围板3右侧的底部连通有排水管21，该设计通过加水管20和排水管21的设置，便于使用者通过加水管20使水源进入第一蓄水槽5的内部，再通过第一蓄水槽5将水源输送至第一喷水头6对晶圆进行喷洒清洗，同时排水管21便于污水排出，围板3外侧的顶部固定连接有固定板22，固定板22的顶部螺纹连接有锁紧螺栓23，该设计通过固定板22和锁紧螺栓23的设置，便于使用者旋转锁紧螺栓23使锁紧螺栓23向下移动与调节板11的顶部紧密接触进行位置定位，方便对不同规格的晶圆进行限位，底板1的底部固定连接有第一气缸4，底板1的内部开设有第一蓄水槽5，底板1的顶部固定连接有第一喷水头6，第一喷水头6与第一蓄水槽5相连通，围板3顶部的左侧和右侧均固定连接有滑杆7，滑杆7的顶部固定连接有横板8，横板8的顶部固定连接有第二气缸9，第二气缸9的活塞端固定连接有喷水盘10，喷水盘10的左侧和右侧均固定连接有滑套16，滑套16与滑杆7滑动连接，喷水盘10的内部开设有第二蓄水槽17，喷水盘10的底部开设有第四喷水头18，第四喷水头18设置有若干个，且若干个第四喷水头18与第二蓄水槽17相连通，喷水盘10的顶部连通有进水管19，进水管19与外接水泵相连通，该设计通过滑套16、第二蓄水槽17、第四喷水头18和进水管19的设置，便于使用者通过滑套16对喷水盘10进行上下移动限位，同时第二蓄水槽17便于进水管19注入水源，方便水源通过第四喷头18喷出对晶圆进行清洗，围板3的左侧和右侧均滑动安装有调节板11，调节板11的内端固定连接有限位弧板12，第一气缸4的顶部固定连接有缓冲机构13，缓冲机构13包括挡板131，挡板131的顶部滑动安装有限位杆132，限位杆132的顶部固定连接有顶板133，限位杆132 的表面套设有弹簧134，弹簧134的顶端与顶板133的底部接触，弹簧134的底端与挡板131的顶部接触，该设计通过挡板131、限位杆 132、顶板133和弹簧134的设置，便于使用者通过挡板131对限位杆132进行限位，同时弹簧134的弹力可缓冲晶圆放置后的力，保证晶圆放置的稳定性，顶板133的顶部固定连接有第三喷头14，顶板 133的左侧连通有注水管15，第三喷头14与注水管15相连通，注水管15与外接水泵相连通，该设计通过第三喷头14和注水管15的设置，便于使用者通过注水管15对顶板133提供水源，同时水源通过第三喷头14喷向晶圆进行清洗。

使用时，使用者启动第二气缸9带动喷水盘10向上移动，便于使用者放入晶圆，同时晶圆放入后，再启动第二气缸9带动喷水盘10向下移动，同时弹簧134的弹力可缓冲晶圆放置后的力，保证晶圆放置的稳定性，使用者再通过注水管15对顶板133提供水源，同时水源通过第三喷头14喷向晶圆进行清洗，再通过第二蓄水槽17便于进水管19注入水源，方便水源通过第四喷头18喷出对晶圆进行清洗，再通过加水管20使水源进入第一蓄水槽5的内部，再通过第一蓄水槽5将水源输送至第一喷水头6对晶圆进行喷洒清洗，同时排水管21便于污水排出，同时使用者可根据晶圆的大小左右滑动调节板 11，调节完成后使用者旋转锁紧螺栓23使锁紧螺栓23向下移动与调节板11的顶部紧密接触，使调节板11带动限位弧板12向内侧移动对晶圆进行限位，方便对不同规格的晶圆进行限位，清洗完成后，启动第二气缸9带动喷水盘10向上移动，便于使用者取出晶圆，同时再启动第一气缸4带动顶板133向上移动将晶圆顶起便于取出。

综上所述：该晶圆测试用预清洗装置，通过底板1、支撑柱2、围板3、第一气缸4、第一蓄水槽5、第一喷水头6、滑杆7、横板8、第二气缸9、喷水盘10、调节板11、限位弧板12和缓冲机构13的设置，解决了现有的清洗装置取料不便，晶圆测试时规格大小不一，清洗时不能便捷的调整清洗规格，降低了清洗效率的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆测试用预清洗装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)底部的四角均固定连接有支撑柱(2)，所述底板(1)的顶部固定连接有围板(3)，所述底板(1)的底部固定连接有第一气缸(4)，所述底板(1)的内部开设有第一蓄水槽(5)，所述底板(1)的顶部固定连接有第一喷水头(6)，所述第一喷水头(6)与第一蓄水槽(5)相连通，所述围板(3)顶部的左侧和右侧均固定连接有滑杆(7)，所述滑杆(7)的顶部固定连接有横板(8)，所述横板(8)的顶部固定连接有第二气缸(9)，所述第二气缸(9)的活塞端固定连接有喷水盘(10)，所述围板(3)的左侧和右侧均滑动安装有调节板(11)，所述调节板(11)的内端固定连接有限位弧板(12)，所述第一气缸(4)的顶部固定连接有缓冲机构(13)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于：所述缓冲机构(13)包括挡板(131)，所述挡板(131)的顶部滑动安装有限位杆(132)，所述限位杆(132)的顶部固定连接有顶板(133)，所述限位杆(132)的表面套设有弹簧(134)，所述弹簧(134)的顶端与顶板(133)的底部接触，所述弹簧(134)的底端与挡板(131)的顶部接触。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于：所述顶板(133)的顶部固定连接有第三喷头(14)，所述顶板(133)的左侧连通有注水管(15)，所述第三喷头(14)与注水管(15)相连通，所述注水管(15)与外接水泵相连通。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于：所述喷水盘(10)的左侧和右侧均固定连接有滑套(16)，所述滑套(16)与滑杆(7)滑动连接，所述喷水盘(10)的内部开设有第二蓄水槽(17)，所述喷水盘(10)的底部开设有第四喷水头(18)，所述第四喷水头(18)设置有若干个，且若干个第四喷水头(18)与第二蓄水槽(17)相连通，所述喷水盘(10)的顶部连通有进水管(19)，所述进水管(19)与外接水泵相连通。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于：所述底板(1)的底部连通有加水管(20)，所述加水管(20)远离底板(1)的一端与外接水泵相连通，所述围板(3)右侧的底部连通有排水管(21)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆测试用预清洗装置，其特征在于：所述围板(3)外侧的顶部固定连接有固定板(22)，所述固定板(22)的顶部螺纹连接有锁紧螺栓(23)。

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