CN212361322U

CN212361322U - 调校及拆装方便的x、y方向可调底座机构

Info

Publication number: CN212361322U
Application number: CN202020406516.7U
Authority: CN
Inventors: 熊亚俊
Original assignee: Shenzhen Standard Spectrum Software Technology Co ltd
Current assignee: Shenzhen Biaopu Semiconductor Co ltd
Priority date: 2020-03-26
Filing date: 2020-03-26
Publication date: 2021-01-15
Anticipated expiration: 2030-03-26

Abstract

一种调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，包括底座和模组安装底板，所述模组安装底板通过至少两个定位螺丝可在预定范围内朝前、后、左、右四个方向移动的活动连接在所述底座上；在所述底座的相对于所述模组安装底板的上底面上设有斜槽，所述斜槽的斜槽中心线的延长线与所述底座的底座中心线相交的夹角α为锐角；在所述斜槽内设有用于调节模组安装底板左右移动的左右调节机构；在所述底座的底部设有底座前后调节机构和用于锁定底座的底座锁定机构。本实用新型具有通用性好、调节方便和结构简单的优点。

Description

调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构

技术领域

本实用新型涉及半导体产业用的自动化设备技术领域，尤其是涉及一种模块化的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构。

背景技术

随着全球半导体工业快速发展，各类半导体元件的需求急剧增加。在半导体产品的自动化生产加工过程中，对设备产能的要求越来越高，因此，对应用于高速运转的半导体自动化生产设备，对的底座调节机构的精度、速度、模块化、通用性、维护调试的要求越来越高。

传统的底座调节机构，一般是采螺丝将调节模组直接固定在工作台大板上，然后，从前或后调节前后方向，从左或右调节左右方向。这种调节模组存在如下问题，一是通用性不强，根据调节模组的外形尺寸的大小，在工作台大板面打螺丝孔，然后用螺丝固定，调节模块不可以根据需要而更换位置；二是调节模块使用不方便，且精度差；三是拆装维修不方便，每次都需反复调整位置。

实用新型内容

为了克服上述问题，实用新型向社会提供一种通用性强、调节方便和结构简单的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构。

本实用新型的技术方案是：提供一种调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，包括底座和模组安装底板，所述模组安装底板通过至少两个定位螺丝可在预定范围内朝前、后、左、右四个方向移动的活动连接在所述底座上；在所述底座的相对于所述模组安装底板的上底面上设有斜槽，所述斜槽的斜槽中心线的延长线与所述底座的底座中心线相交的夹角α为锐角；在所述斜槽内设有用于调节模组安装底板左右移动的左右调节机构；在所述底座的底部设有底座前后调节机构和用于锁定底座的底座锁定机构。

作为对本实用新型的改进，所述夹角α在8度-15度之间选择。

作为对本实用新型的改进，所述左右调节机构包括左右调节块、左右调节螺杆，所述左右调节螺杆与所述左右调节块螺纹连接，所述左右调节块上的凸柱伸在所述模组安装底板的下底面上的凹槽内；旋转所述左右调节螺杆可使所述左右调节块在所述斜槽内往复移动，从而驱动所述模组安装底板左右移动。

作为对本实用新型的改进，所述左右调节机构还包括第一限位块，在所述底座的上底面上设有第一限位块安装槽，所述第一限位块设在所述第一限位块安装槽内，所述第一限位块的第一凹槽抱在所述左右调节螺杆的外端附近。

作为对本实用新型的改进，所述左右调节机构还包括压缩弹簧，所述压缩弹簧套在所述第一限位块与所述左右调节块之间的所述左右调节螺杆上。

作为对本实用新型的改进，所述底座前后调节机构包括前后调节螺杆和带有斜面的导轨，所述前后调节螺杆与所述底座和所述导轨螺纹连接，旋转所述前后调节螺杆可使所述底座相对于所述导轨前后移动。

作为对本实用新型的改进，所述底座锁定机构包括锁紧螺杆和带锁紧斜面的锁紧件，所述锁紧件设在所述锁紧螺杆上，旋转锁紧螺杆，当锁紧件的锁紧斜面与所述导轨的斜面平行时，所述导轨与锁紧螺杆处于解锁状态；当锁紧件的锁紧斜面与所述导轨的斜面相切时，所述导轨与锁紧螺杆处于锁紧状态。

作为对本实用新型的改进，所述底座锁定机构还包括锁紧构件，所述锁紧构件包括锁紧块和锁紧顶丝，所述锁紧块通过锁紧半槽抱在所述锁紧螺杆的中部，所述锁紧顶丝与底座上的螺孔螺纹连接，所述锁紧顶丝的内端抵靠在所述锁紧块的远离所述锁紧半槽的一面上。

作为对本实用新型的改进，所述底座锁定机构还包括第二限位块，在所述底座的下底面上设有第二限位块安装槽，所述第二限位块设在所述第二限位块安装槽内，所述第二限位块的第二凹槽抱在所述锁紧螺杆的外端附近。

作为对本实用新型的改进，本实用新型还包括蝶形弹片，所述蝶形弹片位于所述定位螺丝与所述模组安装底板之间。

本实用新型由于采用了在所述底座的相对于所述模组安装底板的上底面上设有斜槽，所述斜槽的斜槽中心线的延长线与所述底座的底座中心线相交的夹角α为锐角；在所述斜槽内设有用于调节模组安装底板左右移动的左右调节机构；在所述底座的底部设有底座前后调节机构和用于锁定底座的底座锁定机构的结构，故本实用新型具有通用性好、调节方便和结构简单的优点。

附图说明

图1是本实用新型一种实施例的立体分解结构示意图。

图2是图1中组合后的立体结构示意图。

图3是图1中底座的另一视角的立体结构示意图（解锁状态）。

图4是图1中模组安装底板的另一视角的立体结构示意图。

图5是图1中底座锁定机构的立体结构示意图（锁定状态）。

图6是图1中左右调节机构的立体结构示意图。

具体实施方式

为了使实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对实用新型进行详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释实用新型，并不用于限定实用新型。

请参见图1至图6，图1至图6揭示的是一种调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，包括底座1和模组安装底板2，所述模组安装底板2通过至少两个定位螺丝22可在预定范围内朝前、后、左、右四个方向移动的活动连接在所述底座1上；在所述底座1的相对于所述模组安装底板2的上底面11上设有斜槽12，所述斜槽12的斜槽中心线121的延长线与所述底座1的底座中心线111相交的夹角α为锐角；在所述斜槽12内设有用于调节模组安装底板2左右移动的左右调节机构3；在所述底座1的底部设有底座前后调节机构4和用于锁定底座的底座锁定机构5；本实用新型在底座1上设置斜槽12，并将左右调节机构3设在斜槽12内，通过调节左右调节机构3可以使模组安装底板2左右移动，达到了使用方便的目的。本实用新型中，所述夹角α可以在8度-15度之间选择，当夹角α小于8度时，夹角太小，模组安装底板2的移动步距太小；当夹角α大于15度时，夹角太大，会增加底座1的面积，不利于现场安装。

优选的，所述左右调节机构3包括左右调节块31、左右调节螺杆32，所述左右调节螺杆32与所述左右调节块31螺纹连接，所述左右调节块31上的凸柱311伸在所述模组安装底板2的下底面上的凹槽21内；旋转所述左右调节螺杆32可使所述左右调节块31在所述斜槽12内往复移动，从而驱动所述模组安装底板2左右移动。

优选的，所述左右调节机构3还包括第一限位块33，在所述底座1的上底面上设有第一限位块安装槽13，所述第一限位块33设在所述第一限位块安装槽13内，所述第一限位块33的第一凹槽331抱在所述左右调节螺杆32的外端附近，第一限位块33可以防止左右调节螺杆32轴向退出。

优选的，所述左右调节机构3还包括压缩弹簧34（见图6），所述压缩弹簧34套在所述第一限位块33与所述左右调节块31之间的所述左右调节螺杆32上；所述压缩弹簧34可以将所述左右调节块31与所述左右调节螺杆32的螺丝涨紧，以防螺丝在使用过程中松脱。

优选的，所述底座前后调节机构4包括前后调节螺杆41和带有斜面421的导轨42，所述前后调节螺杆41与所述底座1和所述导轨42螺纹连接，旋转所述前后调节螺杆41可使所述底座1相对于所述导轨42前后移动；使用时，所述导轨42必须固定在机台的安装板上，使导轨42固定。

优选的，所述底座锁定机构5包括锁紧螺杆51和带锁紧斜面521的锁紧件52，所述锁紧件52设在所述锁紧螺杆51上，旋转锁紧螺杆51，当锁紧件52的锁紧斜面521与所述导轨42的斜面421平行时，所述导轨42与锁紧螺杆51处于解锁状态；当锁紧件52的锁紧斜面521与所述导轨42的斜面421相切时，所述导轨42与锁紧螺杆51处于锁紧状态。

优选的，所述底座锁定机构5还包括锁紧构件53，所述锁紧构件53包括锁紧块531和锁紧顶丝532，所述锁紧块531通过锁紧半槽5311抱在所述锁紧螺杆51的中部，所述锁紧顶丝532与底座1上的螺孔14螺纹连接（参见图3），所述锁紧顶丝532的内端抵靠在所述锁紧块531的远离所述锁紧半槽5311的一面上。

优选的，所述底座锁定机构5还包括第二限位块54，在所述底座1的下底面上设有第二限位块安装槽541，所述第二限位块54设在所述第二限位块安装槽541内，所述第二限位块54的第二凹槽542抱在所述锁紧螺杆51的外端附近。

优选的，本实用新型还包括蝶形弹片221，所述蝶形弹片221位于所述定位螺丝22与所述模组安装底板2之间。

本实用新型中，所述左右调节螺杆32的外端、前后调节螺杆41的外端和锁紧螺杆51的外端均露出于所述底座1的同一侧面，以方便使用者调校。

在不脱离实用新型思想的情况下，凡应用实用新型说明书及附图内容所做的各种等效变化，均理同包含于实用新型的权利要求范围内。

Claims

1.一种调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：包括底座（1）和模组安装底板（2），所述模组安装底板（2）通过至少两个定位螺丝（22）可在预定范围内朝前、后、左、右四个方向移动的活动连接在所述底座（1）上；在所述底座（1）的相对于所述模组安装底板（2）的上底面（11）上设有斜槽（12），所述斜槽（12）的斜槽中心线（121）的延长线与所述底座（1）的底座中心线（111）相交的夹角（α）为锐角；在所述斜槽（12）内设有用于调节模组安装底板（2）左右移动的左右调节机构（3）；在所述底座（1）的底部设有底座前后调节机构（4）和用于锁定底座的底座锁定机构（5）。

2.根据权利要求1所述的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：所述夹角（α）在8度-15度之间选择。

3.根据权利要求1或2所述的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：所述左右调节机构（3）包括左右调节块（31）、左右调节螺杆（32），所述左右调节螺杆（32）与所述左右调节块（31）螺纹连接，所述左右调节块（31）上的凸柱（311）伸在所述模组安装底板（2）的下底面上的凹槽（21）内；旋转所述左右调节螺杆（32）可使所述左右调节块（31）在所述斜槽（12）内往复移动，从而驱动所述模组安装底板（2）左右移动。

4.根据权利要求3所述的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：所述左右调节机构（3）还包括第一限位块（33），在所述底座（1）的上底面上设有第一限位块安装槽（13），所述第一限位块（33）设在所述第一限位块安装槽（13）内，所述第一限位块（33）的第一凹槽（331）抱在所述左右调节螺杆（32）的外端附近。

5.根据权利要求4所述的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：所述左右调节机构（3）还包括压缩弹簧（34），所述压缩弹簧（34）套在所述第一限位块（33）与所述左右调节块（31）之间的所述左右调节螺杆（32）上。

6.根据权利要求1或2或4或5所述的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：所述底座前后调节机构（4）包括前后调节螺杆（41）和带有斜面（421）的导轨（42），所述前后调节螺杆（41）与所述底座（1）和所述导轨（42）螺纹连接，旋转所述前后调节螺杆（41）可使所述底座（1）相对于所述导轨（42）前后移动。

7.根据权利要求6所述的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：所述底座锁定机构（5）包括锁紧螺杆（51）和带锁紧斜面（521）的锁紧件（52），所述锁紧件（52）设在所述锁紧螺杆（51）上，旋转锁紧螺杆（51），当锁紧件（52）的锁紧斜面（521）与所述导轨（42）的斜面（421）平行时，所述导轨（42）与锁紧螺杆（51）处于解锁状态；当锁紧件（52）的锁紧斜面（521）与所述导轨（42）的斜面（421）相切时，所述导轨（42）与锁紧螺杆（51）处于锁紧状态。

8.根据权利要求7所述的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：所述底座锁定机构（5）还包括锁紧构件（53），所述锁紧构件（53）包括锁紧块（531）和锁紧顶丝（532），所述锁紧块（531）通过锁紧半槽（5311）抱在所述锁紧螺杆（51）的中部，所述锁紧顶丝（532）与底座（1）上的螺孔螺纹连接，所述锁紧顶丝（532）的内端抵靠在所述锁紧块（531）的远离所述锁紧半槽（5311）的一面上。

9.根据权利要求7或8所述的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：所述底座锁定机构（5）还包括第二限位块（54），在所述底座（1）的下底面上设有第二限位块安装槽（541），所述第二限位块（54）设在所述第二限位块安装槽（541）内，所述第二限位块（54）的第二凹槽（542）抱在所述锁紧螺杆（51）的外端附近。

10.根据权利要求1或2所述的调校及拆装方便的X、Y方向可调底座机构，其特征在于：还包括蝶形弹片（221），所述蝶形弹片（221）位于所述定位螺丝（22）与所述模组安装底板（2）之间。