CN212278528U - 一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于等离子设备技术领域，具体涉及一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，包括盖板、第一导流板、密封装置、壳体、第一电极装置和两个第二电极装置，盖板、第一导流板依次盖设于壳体，第一导流板通过密封装置与壳体连接，第一电极装置设置于壳体的一端，两个第二电极装置穿过壳体，两个第二电极装置的端部均与第一电极装置的端部对应，壳体的中部容置有分流块，分流块两侧的第一弧形槽与壳体两内壁上的第二弧形槽对应，盖板设置有容置槽，容置槽与设置于盖板的进气管连通。该等离子电源能够同时输出两个负载等离子处理喷枪，等离子的产生效率高，且散热性好，设备整体的工作效率高，安全系数高。

Description

一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置

技术领域

本实用新型属于等离子设备技术领域，具体涉及一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置。

背景技术

近来，正在广泛普及并使用通过在两个电极之间施加高压电流而生成的等离子体状态下供应工作气体(氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、甲烷、丙烷等)而能够获得更高的燃烧热的等离子体喷枪。在等离子体喷枪中，喷枪结构对其工作效率的影响较大。

现有技术中，申请号为201910719897.6的废气处理用等离子体喷枪是，配备有本体、盖体、阴极以及阳极而用等离子体火焰分解废气，在所述本体的下部以覆盖所述阳极的端部面的方式结合有阻断部件，所述阻断部件由结合到所述本体的凸缘和结合到所述凸缘的盖体构成，在所述凸缘和所述盖体结合的状态下通过所述凸缘和所述盖体之间的缝隙排出的N2气体而形成空气帘，从而阻断所述废气分解后生成的腐蚀性气体。然而这种等离子喷枪在工作中会产生大量的热量，且必须配备液冷降温装置进行吸热降温，设备整体的结构复杂，且存在冷却液泄露的安全风险，等离子的产生效率低，产品的市场竞争力不足。

综上可知，相关技术亟待完善。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：针对现有技术的不足，而提供多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，可以产生多点阵列式线性等离子体，密度高且均匀性好，等离子的产生效率高，处理宽度可达450mm，等离子的产生效率高，且散热性好，不需液冷散热装置进行辅助散热，设备整体的工作效率大大地提高。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，包括盖板、第一导流板、密封装置、壳体、第一电极装置和两个第二电极装置，所述盖板、所述第一导流板依次盖设于所述壳体，所述第一导流板通过所述密封装置与所述壳体连接，所述第一电极装置设置于所述壳体的一端，两个所述第二电极装置穿过所述壳体，两个所述第二电极装置的端部均与所述第一电极装置的端部对应，所述壳体的中部容置有分流块，所述分流块两侧的第一弧形槽与所述壳体两内壁上的第二弧形槽对应，所述盖板设置有容置槽，所述容置槽与设置于所述盖板的进气管连通，所述第一导流板容置于所述容置槽。在实际应用中，通过进气管向盖板中通入(氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、甲烷、丙烷等，根据实际情况可以灵活地选择)能够产生出等离子的气体，将第一电极装置的一端接通高压电电源的一个电极(正极或负极)，将两个第二电极装置的同一侧的端部接通高压电电源的另一个电极(正极或负极)，两个第二电极装置的相对另一侧的端部均匀第一电极装置的另一端对应；在工作中，从进气管进入到盖板内的气体经过第一导流板导流后，使得进入到壳体中分流块两侧的气体气压分布均匀，接着分流块两侧的气体分别经过第一弧形槽、第二弧形槽，气体气压分别经过多道弯折路径的缓冲，使得气体分子的运动速率得到有效的降速，使得气体分子能够充分地在高压下发生电离，从而产生足够多的等离子体，多道弯折路径延长了气体分子的运动轨迹，同时增大了气体的散热面积，有效地将热量散发出去，达到了优异的散热效果，该装置可以产生多点式线性等离子体，密度高且均匀性好，处理宽度可达450mm，等离子的产生效率高，且散热性好，不需液冷散热装置进行辅助散热，设备整体的工作效率大大地提高，工作时的安全系数高。

作为本实用新型所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置的一种改进，所述第一导流板上设置有多个均匀分布的第一通孔，多个所述第一通孔与所述壳体上多个均匀分布的第二通孔对应。这种结构设计能够对气体气压进行充分地分导，使得进入分流块两侧的气体气压均匀。

作为本实用新型所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置的一种改进，所述第一导流板为ㄇ型结构。这种结构设计有利于对来自进气管的气体气压进行分导。

作为本实用新型所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置的一种改进，所述盖板与所述壳体之间通过螺接或焊接连接。这种结构设计保质量了连接的牢固性；除此之外，还可以是能够达到相同效果的其它连接方式，根据实际情况可以灵活地设置。

作为本实用新型所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置的一种改进，所述密封装置为密封圈。这种结构设计能够增加整体设备的气密性。

作为本实用新型所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置的一种改进，所述第一电极装置包括第一导电线和固定块，所述第一导电线卡置于所述固定块内部，所述固定块与所述壳体的端部连接。在实际应用中，固定块为绝缘体，固定块的材料优选为铁氟龙，这种结构能够提高整体的安全系数。

作为本实用新型所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置的一种改进，所述第二电极装置包括第一陶瓷管、导电体和两个第二陶瓷管，所述第一陶瓷管、所述导电体、两个所述第二陶瓷管均同轴设置，所述导电体容置于所述第一陶瓷管内部，所述第一陶瓷管的两端分别通过两个所述第二陶瓷管与所述壳体卡接。这种结构设计有利于产生足够多的等离子体，同时有利于提高整体的安全系数。

作为本实用新型所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置的一种改进，所述第一陶瓷管横穿所述壳体，所述导电体的一端容置于所述固定块，所述导电体与所述第一导电线对应。这种结构设计有利于产生足够多的等离子体，同时有利于提高整体的安全系数。

作为本实用新型所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置的一种改进，所述导电体为导电线或空心导电管。在实际应用中，导电体的结构可以是多种，根据实际情况可以灵活地设置。

作为本实用新型所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置的一种改进，所述壳体的底部设置有第二导流板，所述第二导流板上设置有多个均匀分布的第三通孔，两个所述第二电极装置均与所述第二导流板对应。这种结构设计有利于等离子体均匀地输出。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：在实际应用中，通过进气管向盖板中通入(氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、甲烷、丙烷等，根据实际情况可以灵活地选择)能够产生出等离子的气体，将第一电极装置的一端接通高压电电源的一个电极(正极或负极)，将两个第二电极装置的同一侧的端部接通高压电电源的另一个电极(正极或负极)，两个第二电极装置的相对另一侧的端部均匀第一电极装置的另一端对应；在工作中，从进气管进入到盖板内的气体经过第一导流板导流后，使得进入到壳体中分流块两侧的气体气压分布均匀，接着分流块两侧的气体分别经过第一弧形槽、第二弧形槽，气体气压分别经过多道弯折路径的缓冲，使得气体分子的运动速率得到有效的降速，使得气体分子能够充分地在高压下发生电离，从而产生足够多的等离子体，多道弯折路径延长了气体分子的运动轨迹，同时增大了气体的散热面积，有效地将热量散发出去，达到了优异的散热效果，该发生装置可以产生多点阵列式线性等离子体，密度高且均匀性好，等离子的产生效率高，处理宽度可达450mm，且散热性好，整体工作效果高，安全系数高。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例中的立体的结构示意图之一；

图2为本实用新型实施例中的立体的结构示意图之二；

图3为本实用新型实施例中的分解的结构示意图；

图4为本实用新型实施例中分解后的局部的结构示意图；

图5为本实用新型实施例中的主视的结构示意图；

图6为5图中A-A面的剖视图；

图7为本实用新型实施例中的侧视的结构示意图；

图8为图7中B-B面的剖视图；

其中：1-盖板；11-容置槽；2-第一导流板；21-第一通孔；3-密封装置；4-壳体；41-第二弧形槽；42-第二通孔；5-第一电极装置；51-第一导电线；52-固定块；6-第二电极装置；61-第一陶瓷管；62-导电体；63-第二陶瓷管；7-分流块；71-第一弧形槽；8-进气管；9-第二导流板；91-第三通孔。

具体实施方式

如在说明书及权利要求当中使用了某些词汇来指称特定组件。本领域技术人员应可理解，硬件制造商可能会用不同名词来称呼同一个组件。本说明书及权利要求并不以名称的差异来作为区分组件的方式，而是以组件在功能上的差异来作为区分的准则。如在通篇说明书及权利要求当中所提及的“包含”为一开放式用语，故应解释成“包含但不限定于”。“大致”是指在可接受的误差范围内，本领域技术人员能够在一定误差范围内解决所述技术问题，基本达到所述技术效果。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明，但不作为对本实用新型的限定。

实施例

如图1-8所示，多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，包括盖板1、第一导流板2、密封装置3、壳体4、第一电极装置5和两个第二电极装置6，盖板1、第一导流板2依次盖设于壳体4，第一导流板2通过密封装置3与壳体4连接，第一电极装置5设置于壳体4的一端，两个第二电极装置6穿过壳体4，两个第二电极装置6的端部均与第一电极装置5的端部对应，壳体4的中部容置有分流块7，分流块7两侧的第一弧形槽71与壳体4两内壁上的第二弧形槽41对应，盖板1设置有容置槽11，容置槽11与设置于盖板1的进气管8连通，第一导流板2容置于容置槽11。在实际应用中，通过进气管8向盖板1中通入氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、甲烷、丙烷等，根据实际情况可以灵活地选择能够产生出等离子的气体，将第一电极装置5的一端接通高压电电源的一个电极(正极或负极)，将两个第二电极装置6的同一侧的端部接通高压电电源的另一个电极(正极或负极)，两个第二电极装置6的相对另一侧的端部均匀第一电极装置5的另一端对应；在工作中，从进气管8进入到盖板1内的气体经过第一导流板2导流后，使得进入到壳体4中分流块7两侧的气体气压分布均匀，接着分流块7两侧的气体分别经过第一弧形槽71、第二弧形槽41，气体气压分别经过多道弯折路径的缓冲，使得气体分子的运动速率得到有效的降速，使得气体分子能够充分地在高压下发生电离，从而产生足够多的等离子体，多道弯折路径延长了气体分子的运动轨迹，同时增大了气体的散热面积，有效地将热量散发出去，达到了优异的散热效果，该发生装置可以产生多点阵列式线性等离子体，密度高且均匀性好，等离子的产生效率高，处理宽度可达450mm，且散热性好，整体工作效果高，安全系数高。

优选的，第一导流板2上设置有多个均匀分布的第一通孔21，多个第一通孔21与壳体4上多个均匀分布的第二通孔42对应。这种结构设计能够对气体气压进行充分地分导，使得进入分流块7两侧的气体气压均匀。

优选的，第一导流板2为ㄇ型结构。这种结构设计有利于对来自进气管8的气体气压进行分导。

优选的，盖板1与壳体4之间通过螺接或焊接连接。这种结构设计保质量了连接的牢固性；除此之外，还可以是能够达到相同效果的其它连接方式，根据实际情况可以灵活地设置。

优选的，密封装置3为密封圈。这种结构设计能够增加整体设备的气密性。

优选的，第一电极装置5包括第一导电线51和固定块52，第一导电线51卡置于固定块52内部，固定块52与壳体4的端部连接。在实际应用中，固定块52为绝缘体，固定块52的材料优选为铁氟龙，这种结构能够提高整体的安全系数。

优选的，第二电极装置6包括第一陶瓷管61、导电体62和两个第二陶瓷管63，第一陶瓷管61、导电体62、两个第二陶瓷管63均同轴设置，导电体62容置于第一陶瓷管61内部，第一陶瓷管61的两端分别通过两个第二陶瓷管63与壳体4卡接。这种结构设计有利于产生足够多的等离子体，同时有利于提高整体的安全系数。

优选的，第一陶瓷管61横穿壳体4，导电体62的一端容置于固定块52，导电体62与第一导电线51对应。这种结构设计有利于产生足够多的等离子体，同时有利于提高整体的安全系数。

优选的，导电体62为导电线或空心导电管。在实际应用中，导电体62的结构可以是多种，根据实际情况可以灵活地设置。

优选的，壳体4的底部设置有第二导流板9，第二导流板9上设置有多个均匀分布的第三通孔91，两个第二电极装置6均与第二导流板9对应。这种结构设计有利于等离子体均匀地输出。

本实用新型的工作原理是：在实际应用中，通过进气管8向盖板1中通入氮气、氧气、氢气、氩气、氦气、甲烷、丙烷等，根据实际情况可以灵活地选择能够产生出等离子的气体，将第一电极装置5的一端接通高压电电源的一个电极(正极或负极)，将两个第二电极装置6的同一侧的端部接通高压电电源的另一个电极(正极或负极)，两个第二电极装置6的相对另一侧的端部均匀第一电极装置5的另一端对应；在工作中，从进气管8进入到盖板1内的气体经过第一导流板2导流后，使得进入到壳体4中分流块7两侧的气体气压分布均匀，接着分流块7两侧的气体分别经过第一弧形槽71、第二弧形槽41，气体气压分别经过多道弯折路径的缓冲，使得气体分子的运动速率得到有效的降速，使得气体分子能够充分地在高压下发生电离，从而产生足够多的等离子体，多道弯折路径延长了气体分子的运动轨迹，同时增大了气体的散热面积，有效地将热量散发出去，达到了优异的散热效果，该发生装置可以产生多点阵列式线性等离子体，密度高且均匀性好，等离子的产生效率高，处理宽度可达450mm，且散热性好，整体工作效果高，安全系数高。

上述说明示出并描述了本实用新型的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本实用新型并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述实用新型构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本实用新型的精神和范围，则都应在本实用新型所附权利要求的保护范围内。

Claims (10)

1.多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：包括盖板(1)、第一导流板(2)、密封装置(3)、壳体(4)、第一电极装置(5)和两个第二电极装置(6)，所述盖板(1)、所述第一导流板(2)依次盖设于所述壳体(4)，所述第一导流板(2)通过所述密封装置(3)与所述壳体(4)连接，所述第一电极装置(5)设置于所述壳体(4)的一端，两个所述第二电极装置(6)穿过所述壳体(4)，两个所述第二电极装置(6)的端部均与所述第一电极装置(5)的端部对应，所述壳体(4)的中部容置有分流块(7)，所述分流块(7)两侧的第一弧形槽(71)与所述壳体(4)两内壁上的第二弧形槽(41)对应，所述盖板(1)设置有容置槽(11)，所述容置槽(11)与设置于所述盖板(1)的进气管(8)连通，所述第一导流板(2)容置于所述容置槽(11)。

2.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第一导流板(2)上设置有多个均匀分布的第一通孔(21)，多个所述第一通孔(21)与所述壳体(4)上多个均匀分布的第二通孔(42)对应。

3.如权利要求2所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第一导流板(2)为ㄇ型结构。

4.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述盖板(1)与所述壳体(4)之间通过螺接或焊接连接。

5.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述密封装置(3)为密封圈。

6.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第一电极装置(5)包括第一导电线(51)和固定块(52)，所述第一导电线(51)卡置于所述固定块(52)内部，所述固定块(52)与所述壳体(4)的端部连接。

7.如权利要求6所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第二电极装置(6)包括第一陶瓷管(61)、导电体(62)和两个第二陶瓷管(63)，所述第一陶瓷管(61)、所述导电体(62)、两个所述第二陶瓷管(63)均同轴设置，所述导电体(62)容置于所述第一陶瓷管(61)内部，所述第一陶瓷管(61)的两端分别通过两个所述第二陶瓷管(63)与所述壳体(4)卡接。

8.如权利要求7所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述第一陶瓷管(61)横穿所述壳体(4)，所述导电体(62)的一端容置于所述固定块(52)，所述导电体(62)与所述第一导电线(51)对应。

9.如权利要求7所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述导电体(62)为导电线或空心导电管。

10.如权利要求1所述的多点阵列式线性宽幅等离子发生装置，其特征在于：所述壳体(4)的底部设置有第二导流板(9)，所述第二导流板(9)上设置有多个均匀分布的第三通孔(91)，两个所述第二电极装置(6)均与所述第二导流板(9)对应。

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