CN212276216U - 一种可分离组装掩模台的光刻机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可分离组装掩模台的光刻机，其结构包括机座、晶圆装配座、光刻机体、机架、显示器、控制器和掩模台，本实用新型具有以下有益效果，通过设有装配侧板和装配卡杆及第一压缩弹簧，使掩模台能够通过滑动控制头解除装配连接，且掩模台解锁时装配侧板会受第一压缩弹簧的力升起，在装配侧板升起后用户可以抽出掩模板装配台进行维护清洁和更换，通过在装配侧板上设有活动顶板和活动垫板及顶压杆，并在装配卡杆与机座连接处设有外扩板，使装配侧板在进行装配时，外扩板因为可外扩性能够更好的适应不同的装配孔，而顶压杆会因为装配侧板降至底部顶压活动顶板和顶压垫板上升而顶压掩模板装配台，使不同的掩模板装配台也能够稳定装配。
Description
技术领域
本实用新型属于技术领域，特别涉及一种可分离组装掩模台的光刻机。
背景技术
光刻机又名:掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，其中在进行曝光时，因为电路的不同，也需要进行不同的模板的装配，而为不同的模板进行装配的台座即为掩模台，随着科学技术的飞速发展，也得到了技术改进，但是现有技术新型在使用时，为了保证光刻时的稳定，掩模台的模板装配板需要进行稳固的装配，以保证模板装配使用时的稳定，从而也导致了模板装配板在装配后不便于维护清洁的情况，对于不同大小的模板进行装配或模板装配板损坏需要更换时也较为不便，且设备使用时，容易因为装配时掩模台或模板装配板在进行更换时装配孔或整体大小的偏差，导致掩模台或模板装配板在装配后有松动现象，导致不便。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
为了克服现有技术不足，现提出一种可分离组装掩模台的光刻机，以解决现有技术新型在使用时，为了保证光刻时的稳定，掩模台的模板装配板需要进行稳固的装配，以保证模板装配使用时的稳定，从而也导致了模板装配板在装配后不便于维护清洁的情况，对于不同大小的模板进行装配或模板装配板损坏需要更换时也较为不便，且设备使用时，容易因为装配时掩模台或模板装配板在进行更换时装配孔或整体大小的偏差，导致掩模台或模板装配板在装配后有松动现象，导致不便的效果。
(二)技术方案
本实用新型通过如下技术方案实现：本实用新型提出了一种可分离组装掩模台的光刻机，包括机座、晶圆装配座、光刻机体、机架、显示器、控制器和掩模台，机座顶端右侧固定连接有控制器，晶圆装配座设于机座内，掩模台与机座顶端扣接，掩模台位于晶圆装配座上方，机架一端与控制器顶端后侧固定连接，机架另一端与光刻机体后端固定连接，光刻机体位于掩模台正上方；
掩模台包括第一压缩弹簧、装配侧板、控制头、掩模板装配台和侧板连杆，掩模板装配台左右两端均扣接有装配侧板，装配侧板与侧板连杆固定连接，控制头设于装配侧板顶端，装配侧板底端前后两侧均固定连接有第一压缩弹簧；
装配侧板包括装配卡杆、侧板主体、顶压杆、拉伸弹簧、活动顶板和顶压垫板，侧板主体前后两端均镶嵌设有装配卡杆，装配卡杆一端贯穿侧板主体顶端与控制头底端固定连接，装配卡杆另一端贯穿侧板主体侧端，顶压杆贯穿侧板主体底部与活动顶板底端中部固定连接，活动顶板顶端胶接有顶压垫板，拉伸弹簧套接于顶压杆上，拉伸弹簧顶端与活动顶板固定连接，拉伸弹簧底端与侧板主体固定连接；
装配卡杆包括卡杆主体、第二压缩弹簧、回位挡环、收纳槽、外扩板、第三压缩弹簧和外扩限位杆，回位挡环包覆设于卡杆主体上，回位挡环与卡杆主体固定连接，回位挡环通过第二压缩弹簧与侧板主体内部固定连接，收纳槽设于侧板主体前后两端，外扩板通过外扩限位杆与卡杆主体活动连接，外扩限位杆通过第三压缩弹簧与卡杆主体扣接。
进一步的，所述装配侧板为凹字型，装配侧板设有2个，2个装配侧板凹面朝向掩模板装配台装配，使掩模板装配台能够在装配侧板之间抽出。
进一步的，所述装配卡杆对应2个装配侧板设有4个，4个装配卡杆分别贯穿2个装配侧板上下两端，装配卡杆贯穿装配侧板端设有外扩板，使掩模台能够通过装配卡板进行便捷的扣接装配。
进一步的，所述顶压杆设有4个，4个顶压杆分别设于2个装配侧板底端前后两侧，使顶压杆能够平稳的顶压活动顶板上升。
进一步的，所述第二压缩弹簧、回位挡环对应装配卡杆均设有4个，每个第二压缩弹簧均设于回位挡环内缩端，以保证顶压杆在不受其它外力影响时会被第二压缩弹簧顶出。
进一步的，所述外扩板为弧形板，外扩板设有16块，每4块外扩板为一组，每组外扩板均可拼接成圆环体，外扩板前后两端均为斜面，使外扩板能够外扩适应不同的装配孔。
进一步的，所述收纳槽直径比每组外扩板收缩后直径大，收纳槽前后深度比外扩板前后长度长，以保证解锁时外扩板能够随顶压杆内缩至收纳槽内。
(三)有益效果
本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：
1)、为解决现有技术新型在使用时，为了保证光刻时的稳定，掩模台的模板装配板需要进行稳固的装配，以保证模板装配使用时的稳定，从而也导致了模板装配板在装配后不便于维护清洁的情况，对于不同大小的模板进行装配或模板装配板损坏需要更换时也较为不便，通过设有装配侧板和装配卡杆及第一压缩弹簧，使掩模台能够通过滑动控制头解除装配连接，且掩模台解锁时装配侧板会受第一压缩弹簧的力升起，在装配侧板升起后用户可以抽出掩模板装配台进行维护清洁和更换。
2)、为解决设备使用时，容易因为装配时掩模台或模板装配板在进行更换时装配孔或整体大小的偏差，导致掩模台或模板装配板在装配后有松动现象，导致不便，通过在装配侧板上设有活动顶板和活动垫板及顶压杆，并在装配卡杆与机座连接处设有外扩板，使装配侧板在进行装配时，外扩板因为可外扩性能够更好的适应不同的装配孔，而顶压杆会因为装配侧板降至底部顶压活动顶板和顶压垫板上升而顶压掩模板装配台，使不同的掩模板装配台也能够稳定装配。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型一种可分离组装掩模台的光刻机的结构示意图；
图2为本实用新型掩模台的结构示意图；
图3为本实用新型掩模台第一压缩弹簧与装配侧板连接处的正剖结构示意图；
图4为本实用新型图2中A的放大结构示意图；
图5为本实用新型装配侧板俯视图的剖视结构示意图；
图6为本实用新型新型图4中B的放大结构示意图；
图7为本实用新型外扩板与卡杆主体装配的正剖结构示意图；
图中：机座-1、晶圆装配座-2、光刻机体-3、机架-4、显示器-5、控制器-6、掩模台-7、第一压缩弹簧-a、装配侧板-b、控制头-c、掩模板装配台-d、侧板连杆-e、装配卡杆-b1、侧板主体-b2、顶压杆-b3、拉伸弹簧-b4、活动顶板-b5、顶压垫板-b6、卡杆主体-b11、第二压缩弹簧-b12、回位挡环-b13、收纳槽-b14、外扩板-b15、第三压缩弹簧-b16、外扩限位杆-b17。
具体实施方式
请参阅图1-图7，本实用新型提供一种可分离组装掩模台的光刻机：包括机座、晶圆装配座、光刻机体、机架、显示器、控制器和掩模台，机座顶端右侧固定连接有控制器，晶圆装配座设于机座内，掩模台与机座顶端扣接，掩模台位于晶圆装配座上方，机架一端与控制器顶端后侧固定连接，机架另一端与光刻机体后端固定连接，光刻机体位于掩模台正上方；
掩模台包括第一压缩弹簧、装配侧板、控制头、掩模板装配台和侧板连杆，掩模板装配台左右两端均扣接有装配侧板，装配侧板与侧板连杆固定连接，控制头设于装配侧板顶端，装配侧板底端前后两侧均固定连接有第一压缩弹簧；
装配侧板包括装配卡杆、侧板主体、顶压杆、拉伸弹簧、活动顶板和顶压垫板，侧板主体前后两端均镶嵌设有装配卡杆，装配卡杆一端贯穿侧板主体顶端与控制头底端固定连接，装配卡杆另一端贯穿侧板主体侧端，顶压杆贯穿侧板主体底部与活动顶板底端中部固定连接，活动顶板顶端胶接有顶压垫板，拉伸弹簧套接于顶压杆上，拉伸弹簧顶端与活动顶板固定连接，拉伸弹簧底端与侧板主体固定连接；
装配卡杆包括卡杆主体、第二压缩弹簧、回位挡环、收纳槽、外扩板、第三压缩弹簧和外扩限位杆，回位挡环包覆设于卡杆主体上，回位挡环与卡杆主体固定连接，回位挡环通过第二压缩弹簧与侧板主体内部固定连接，收纳槽设于侧板主体前后两端，外扩板通过外扩限位杆与卡杆主体活动连接，外扩限位杆通过第三压缩弹簧与卡杆主体扣接。
其中，所述装配侧板为凹字型，装配侧板设有2个，2个装配侧板凹面朝向掩模板装配台装配，使掩模板装配台能够在装配侧板之间抽出。
其中，所述装配卡杆对应2个装配侧板设有4个，4个装配卡杆分别贯穿2个装配侧板上下两端，装配卡杆贯穿装配侧板端设有外扩板，使掩模台能够通过装配卡板进行便捷的扣接装配。
其中，所述顶压杆设有4个，4个顶压杆分别设于2个装配侧板底端前后两侧，使顶压杆能够平稳的顶压活动顶板上升。
其中，所述第二压缩弹簧、回位挡环对应装配卡杆均设有4个，每个第二压缩弹簧均设于回位挡环内缩端，以保证顶压杆在不受其它外力影响时会被第二压缩弹簧顶出。
其中，所述外扩板为弧形板，外扩板设有16块，每4块外扩板为一组，每组外扩板均可拼接成圆环体，外扩板前后两端均为斜面，使外扩板能够外扩适应不同的装配孔。
其中，所述收纳槽直径比每组外扩板收缩后直径大，收纳槽前后深度比外扩板前后长度长，以保证解锁时外扩板能够随顶压杆内缩至收纳槽内。
工作原理：在用户需要进行掩模板装配台的维护清洁和更换时，用户可通过按压控制头，使控制头带动装配卡杆内缩，而在装配卡杆内缩时，外扩板因为内侧的斜面也会顶压收缩至收纳槽内，在装配卡杆脱离对机座的扣接时，装配侧板会因为第一压缩弹簧的顶压上升，而在装配侧板上升后，活动顶板会因为拉伸弹簧带动顶压垫板下降，使掩模板装配台会脱离装配的稳固，从而使用户能够抽出掩模板装配台进行更换或清洁，便于使用，而在进行掩模板装配台装配时，用户可将掩模板装配台装配于装配侧板间后按下装配侧板，并通过控制头收缩装配卡杆，在装配侧板到达机座内时用户可松开控制头，并按压装配侧板至对应装配位置，在装配成侧板到达装配位置时，装配卡杆会因为第二压缩弹簧的顶压进入对应的装配孔，而在装配卡杆进入装配孔内后，外扩板会因为脱离收纳槽受第三压缩弹簧的力进行外扩，使装配卡杆能够更好的与装配孔进行稳定装配，更好的避免大小偏差的松动，且在装配侧板降至底部时，活动顶板和顶压垫板会因为顶压杆的顶压对掩模板装配台进行顶压稳定，从而使掩模板装配台能够避免上下偏差的松动，便于使用。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (7)
1.一种可分离组装掩模台的光刻机，其特征在于：包括机座(1)、晶圆装配座(2)、光刻机体(3)、机架(4)、显示器(5)、控制器(6)和掩模台(7)，机座(1)顶端右侧固定连接有控制器(6)，晶圆装配座(2)设于机座(1)内，掩模台(7)与机座(1)顶端扣接，掩模台(7)位于晶圆装配座(2)上方，机架(4)一端与控制器(6)顶端后侧固定连接，机架(4)另一端与光刻机体(3)后端固定连接，光刻机体(3)位于掩模台(7)正上方；
掩模台(7)包括第一压缩弹簧(a)、装配侧板(b)、控制头(c)、掩模板装配台(d)和侧板连杆(e)，掩模板装配台(d)左右两端均扣接有装配侧板(b)，装配侧板(b)与侧板连杆(e)固定连接，控制头(c)设于装配侧板(b)顶端，装配侧板(b)底端前后两侧均固定连接有第一压缩弹簧(a)；
装配侧板(b)包括装配卡杆(b1)、侧板主体(b2)、顶压杆(b3)、拉伸弹簧(b4)、活动顶板(b5)和顶压垫板(b6)，侧板主体(b2)前后两端均镶嵌设有装配卡杆(b1)，装配卡杆(b1)一端贯穿侧板主体(b2)顶端与控制头(c)底端固定连接，装配卡杆(b1)另一端贯穿侧板主体(b2)侧端，顶压杆(b3)贯穿侧板主体(b2)底部与活动顶板(b5)底端中部固定连接，活动顶板(b5)顶端胶接有顶压垫板(b6)，拉伸弹簧(b4)套接于顶压杆(b3)上，拉伸弹簧(b4)顶端与活动顶板(b5)固定连接，拉伸弹簧(b4)底端与侧板主体(b2)固定连接；
装配卡杆(b1)包括卡杆主体(b11)、第二压缩弹簧(b12)、回位挡环(b13)、收纳槽(b14)、外扩板(b15)、第三压缩弹簧(b16)和外扩限位杆(b17)，回位挡环(b13)包覆设于卡杆主体(b11)上，回位挡环(b13)与卡杆主体(b11)固定连接，回位挡环(b13)通过第二压缩弹簧(b12)与侧板主体(b2)内部固定连接，收纳槽(b14)设于侧板主体(b2)前后两端，外扩板(b15)通过外扩限位杆(b17)与卡杆主体(b11)活动连接，外扩限位杆(b17)通过第三压缩弹簧(b16)与卡杆主体(b11)扣接。
2.根据权利要求1所述的一种可分离组装掩模台的光刻机，其特征在于：所述装配侧板(b)为凹字型，装配侧板(b)设有2个，2个装配侧板(b)凹面朝向掩模板装配台(d)装配。
3.根据权利要求1所述的一种可分离组装掩模台的光刻机，其特征在于：所述装配卡杆(b1)对应2个装配侧板(b)设有4个，4个装配卡杆(b1)分别贯穿2个装配侧板(b)上下两端，装配卡杆(b1)贯穿装配侧板(b)端设有外扩板(b15)。
4.根据权利要求1所述的一种可分离组装掩模台的光刻机，其特征在于：所述顶压杆(b3)设有4个，4个顶压杆(b3)分别设于2个装配侧板(b)底端前后两侧。
5.根据权利要求1所述的一种可分离组装掩模台的光刻机，其特征在于：所述第二压缩弹簧(b12)、回位挡环(b13)对应装配卡杆(b1)均设有4个，每个第二压缩弹簧(b12)均设于回位挡环(b13)内缩端。
6.根据权利要求1所述的一种可分离组装掩模台的光刻机，其特征在于：所述外扩板(b15)为弧形板，外扩板(b15)设有16块，每4块外扩板(b15)为一组，每组外扩板(b15)均可拼接成圆环体，外扩板(b15)前后两端均为斜面。
7.根据权利要求1所述的一种可分离组装掩模台的光刻机，其特征在于：所述收纳槽(b14)直径比每组外扩板(b15)收缩后直径大，收纳槽(b14)前后深度比外扩板(b15)前后长度长。
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| CN202021462768.8U CN212276216U (zh) | 2020-07-22 | 2020-07-22 | 一种可分离组装掩模台的光刻机 |
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|---|---|---|---|---|
| CN113960888A (zh) * | 2021-09-16 | 2022-01-21 | 江苏星浪光学仪器有限公司 | 一种用于滤波片的镀膜光刻方法 |
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2020
- 2020-07-22 CN CN202021462768.8U patent/CN212276216U/zh active Active
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