CN212263120U

CN212263120U - 一种高浓度臭氧水制备系统

Info

Publication number: CN212263120U
Application number: CN202020984861.9U
Authority: CN
Inventors: 罗范生
Original assignee: Beijing Tianze Changning Environment Technology Co ltd
Current assignee: Beijing Tianze Changning Environment Technology Co ltd
Priority date: 2020-06-02
Filing date: 2020-06-02
Publication date: 2021-01-01
Anticipated expiration: 2030-06-02

Abstract

本实用新型公开了一种高浓度臭氧水制备系统，其包括冷却单元以及臭氧水制备单元，所述冷却单元包括至少一台冷却机组，所述臭氧水制备单元包括依次设置的预氧化塔、至少一台气液混合泵以及后氧化塔；预氧化塔内部设有热交换器，该热交换器的入水口以及出水口分别与所述至少一台冷却机组的出水口以及入水口相通，所述预氧化塔上分别设有原水入口以及与气液混合泵相通的出水口；气液混合泵的气体入口以及液体出口分别与臭氧源以及后氧化塔的入液口相通；后氧化塔内部设有位于入液口下方的固体催化剂层以及位于该固体催化剂层下方的第二曝气头，并且，所述第二曝气头的入气口与臭氧源相通。具有自动化程度高、处理效率高且能耗低的优势。

Description

一种高浓度臭氧水制备系统

技术领域

本实用新型涉及一种臭氧水、尤其是一种臭氧浓度≥160mg/l的高浓度臭氧水的制备系统，属于臭氧应用技术领域。

背景技术

臭氧(O₃)又称为超氧，是氧气(O₂)的同素异形体。臭氧是一种强氧化剂，它在水中的氧化还原电位为2.07V，仅次于氟(2.5V)，氧化能力高于氯(1.36V)和二氧化氯(1.5V)，能破坏分解细菌的细胞壁，并很快地扩散透进细胞内，氧化分解细菌内部氧化葡萄糖所必须的葡萄糖氧化酶等，也可以直接与细菌、病毒发生作用，破坏细胞、核糖核酸(RNA)，分解脱氧核糖核酸(DNA)、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的代谢和繁殖过程遭到破坏。细菌被臭氧杀死是由细胞膜的断裂所致，这一过程被称为细胞消散，是由于细胞质在水中被粉碎引起的，在消散的条件下细胞不可能再生。应当指出，与次氯酸类消毒剂不同，臭氧的杀菌能力不受pH值变化和氨的影响，其杀菌能力比氯大600-3000倍，它的灭菌、消毒作用几乎是瞬时发生的，在水中臭氧浓度为0.3-2mg/L时，0.5-1min内就可以致死细菌。达到相同灭菌效果(如使大肠杆菌杀灭率达99％)所需臭氧水药剂量仅是氯的0.0048％。此外，臭氧还可以氧化、分解水中的污染物，在水处理中对除嗅味、脱色、杀菌、去除酚、氰、铁、锰和降低COD、BOD等都具有显著的效果。

但是，臭氧在水中不稳定，时刻发生以下强烈的氧化还原反应，产生极活泼的、具有强烈氧化作用的单原子氧(O^-)和羟基自由基(HO^-)；其中，羟基氧化还原电位为2.8V，相当于氟的氧化能力。

O₃→O₂+O^-

O^-+H₂O→2HO^-

2HO^-+O₂→2HO₂

H₂O+O₃══2HO₂

臭氧水是一种具有杀菌效果并含有丰富的氧和各种微量元素的水，能有效地杀灭水中的结核菌、大肠杆菌、淋菌、伤寒杆菌等病毒，是国际上流行的优质饮用水。高浓度臭氧水可广泛应用于乳品、饮料、纯净水、矿泉水、啤酒、水产品、瓜果、肉制品、豆制品等食品生产加工过程中。高浓度臭氧水利用其活性氧极强的氧化能力，可破坏微生物体内的原生质，从而达到灭菌消毒的目的。用高浓度臭氧水进行消毒，常用的方法有喷淋、冲洗、喷雾、浸泡、抹擦等。

根据清华大学《臭氧技术应用文集》，不同的臭氧水浓度可用于不同的消毒目的，例如：对于臭氧溶解度在0.1mg/L～10mg/L的臭氧水，在该范围下，较低浓度值的臭氧水可作为水消毒净化要求的最低浓度，而较高浓度值的臭氧水则可作为“臭氧水消毒剂”可达到的浓度值。而对于自来水臭氧净化，国际常规标准为0.4mg/L的溶解度值，保持4分钟即可，即CT值为1.6。此外，水中余臭氧浓度保持在0.1～0.5mg/L作用5～10min即可达到消毒目的。

臭氧水消毒灭菌是急速的，消毒作用在瞬间发生。对于臭氧水中的臭氧浓度要求一般有：1)当浓度达4mg/L，在1分钟内乙肝病毒灭活率为100％；2)20℃条件下，水中臭氧浓度达0.43mg/L时，可将大肠杆菌100％杀灭，10℃时仅需0.36mg/L即可全部杀灭；3)臭氧浓度为0.25～38mg/L时，仅需几秒或几分钟完全灭活甲型肝炎病毒(HAV)；以及4)矿泉水中臭氧溶解度在0.4～0.5mg/L时，即可满足杀菌保质要求。

由上可知：将臭氧溶于水中可具有良好的杀菌消毒效果，但用于灭活细菌必须具有一定的水中臭氧浓度(最低值为0.1mg/L)，从理论上说，水中臭氧浓度越高灭菌效果越好；特别是对于某些细菌，例如甲型肝炎病毒等，需要高达38mg/，甚至＞38mg/L的臭氧浓度。但高浓度的臭氧水已经超出了臭氧在水中的溶解度；若想获得超过10mg/L的高浓度臭氧水，采用将臭氧直接通入水中制备的简单工艺是无法实现的。

现有技术中，CN1689980A公开了一种高效制备臭氧水的方法，其是将空气冷却干燥后作气源，由空压机压缩松经沸石分子筛，通过变压吸附，从空气中制取高浓度富氧气，高浓度富氧气直接送臭氧发生器，由臭氧发生器制造出高浓度臭氧，臭氧臭氧发生器送出的高浓度臭氧再送入气液混合器，高浓度臭氧和水在气液混合器里充分混合制备臭氧水。由该方法制得的臭氧浓度以及臭氧水浓度分别为3-8ppm以及2.0ppm，由于制得的臭氧水浓度太低，而导致其不具备实用价值。

CN102946982A公开了一种高浓度臭氧水的制造方法以及高浓度臭氧水的制造装置，在该装置中，高压浓缩臭氧其他供给系统与臭氧气体溶解部(4)相连通连接，高压浓缩臭氧气体供给系统具有：臭氧气体浓缩部(1)，其用于生成臭氧气体；臭氧气体浓缩部(2)，其用于浓缩所生成的臭氧气体；浓缩臭氧气体加压部(3)，其用于使从臭氧气体浓缩部(2)导出的浓缩臭氧气体的压力升高；冷却机构(4)，其用于冷却浓缩臭氧气体加压不(3)；通过使高压浓缩臭氧气体溶解于纯水来形成高浓度臭氧水。在臭氧水的制备过程中，其使用了“浓缩”、“加压”和“冷却”等技术，除了臭氧还需加入氮气、二氧化碳，技术复杂、制造困难、成本高昂；因此，仅适用于“半导体、液晶显示器等的精密电子元件或通常的工业元件进行清洗，……”等昂贵的应用领域。

综上所述，传统的消毒液含有化学成分，长期使用对人有害并且污染环境。臭氧水安全、高效，不污染环境，被认为是取代传统消毒方法的最佳方案。在世界频遭瘟疫袭击的今天，对高浓度臭氧、高浓度臭氧水的研究，以及相关设备(系统)和相关应用方法的研究具有重要的现实性和迫切性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种制备过程简单且高效、成本相对较低的高浓度臭氧水的制备系统。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种高浓度臭氧水制备系统，其包括冷却单元以及臭氧水制备单元，其中，所述冷却单元包括至少一台冷却机组，所述臭氧水制备单元包括依次设置的预氧化塔、至少一台气液混合泵以及后氧化塔；所述预氧化塔内部设有热交换器，该热交换器的入水口以及出水口分别与所述至少一台冷却机组的出水口以及入水口相通，所述预氧化塔的上部以及底部还分别设有原水入口以及与气液混合泵相通的出水口；所述气液混合泵的气体入口以及液体出口分别与臭氧源以及后氧化塔的入液口相通；所述后氧化塔内部设有位于入液口下方的固体催化剂层以及位于该固体催化剂层下方的第二曝气头，并且，所述第二曝气头的入气口与臭氧源相通。

进一步地：所述预氧化塔内部的热交换器下方还设有第一曝气头，所述第一曝气头的入气口与后氧化塔的尾气出口相通。

进一步地：还包括臭氧单元，其中，所述臭氧单元包括至少一台臭氧机组，该臭氧机组的入气口与氧气源相通，其臭氧出口分别与气液混合泵的气体入口以及后氧化塔内的第二曝气头的入气口相通；并且，所述至少一台臭氧机组的冷却水入口以及冷却水出口分别与冷却单元中的至少一台冷却机组的出水口以及入水口相通。

进一步地：所述臭氧单元可提供压力为0.2～0.3MPa、浓度为250～350mg/l的臭氧。

进一步度：还包括气源单元，所述气源单元包括至少一台制氧机组，该制氧机组的氧气出口与臭氧机组的入气口相通。

进一步地：所述预氧化塔的排气口经由臭氧毁灭器与所述制氧机组的臭氧入口相通，以将预氧化塔中排出的尾气中的氧气回用于制氧机组中。

进一步地：所述气源单元提供纯度为97％以上的纯氧。

进一步地：所述后氧化塔的出水口还与气液混合泵的液体入口或者与预氧化塔内的热交换器的入水口相通。

进一步地：所述预氧化塔的原水入口的前端设置有原水过滤器。

进一步地：所述高浓度臭氧水制备系统还包括与各处理单元控制连接的PLC控制单元，以控制各单元的自动运行。

本实用新型的有益效果在于，本实用新型的臭氧水制备系统，自动化程度高、处理效率高且能耗低，可精确、稳定地制得浓度高于160mg/l的高浓度臭氧水，填补了国内在该领域的空白；可广泛应用于医院、养殖场、公共场所的杀菌、消毒、除臭，以及半导体工业、环保、农业等领域的消毒工作。

附图说明

图1示出了本实用新型所述的高浓度臭氧水制备系统的结构示意图；

图2示出了本实用新型所述的高浓度臭氧水制备系统的控制连接示意图；

图3根据本实用新型的一实施方式，示出了本实用新型所述的高浓度臭氧水制备系统中的气源单元、臭氧单元以及冷却单元的结构示意图；

图4根据本实用新型的一实施方式，示出了一种大型固定式高浓度臭氧水制备系统的应用；以及

图5根据本实用新型的另一实施方式，示出了一种移动式高浓度臭氧水制备系统的应用。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做进一步说明。

如图1-图3所示，本实用新型所述的高浓度臭氧水制备系统包括冷却单元3以及臭氧水制备单元5，其中，所述冷却单元3包括至少一台制冷温度调节范围为3-20℃的冷却机组301，在本实用新型中，所述冷却机组301采用内循环方式，并可通过补水口定期补充去离子水。

所述臭氧水制备单元5包括依次设置的预氧化塔51、气液混合泵52以及后氧化塔53，其中，所述预氧化塔51上部的原水入口510与外界原水，即，去离子水相通，进一步地，所述预氧化塔51的原水入口510的前端还设有原水过滤器55，以对进入预氧化塔51中的原水优选去离子水先进行过滤处理，以去除原水中可能存在的颗粒物和/或杂质。所述预氧化塔51的内部设有热交换器511，所述热交换器511的进水端以及出水端分别与冷却机组31的出水口以及入水口相通，所述预氧化塔51的底部还设有与气液混合泵52的液体入口521相通的出水口513。

所述气液混合泵52的气体入口522与外部臭氧源相通，以使得经预氧化塔51冷却后的原水以及臭氧源送入的高浓度臭氧在气液混合泵52内经高速旋转形成臭氧水，且该臭氧水经由气液混合泵52的液体出口523被送入后氧化塔53中。

在本实用新型中，所述气液混合泵52可以多台串联设置，例如。图1中示出了两台气液混合泵52串联使用的场景，以在相同液体流量时使气液混合比增加。

所述后氧化塔53内部设有固体催化剂层531以及位于固体催化剂层531下方的第二曝气头532，所述第二曝气头532的入气口5321与外部臭氧源相通。在本实用新型中，所述固体催化剂层531可采用含二氧化锰的陶瓷颗粒。气液混合泵52送来的臭氧水经由后氧化塔53上部的入液口530进入后氧化塔53中，并从上至下通过固体催化剂层531，与此同时，来自外部臭氧源的高浓度臭氧经第二曝气头532进入后氧化塔53中，并至下而上与经气液混合泵52送来的臭氧水形成逆向接触，从而在高浓度臭氧和催化剂的共同作用下形成高浓度臭氧水，经检验合格且浓度达到所需浓度后的高浓度臭氧水可经位于后氧化塔53底部的出水口533送出。当经检测后，臭氧水浓度不能达到所需的浓度，例如在开机阶段时，后氧化塔53中的臭氧水可经出水口533旁路返回至气液混合泵52的液体入口521进入到气液混合泵52中；或者，当后氧化塔53中的不符合要求的臭氧水温度过高时，其也可经旁路返回至预氧化塔51中进行换热降温处理。此外，在高温环境和/或远距输送时，可关闭阀门V508、打开阀门V509，通过外部，经第二曝气头532向后氧化塔53中注入臭氧稳定剂，如二氧化碳气体等。

进一步地，所述后氧化塔53中产生的一次尾气可经后氧化塔53顶部的尾气出口534送入到预氧化塔51中。具体地，所述预氧化塔51中设置有位于热交换器511下方的第一曝气头512，该第一曝气头512的入气口5121与后氧化塔53的尾气出口534相通。从而使得经原水过滤器55进入到预氧化塔51中的原水与来自后氧化塔53的、经第一曝气头512进入的一次尾气逆向相遇，使得一次尾气中的残存臭氧预氧化，形成一次水进入气液混合泵52中。在此过程中，一次尾气中的残存臭氧被充分吸收，大大提高了臭氧的利用率。而此时，预氧化塔51中形成的二次尾气则可通过位于预氧化塔51顶部的排气口515直接送出以供空间消毒使用；或者，预氧化塔51中形成的二次尾气也可经与预氧化塔51的排气口515相通的臭氧毁灭器54处理后回收利用；此外，所述预氧化塔51的排气口515与臭氧毁灭器54之间还设置有安全阀AV501，当预氧化塔51内的压力超标(≥0.3MPa)时，安全阀AV501动作，将塔内压力降至安全值。

根据本实用新型的一优选实施方式，本实用新型所述的高浓度臭氧水制备系统还可包括臭氧单元2，以为臭氧水制备单元3稳定提供出口压力0.2～0.3MPa、250～350mg/l甚至更高浓度的臭氧。具体地，所述臭氧单元2包括至少一台臭氧机组201，其中，所述臭氧机组201的入气口2011与氧气源相通，其臭氧出口2012分别与气液混合泵52的气体入口522以及后氧化塔53内的第二曝气头532的入气口5321相通，以将臭氧机组201中制得的臭氧分别提供到气液混合泵52以及后氧化塔53中。此外，所述臭氧制备过程中所需的冷却水来源也可通过冷却单元3提供，具体地，所述至少一台臭氧机组201的冷却水入口2013以及冷却水出口2014分别与冷却单元3中的至少一台冷却机组31的出水口3011以及入水口3012相连，以向臭氧机组201提供所需的冷却水。为此，在本实用新型中，所述冷却单元3中也可设置两台或更多台冷却机组，以分别向臭氧机组201以及预氧化塔501提供冷却水。

再进一步地，本实用新型的高浓度臭氧水制备系统还可包括气源单元1，所述气源单元1包括能稳定提供纯度为97％以上纯氧的至少一台制氧机组101或是氧气瓶(液氧)供气装置(未示出)，所述制氧机组101经空气入口1011吸入新鲜空气，制备合格后的氧气经氧气出口1012与臭氧机组201的入气口2011相连，以向臭氧机组201中提供制备臭氧所需的氧气。此外，所述制氧机组101还通过臭氧入口1013与预氧化塔51的顶部的排气口515相连，以回收利用预氧化塔51中排出的尾气中的氧气。所述气源单元1还可包括臭氧尾气回收装置(未示出)。

此外，本实用新型所述的高浓度臭氧水制备系统还包括通过相应的控制组件与上述气源单元1、臭氧单元2、冷却单元3以及臭氧水制备单元4控制连接的PLC控制单元5，以控制上述各单元的自动运行。所述控制组件包括但不限于设置于各管路上的控制接口、控制阀如V501-V509、安全阀AV501、流量计FT501-FT502、温度计T501-T502、以及设置于预氧化塔51以及后氧化塔53中的若干个液位传感器L501-L506、压力计P501、臭氧浓度计C501等。上述控制组件为本领域技术人员常用部件，故在此不再一一详细说明。

根据本实用新型的另一方面，还提供了一种利用如上所述的制备系统来制备高浓度臭氧水的方法，其步骤包括：

1)待处理的原水，即去离子水经原水过滤器55过滤后进入到预氧化塔51中并经热交换器511换热冷却至3-20℃；

2)预氧化塔51中经换热降温后的出水进入到气液混合泵52中并在此与浓度为250～350mg/l、压力为0.2-0.3MPa的高浓度臭氧混合形成臭氧浓度为80-120mg/l的二次臭氧水；

3)步骤2)中经气液混合泵52混合后的二次臭氧水被送入到后氧化塔53中，并在塔内自上而下通过固态催化剂531并与经固体催化剂531下方的第二曝气头532送来的浓度为250～350mg/l、压力为0.2-0.3MPa的高浓度臭氧逆向混合，在固体催化剂和高浓度臭氧的双重作用下，进一步提高二次臭氧水中的臭氧浓度，并增加臭氧水中羟基自由基和活性分子团的含量，提升出口臭氧水的氧化性，最终形成浓度高于160mg/l的高浓度臭氧水。

进一步地，步骤3)中形成的含有臭氧的一次尾气可经后氧化塔53顶部的尾气出口534送出，并经设置于热交换器511下方的第一曝气头512进入到预氧化塔51中，一次尾气在塔内自下而上上升的过程中与经热交换器511换热的原水相遇，使得原水吸收一次尾气中的部分臭氧，形成一次臭氧水，而预氧化塔51内形成的含臭氧的二次尾气则可经臭氧毁灭器54处理后回收利用，或直接引出用于空间消毒。

再进一步地，步骤3)中形成的浓度不符合要求的臭氧水则可经旁路返回至气液混合泵52中与臭氧进行气液混合处理；或者，当该不符合要求的臭氧水温度过高时，则可先经旁路返回至预氧化塔51进行换热冷却后再送至气液混合泵52。

更进一步地，本实用新型如上所述高浓度臭氧水的方法，步骤2)以及步骤3)中的高浓度臭氧可通过至少一台臭氧机组201制得，即，本实用新型的臭氧水的制备方法还可包括臭氧的制备步骤，即，通过至少一台臭氧机组201以及与其相连的至少一台制氧机组101以及至少一台冷却机组301的共同作用来制备所需的浓度为250～350mg/l、压力为0.2-0.3MPa的高浓度臭氧。并且，作为优选，预氧化塔51内形成的含臭氧的二次尾气可经臭氧毁灭器54处理后回用到制氧机组101中。

本实用新型如上所述的高浓度臭氧水制备系统及方法，通过模块化设计、集中控制与分散控制相结合的工作机制，采用预氧化、高速机械混合、后氧化/深度催化氧化的三级处理方式，可获得浓度高于160mg/l的高浓度臭氧水，实现高浓度臭氧水的高效、稳定、可控、可调制备。

实施例1

图4示出了将本实用新型的高浓度臭氧水制备系统用于大型固定式喷洒消毒的应用方框图。如图4所示，该系统包括气源单元1、臭氧单元2、冷却单元3、控制单元4、臭氧水制备单元5以及固定式喷洒消毒单元6。

其中，所述固定式喷洒消毒单元6包括若干个串联和/或并联设置的喷头组611-1～611-M、……61N-1～61N-M，其中，N、M为正整数，可根据不同的应用场景来选择恰当数量的喷头组。所述喷头组经由相应的阀门V611～V61N与臭氧水制备单元5的臭氧水出水口533相通，从而在阀门V611～V61N的控制下，将臭氧水制备单元5中制得的高浓度臭氧水经由喷头组喷出以用于喷洒消毒。消毒过程中，可通过控制阀门V611～V61N来控制相应的喷头的启闭以及流量大小，而通过控制臭氧水制备单元5中的臭氧浓度则可达到调节最终用于消毒的臭氧水浓度的作用。此外，如图所示，系统形成的低浓度臭氧尾气还可直接用于室内空间消毒。

实施例2

图5示出了将本实用新型的高浓度臭氧水制备系统用于移动式消毒的应用方框图。如图5所示，该应用包括气源单元1、臭氧单元2、冷却单元3、控制单元4、臭氧水制备单元5以及移动式喷洒消毒单元7。

其中，所述移动式喷洒消毒单元7包括移动式喷洒装置721～72N以及与该移动式喷洒装置相通的喷头721-3～72N-3，其中，N为正整数，其可根据不同的应用场景来确定，以恰当数量的移动式喷洒装置和/或喷头。所述移动式喷洒装置721～72N的补水口721-1～72N-1分别经由相应的阀门V711～V71N与臭氧水制备单元5的臭氧水出水口533相通，从而在阀门V711～V71N的控制下，将臭氧水制备单元5中制得的高浓度臭氧水经由补水口装入到相应的移动式喷洒装置中，并根据需要由相应的喷头将喷洒装置中的高浓度臭氧水用于喷洒消毒。此外，如图所示，系统形成的低浓度臭氧尾气还可直接用于室内空间消毒。

本实用新型已通过优选的实施方式进行了详尽的说明。然而，通过对前文的研读，对各实施方式的变化和增加也是本领域的一般技术人员所显而易见的。申请人的意图是所有这些变化和增加落在了本实用新型权利要求的保护范围中。本文中使用的术语仅为对具体的实施例加以说明，其并非意在对本实用新型进行限制。除非另有定义，本文中使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)均与本实用新型所属领域的一般技术人员的理解相同。任何对此产品进行的修饰与改良，在专利范围或范畴内同类或相近物质的替代与使用，均属于本实用新型专利保护范围。

Claims

1.一种高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：包括冷却单元以及臭氧水制备单元，其中，所述冷却单元包括至少一台冷却机组，所述臭氧水制备单元包括依次设置的预氧化塔、至少一台气液混合泵以及后氧化塔；所述预氧化塔内部设有热交换器，该热交换器的入水口以及出水口分别与所述至少一台冷却机组的出水口以及入水口相通，所述预氧化塔的上部以及底部还分别设有原水入口以及与气液混合泵相通的出水口；所述气液混合泵的气体入口以及液体出口分别与臭氧源以及后氧化塔的入液口相通；所述后氧化塔内部设有位于入液口下方的固体催化剂层以及位于该固体催化剂层下方的第二曝气头，并且，所述第二曝气头的入气口与臭氧源相通。

2.根据权利要求1所述的高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：所述预氧化塔内部的热交换器下方还设有第一曝气头，所述第一曝气头的入气口与后氧化塔的尾气出口相通。

3.根据权利要求2所述的高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：还包括臭氧单元，其中，所述臭氧单元包括至少一台臭氧机组，该臭氧机组的入气口与氧气源相通，其臭氧出口分别与气液混合泵的气体入口以及后氧化塔内的第二曝气头的入气口相通；并且，所述至少一台臭氧机组的冷却水入口以及冷却水出口分别与冷却单元中的至少一台冷却机组的出水口以及入水口相通。

4.根据权利要求3所述的高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：所述臭氧单元可提供压力为0.2～0.3MPa、浓度为250～350mg/l的臭氧。

5.根据权利要求3所述的高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：还包括气源单元，所述气源单元包括至少一台制氧机组，该制氧机组的氧气出口与臭氧机组的入气口相通。

6.根据权利要求5所述的高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：所述预氧化塔的排气口经由臭氧毁灭器与所述制氧机组的臭氧入口相通，以将预氧化塔中排出的尾气中的氧气回用于制氧机组中。

7.根据权利要求5所述的高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：所述气源单元提供纯度为97％以上的纯氧。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：所述后氧化塔的出水口还与气液混合泵的液体入口或者与预氧化塔内的热交换器的入水口相通。

9.根据权利要求1-7中任意一项所述的高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：所述预氧化塔的原水入口的前端设置有原水过滤器。

10.根据权利要求1-7中任意一项所述的高浓度臭氧水制备系统，其特征在于：所述高浓度臭氧水制备系统还包括与各处理单元控制连接的PLC控制单元，以控制各单元的自动运行。