CN212250548U - 一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统，包括磁悬浮分子泵和真空腔室，所述磁悬浮分子泵的进气端通过开关阀与真空腔室连通，所述磁悬浮分子泵的抽真空端口处连接有第一前级泵，所述真空腔室一侧连接有第二前级泵，另一侧还设有放气调节阀，所述磁悬浮分子泵上端的接线端口处连接有控制器，所述控制器连接磁悬浮分子泵内部的电机。本实用新型有益效果：通过测试磁悬浮分子泵内部转子叶片对突入不同压强下的大气承受能力，得到相关的测试数据，为优化转子叶片提供科学依据，以便得到更优的耐大气冲击的磁悬浮分子泵产品，提成产品的竞争力。

Description

一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统

技术领域

本实用新型属于磁悬浮分子泵测试技术领域，尤其是涉及一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统。

背景技术

磁悬浮分子泵的工作原理是基于气体分子的动力现象，分子泵的定子叶片与转子叶片的倾斜方向相反，每一个转子叶片处于两个定子叶片之间，工作时，转子叶片高速旋转，把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口实现抽气。磁悬浮分子泵在工作时，转子叶片是高速旋转的，磁悬浮分子泵的转子叶片基本额定转速在30000rpm以上，另外其转子叶片旋转时所处的环境是真空环境，极限压强基本都在5×10^{- 7}Pa以上。因此，磁悬浮分子泵在工作时，一旦有大气突入至分子泵内，根据不同的大气突入量，会对分子泵造成不同程度的破坏，严重时会造成转子叶片的炸碎。因此测试分子泵转子叶片对突入不同压强下的大气承受能力，得到相关的测试数据，以便能够优化设计，提高转子叶片的性能，从而提高分子泵的性能具有重大意义。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统，以解决上述问题的不足之处。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统，包括磁悬浮分子泵、真空腔室，所述磁悬浮分子泵的进气端通过开关阀与真空腔室连通，所述磁悬浮分子泵的抽真空端口处连接有第一前级泵，所述真空腔室一侧连接有第二前级泵，另一侧还设有放气调节阀，所述磁悬浮分子泵上端的接线端口处连接有控制器，所述控制器连接磁悬浮分子泵内部的电机。

进一步的，在所述磁悬浮分子泵的腔体外侧和真空腔室一侧分别连接有第二真空计、第一真空计。

进一步的，所述开关阀为插板阀。

相对于现有技术，本实用新型所述的磁悬浮分子泵大气突入测试系统具有以下优势：

本实用新型所述的磁悬浮分子泵大气突入测试系统通过测试磁悬浮分子泵内部转子叶片对突入不同压强下的大气承受能力，得到相关的测试数据，为优化转子叶片提供科学依据，以便得到更优的耐大气冲击的磁悬浮分子泵产品，提成产品的竞争力。

附图说明

构成本实用新型的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型实施例所述的磁悬浮分子泵大气突入测试系统结构示意图。

附图标记说明：

1-磁悬浮分子泵；2-插板阀；3-真空腔室；4-第一前级泵；5-第二前级泵；6-第一真空计；7-第二真空计；8-放气调节阀；9-接线端口。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。

如图1所示，一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统，包括磁悬浮分子泵1、真空腔室3，所述磁悬浮分子泵1的进气端通过开关阀与真空腔室3连通，所述磁悬浮分子泵1的抽真空端口处连接有第一前级泵4，所述真空腔室3一侧连接有第二前级泵5，另一侧还设有放气调节阀8，所述磁悬浮分子泵1上端的接线端口9处连接有控制器，所述控制器连接磁悬浮分子泵1内部的电机，电机输出端连接有转子叶片，通过控制器控制磁悬浮分子泵内部转子叶片处于悬浮状态，驱动电机带动转子叶片进行旋转，同时检测转子叶片的实时转速。

在所述磁悬浮分子泵1的腔体外侧和真空腔室3一侧分别连接有第二真空计7、第一真空计6。

所述开关阀为插板阀2。

本实施例的工作过程如下：

首相将插板阀2处于关闭状态，隔离磁悬浮分子泵1与真空腔室3两个空间；分别运转第一前级泵4和第二前级泵5，对磁悬浮分子泵1和真空腔室3进行抽真空，运转磁悬浮分子泵1以致达到所需的转数；分别观察第一真空计6和第二真空计7的压强读数至我们所需要的压强下。另外真空腔室3的压强也可以用放气调节阀8微调其内部真空度，在这样情况下，迅速打开插板阀2，使真空腔室3的气体瞬间突入至磁悬浮分子泵1内，以便实现大气突入试验。这样我们就能够通过外接控制器监测到在大气突入时，磁悬浮分子泵1内部的转子叶片的运动情况，以便得到所需的测试数据。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统，其特征在于：包括磁悬浮分子泵和真空腔室，所述磁悬浮分子泵的进气端通过开关阀与真空腔室连通，所述磁悬浮分子泵的抽真空端口处连接有第一前级泵，所述真空腔室一侧连接有第二前级泵，另一侧还设有放气调节阀，所述磁悬浮分子泵上端的接线端口处连接有控制器，所述控制器连接磁悬浮分子泵内部的电机。

2.根据权利要求1所述的一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统，其特征在于：在所述磁悬浮分子泵的腔体外侧和真空腔室一侧分别连接有第二真空计、第一真空计。

3.根据权利要求1所述的一种磁悬浮分子泵大气突入测试系统，其特征在于：所述开关阀为插板阀。

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