CN212247191U - 真空镀膜机的自动快速放气装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了真空镀膜机的自动快速放气装置，包括真空镀膜机以及设置在真空镀膜机右侧的缓冲气室，所述真空镀膜机的内部设置有真空室，真空室的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道，缓冲气道靠近真空室的侧壁上开设有密集排列分布的放气口，且放气口与真空室连通；缓冲气室的内部安装有横向设置的静电除尘器以及孔板，且孔板位于静电除尘器的上方，孔板上成型有密集排列分布的锥形孔；本实用新型采用密集排列分布的放气口向真空室内放气，有利于往真空室均匀、快速地充气，避免气流在真空室内分布不均；外界气体经过在缓冲气室内缓冲，减缓气体流动，并且被静电除尘器以及孔板配合进行除尘过滤，有效防止灰尘进入真空室内。

Description

真空镀膜机的自动快速放气装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，尤其是涉及真空镀膜机的自动快速放气装置。

背景技术

真空镀膜机工作时：先抽真空，使真空室处于真空状态，再通过电子枪束流对真空室底部坩埚内的镀膜材料(简称膜料)加热；膜料在加热到一定的温度后，膜料分子会产生挥发，挥发出的膜料分子沉积在真空室顶部的产品表面形成薄膜。当镀膜机镀膜完成后，为将其中的产品取出，会首先向真空室内放入大气。现有的放气结构，缺乏过滤，容易把外界空气中的灰尘带入到真空室；另外，由于放气太快真空室内会形成一股回旋气流，也容易真空室内的粉尘刮起来，进而被刚镀完膜的产品吸附，形成永久性的不良。

实用新型内容

本实用新型为克服上述情况不足，旨在提供一种能解决上述问题的技术方案。

真空镀膜机的自动快速放气装置，包括真空镀膜机以及设置在真空镀膜机右侧的缓冲气室，所述真空镀膜机的内部设置有真空室，真空室的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道，缓冲气道靠近真空室的侧壁上开设有密集排列分布的放气口，且放气口与真空室连通；缓冲气室的内部安装有横向设置的静电除尘器以及孔板，且孔板位于静电除尘器的上方，孔板上成型有密集排列分布的锥形孔。

作为本实用新型进一步的方案：所述缓冲气室的右侧管路连接有与外部气源连通的管道，且管道位于静电除尘器的下方。

作为本实用新型进一步的方案：所述管道上分别安装有第一过滤器和气泵，且第一过滤器位于气泵的右侧。

作为本实用新型进一步的方案：所述缓冲气道与缓冲气室之间的顶部管路连接有U形的放气管，放气管上安装有第二过滤器。

作为本实用新型进一步的方案：所述放气管上串联有用于防止气体回流的单向阀。

作为本实用新型进一步的方案：所述锥形孔的形状为类圆锥形状，其孔径从上端至下端逐渐减小。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型采用密集排列分布的放气口向真空室内放气，有利于往真空室均匀、快速地充气，避免气流在真空室内分布不均；外界气体经过在缓冲气室内缓冲，减缓气体流动，并且被静电除尘器以及孔板配合进行除尘过滤，有效防止灰尘进入真空室内。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为真空镀膜机的自动快速放气装置的结构示意图；

图2为真空镀膜机的自动快速放气装置的侧面结构示意图。

图中：1、真空镀膜机，2、缓冲气室，3、真空室，4、缓冲气道，5、放气口，6、静电除尘器，7、孔板，8、锥形孔，9、管道，10、第一过滤器，11、气泵，12、放气管，13、第二过滤器，14、单向阀。

具体实施方式

下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～2，本实用新型实施例中，真空镀膜机的自动快速放气装置，包括真空镀膜机1以及设置在真空镀膜机1右侧的缓冲气室2，所述真空镀膜机1的内部设置有真空室3，真空室3的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道4，缓冲气道4靠近真空室3的侧壁上开设有密集排列分布的放气口5，且放气口5与真空室3连通，采用密集排列分布的放气口5向真空室3内放气，有利于往真空室3均匀、快速地充气，避免气流在真空室3内分布不均；缓冲气室2的内部安装有横向设置的静电除尘器6以及孔板7，且孔板7位于静电除尘器6的上方，孔板7上成型有密集排列分布的锥形孔8，外界气体首先在缓冲气室2内缓冲，避免气流直接进入真空室3而形成一股回旋气流，并且被静电除尘器6以及孔板7配合进行除尘过滤，有效防止灰尘进入真空室3内。

所述缓冲气室2的右侧管路连接有与外部气源连通的管道9，且管道9位于静电除尘器6的下方；管道9上分别安装有第一过滤器10和气泵11，外部气源首先经过第一过滤器10进行第一次过滤，且第一过滤器10位于气泵11的右侧能有效保护气泵11。

所述缓冲气道4与缓冲气室2之间的顶部管路连接有U形的放气管12，放气管12上安装有第二过滤器13，放气管12上串联有用于防止气体回流的单向阀14，在气体进入缓冲气道4前经过第二过滤器13进行第二次过滤，提高进入真空室3内的气体的洁净度。

所述锥形孔8的形状为类圆锥形状，其孔径从上端至下端逐渐减小；锥形孔8的小孔径的一端靠近静电除尘器6，锥形孔8的大孔径的一端靠近放气管12，有效防止尘埃颗粒的回流。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。

Claims (6)

1.真空镀膜机的自动快速放气装置，包括真空镀膜机以及设置在真空镀膜机右侧的缓冲气室，其特征在于，所述真空镀膜机的内部设置有真空室，真空室的侧壁上设置有前后对称分布的缓冲气道，缓冲气道靠近真空室的侧壁上开设有密集排列分布的放气口，且放气口与真空室连通；缓冲气室的内部安装有横向设置的静电除尘器以及孔板，且孔板位于静电除尘器的上方，孔板上成型有密集排列分布的锥形孔。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述缓冲气室的右侧管路连接有与外部气源连通的管道，且管道位于静电除尘器的下方。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述管道上分别安装有第一过滤器和气泵，且第一过滤器位于气泵的右侧。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述缓冲气道与缓冲气室之间的顶部管路连接有U形的放气管，放气管上安装有第二过滤器。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述放气管上串联有用于防止气体回流的单向阀。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机的自动快速放气装置，其特征在于，所述锥形孔的形状为类圆锥形状，其孔径从上端至下端逐渐减小。

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