CN212221673U - 一种半导体生产抽样检测抓取机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体生产抽样检测抓取机构，涉及半导体生产检测技术领域，包括与机械臂相连接的基板，且基板上开设有与外界抽真空装置相连接的抽真空口，基板上还开设有吸附孔，且抽真空口与吸附孔之间通过开设在基板内的通道相连通，吸附孔内固定有连接管，且连接管的底部安装有吸盘，吸盘的竖截面呈梯形且为橡胶材质制成，连接管上设置有调节组件，且调节组件以转动的方式调节吸盘与半导体之间的接触面积；本实用新型调节组件以转动的方式，使得固定环能够沿吸盘的表面进行移动，由于固定环的内径不变，这样，就使得固定环可以迫使吸盘的底端开口进行大小改变，以实现对不同大小的半导体进行吸附，操作简单，便于调节。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产检测技术领域，具体为一种半导体生产抽样检测抓取机构。
背景技术
半导体行业的IGBT领域通常会使用超薄晶圆，对于特定耐压指标的IGBT器件，芯片厚度需要减薄到100-200μm，甚至到80μm，当晶圆加工完成后，需要求晶圆进行抽样抓取进行检测。
现有的抓取装置基本上都是通过机械臂带动硬质的真空吸盘对晶圆进行抓取，但是，这种方式不仅有可能损坏晶圆，真空吸盘两端开口大小的固定设置，还使得不能够对不同大小的晶圆进行抓取，为此，需要进行改进。
实用新型内容
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体生产抽样检测抓取机构，解决了背景技术中提到的问题。
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种半导体生产抽样检测抓取机构，包括与机械臂相连接的基板，且基板上开设有与外界抽真空装置相连接的抽真空口，所述基板上还开设有吸附孔，且抽真空口与吸附孔之间通过开设在基板内的通道相连通；
所述吸附孔内固定有连接管，且连接管的底部安装有吸盘，所述吸盘的竖截面呈梯形且为橡胶材质制成，所述连接管上设置有调节组件，且调节组件以转动的方式调节吸盘与半导体之间的接触面积，以实现吸盘能够适用不同大小的半导体。
优选的，所述连接管通过胶水粘接在吸附孔内。
优选的，所述调节组件包括：
外螺纹，所述外螺纹开设在连接管位于吸附孔外的表面上，且外螺纹在连接管上开设的长度小于吸盘的高度；
螺套，所述螺套螺合在连接管的外螺纹上；
连接杆，所述连接杆固定在螺套的底部；
固定环，所述固定环固定在连接杆的底端，且固定环套在吸盘靠近其顶端的外表面。
优选的，所述吸盘的表面固定有挡块，且挡块位于固定环的下方。
本实用新型与现有技术相比具备以下有益效果：调节组件以转动的方式，使得固定环能够沿吸盘的表面进行移动，由于固定环的内径不变，这样，就使得固定环可以迫使吸盘的底端开口进行大小改变，以实现对不同大小的半导体进行吸附，操作简单，便于调节。
附图说明
图1为本实用新型基板的俯视图；
图2为本实用新型基板侧视图的局部剖视图；
图3为本实用新型图2中A处放大图；
图4为本实用新型固定环的俯视图；
图5为本实用新型螺套俯视图的局部剖视图。
图中：1、基板；2、抽真空口；3、吸附孔；4、通道；5、连接管；6、吸盘；7、外螺纹；8、螺套；9、连接杆；10、固定环；11、挡块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体生产抽样检测抓取机构，包括与机械臂相连接的基板1，且基板1上开设有与外界抽真空装置(抽真空装置包括：压缩机、过滤减速法、电磁阀、真空发生器和过滤器组成，由于抽真空装置为现有技术，故在本实用新型中不做过多解释)相连接的抽真空口2，基板1上还开设有吸附孔3，且抽真空口2与吸附孔3之间通过开设在基板1内的通道4相连通；
吸附孔3内固定有连接管5，且连接管5的底部安装有吸盘6，连接管5通过胶水粘接在吸附孔3内，便于后期对吸盘6的拆卸于维修，吸盘6的竖截面呈梯形且为橡胶材质制成，连接管5上设置有调节组件，且调节组件以转动的方式调节吸盘6与半导体之间的接触面积，以实现吸盘6能够适用不同大小的半导体。
调节组件包括：开设在连接管5位于吸附孔3外表面上的外螺纹7，且外螺纹7在连接管5上开设的长度小于吸盘6的高度，螺合在连接管5外螺纹7上的螺套8，固定在螺套8底部的连接杆9，螺套8由于是转动的方式，使得吸盘6在挤压的过程中，底部一致保持齐平，不影响吸盘6的正常工作，操作简单，实用性高，固定在连接杆9底端的固定环10，且固定环10套在吸盘靠近其顶端的外表面。
吸盘6的表面固定有挡块11，且挡块11位于固定环10的下方，防止固定环10一直下移脱离吸盘6。
工作时，吸盘6位于晶圆的上方，抽真空装置启动，使得吸盘6能够对晶圆进行吸附，橡胶制成的吸盘6，能够防止在吸附时损坏晶圆，需要调小吸盘6底端开口时，逆时针转动螺套8，螺套8会通过与外螺纹7的配合，以及连接杆9的带动，使固定环10下移，挤压橡胶制品的吸盘6表面向内移动，这样，就使得吸盘6底端的开口变小，且调节到合适的大小后，停止转动螺套8，就实现调后即锁，这样就使得吸盘6能够使用不同大小的晶圆。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种半导体生产抽样检测抓取机构，包括与机械臂相连接的基板(1)，且基板(1)上开设有与外界抽真空装置相连接的抽真空口(2)，所述基板(1)上还开设有吸附孔(3)，且抽真空口(2)与吸附孔(3)之间通过开设在基板(1)内的通道(4)相连通，其特征在于：
所述吸附孔(3)内固定有连接管(5)，且连接管(5)的底部安装有吸盘(6)，所述吸盘(6)的竖截面呈梯形且为橡胶材质制成，所述连接管(5)上设置有调节组件，且调节组件以转动的方式调节吸盘(6)与半导体之间的接触面积，以实现吸盘(6)能够适用不同大小的半导体。
2.根据权利要求1所述的一种半导体生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述连接管(5)通过胶水粘接在吸附孔(3)内。
3.根据权利要求1所述的一种半导体生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述调节组件包括：
外螺纹(7)，所述外螺纹(7)开设在连接管(5)位于吸附孔(3)外的表面上，且外螺纹(7)在连接管(5)上开设的长度小于吸盘(6)的高度；
螺套(8)，所述螺套(8)螺合在连接管(5)的外螺纹(7)上；
连接杆(9)，所述连接杆(9)固定在螺套(8)的底部；
固定环(10)，所述固定环(10)固定在连接杆(9)的底端，且固定环(10)套在吸盘(6)靠近其顶端的外表面。
4.根据权利要求3所述的一种半导体生产抽样检测抓取机构，其特征在于：所述吸盘(6)的表面固定有挡块(11)，且挡块(11)位于固定环(10)的下方。
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| CN117262343A (zh) * | 2023-08-25 | 2023-12-22 | 浙江仕能机电科技有限公司 | 一种具有吸力自适应调节吸盘组件的贴胶机 |
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2020
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| CN117262343B (zh) * | 2023-08-25 | 2024-04-09 | 浙江仕能机电科技有限公司 | 一种具有吸力自适应调节吸盘组件的贴胶机 |
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