CN212199406U - 一种用于镀膜的三级旋转行星结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种用于镀膜的三级旋转行星结构，包括行星主盘、行星机构以及镀膜治具，其中所述行星主盘与主驱动装置相连接并构成传动配合实现所述行星主盘的一级旋转，所述行星机构通过传动机构安装在所述行星主盘上且两者之间通过构成传动配合实现所述行星机构的二级旋转，所述镀膜治具安装在所述行星机构上且两者之间通过传动机构构成传动配合实现所述镀膜治具的三级旋转。本实用新型的优点是：可实现镀膜治具的三级旋转，有效提高搭载在镀膜治具上的产品的镀膜均一性；可实现镀膜治具的旋转角度调整，进一步提高镀膜均一性；结构简单有效且合理，便于后期的检修维护，适于推广。
Description
技术领域
本实用新型涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种用于镀膜的三级旋转行星结构。
背景技术
目前，随着镀膜工艺的发展，在镜片、摄像头、手机壳等产品的镀膜工艺中，对镀膜质量的要求也越来越高。在工业上，通常用真空镀膜设备进行蒸发镀膜以完成基片表面沉积膜层形成保护膜的工作。而在真空蒸发镀膜设备中的主要部件之一是用于搭载待镀膜产品的镀膜治具。
目前，镀膜治具的结构各不同，其在真空镀膜设备内也常常是单级公转或单级公转配合单级自转，这样一来，虽然可通过例如布置镀膜挡板、控制镀膜速率等其他技术手段来保证镀膜的均一性，但随着对镀膜质量要求的提高，其始终存在技术瓶颈无法突破，有时在镀膜治具的使用时还会发生镀膜产品的边缘、棱角处无法完全沉积膜层的情况，直接影响镀膜效果。
发明内容
本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种用于镀膜的三级旋转行星结构，通过传动机构的配置实现镀膜治具在镀膜时的三级旋转，同时使行星机构的轴向角度及镀膜治具的倾斜角度可调，有效提高镀膜均一性。
本实用新型目的实现由以下技术方案完成：
一种用于镀膜的三级旋转行星结构，其特征在于：包括行星主盘、行星机构以及镀膜治具，其中所述行星主盘与主驱动装置相连接并构成传动配合实现所述行星主盘的一级旋转，所述行星机构通过传动机构安装在所述行星主盘上且两者之间通过构成传动配合实现所述行星机构的二级旋转，所述镀膜治具安装在所述行星机构上且两者之间通过传动机构构成传动配合实现所述镀膜治具的三级旋转。
所述行星机构与所述行星主盘之间的所述传动机构包括传动齿轮部、一级齿轮传动部、二级齿轮传动部，其中所述传动齿轮部和所述一级齿轮传动部安装在所述行星主盘的上方，其中所述传动齿轮部布置在所述行星主盘的中心位置且位于所述主驱动装置的外围，所述一级齿轮传动部与所述传动齿轮部相啮合构成传动配合，所述二级齿轮传动部与所述一级齿轮传动部构成传动配合，所述行星机构的三级旋转齿轮固定在所述二级齿轮传动部上且两者之间构成传动配合，从而完成自所述主驱动装置至所述行星机构的动力传递，实现所述行星机构的二级旋转。
所述三级旋转齿轮连接有三级齿轮传动部且两者之间构成传动配合，所述三级齿轮传动部连接所述镀膜治具，实现所述镀膜治具本体的三级旋转。
所述一级齿轮传动部安装在所述行星主盘的上方，所述二级齿轮传动部安装在所述行星主盘的下方。
所述行星主盘上安装有若干行星机构，若干所述行星机构以所述行星主盘的旋转中心为对称中心对称间隔布置在所述行星主盘上。
所述行星机构上安装有若干所述镀膜治具，若干所述镀膜治具以所述行星机构的旋转中心为对称中心对称间隔布置在所述行星机构上。
本实用新型的优点是：可实现镀膜治具的三级旋转，有效提高搭载在镀膜治具上的产品的镀膜均一性；可实现镀膜治具的旋转角度调整，进一步提高镀膜均一性；结构简单有效且合理，便于后期的检修维护，适于推广。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图；
图2为本实用新型的俯视图；
图3为本实用新型中三级旋转齿轮及镀膜治具的细部结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本实用新型特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
如图1-3所示，图中标记1-8分别表示为：行星主盘及法兰1、传动齿轮部2、一级齿轮传动部3、二级齿轮传动部4、三级旋转齿轮5、三级齿轮旋转传动部6、镀膜治具7、行星机构8。
实施例：本实施例中的用于镀膜的三级旋转行星机构用于产品的镀膜工艺中，以提高镀膜均一性。
如图1所示，本实施例中用于镀膜的三级旋转行星机构包括行星主盘及法兰1，该行星主盘及法兰1与主驱动装置（图中未示出）相连接，主驱动装置为设置在行星主盘中心位置的旋转驱动装置，在主驱动装置的驱动下，行星主盘可在真空镀膜室内旋转，而行星主盘的旋转为一级旋转。
结合图1和图2所示，在行星主盘及法兰1的上部安装有传动齿轮部2，该传动齿轮部2可固定在真空镀膜室的腔体上。如图2所示，在传动齿轮部2的圆周方向均匀间隔布置有六组行星机构，六组行星机构以行星主盘的旋转中心为对称中心均匀间隔布置。每组行星分别具有一级齿轮传动部3，一级齿轮传动部安装在行星主盘及法兰1的上方，且每个一级齿轮传动部3的一传动齿轮均与传动齿轮部2外齿轮啮合从而构成传动，即一级齿轮传动部3随着行星主盘的旋转而旋转，传动齿轮部2保持不动，那么各一级齿轮传动部3的传动齿轮均绕与传动齿轮部2旋转且通过相啮合的齿轮构成动力传递，以将主驱动装置所输出的驱动力传递至各个行星机构8上。
结合图1和图3所示，一级齿轮传动部3的下方设置有二级齿轮传动部4，二级齿轮传动部4亦安装在行星主盘及法兰1上且位于下方。二级齿轮传动部4和一级齿轮传动部3之间可通过传动轴的方式传递动力。行星机构8包括三级旋转齿轮5，该三级旋转齿轮5固定在二级齿轮传动部4上，二级齿轮传动部4驱动三级齿轮传动部6实现二级旋转。
如图1所示，三级旋转齿轮5驱动三级齿轮传动部6旋转，而镀膜治具7则与三级齿轮传动部6相传动连接，实现镀膜治具7的三级旋转。
基于上述描述，本实施例中用于镀膜的三级旋转行星机构其包括一个动力源，即设置在行星主盘及法兰1上的主驱动装置，该主驱动装置作为三级旋转的唯一动力源首先直接驱动行星主盘1一级旋转，接着通过传动齿轮部2、一级齿轮传动部3、二级齿轮传动部4传递动力以驱动三级旋转齿轮5二级旋转，再经由三级齿轮传动部6传递动力以驱动镀膜治具7三级旋转。此时，镀膜治具7在镀膜时可处在三个维度同时旋转的状态下，从而提高其镀膜均一性。
此外，如图1所示，由于二级齿轮传动部4和三级旋转齿轮5可采用铰接方式相连接，因此每个行星的轴向角度可调；同样地，镀膜治具7的倾斜角度亦可调，从而在适应不同的镀膜工艺要求的前提下，有效提高镀膜均一性。
本实施例在具体实施时：在行星主盘及法兰1上所设置的行星数量以及在行星机构上所设置的镀膜治具7的数量可根据实际进行调整。
虽然以上实施例已经参照附图对本实用新型目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本实用新型作出各种改进和变换，故在此不一一赘述。
Claims (6)
1.一种用于镀膜的三级旋转行星结构，其特征在于：包括行星主盘、行星机构以及镀膜治具，其中所述行星主盘与主驱动装置相连接并构成传动配合实现所述行星主盘的一级旋转，所述行星机构通过传动机构安装在所述行星主盘上且两者之间通过构成传动配合实现所述行星机构的二级旋转，所述镀膜治具安装在所述行星机构上且两者之间通过传动机构构成传动配合实现所述镀膜治具的三级旋转。
2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的三级旋转行星结构，其特征在于：所述行星机构与所述行星主盘之间的所述传动机构包括传动齿轮部、一级齿轮传动部、二级齿轮传动部，其中所述传动齿轮部和所述一级齿轮传动部安装在所述行星主盘的上方，其中所述传动齿轮部布置在所述行星主盘的中心位置且位于所述主驱动装置的外围，所述一级齿轮传动部与所述传动齿轮部相啮合构成传动配合，所述二级齿轮传动部与所述一级齿轮传动部构成传动配合，所述行星机构的三级旋转齿轮固定在所述二级齿轮传动部上且两者之间构成传动配合，从而完成自所述主驱动装置至所述行星机构的动力传递，实现所述行星机构的二级旋转。
3.根据权利要求2所述的一种用于镀膜的三级旋转行星结构，其特征在于：所述三级旋转齿轮连接有三级齿轮传动部且两者之间构成传动配合，所述三级齿轮传动部连接所述镀膜治具，实现所述镀膜治具本体的三级旋转。
4.根据权利要求2所述的一种用于镀膜的三级旋转行星结构，其特征在于：所述一级齿轮传动部安装在所述行星主盘的上方，所述二级齿轮传动部安装在所述行星主盘的下方。
5.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的三级旋转行星结构，其特征在于：所述行星主盘上安装有若干行星机构，若干所述行星机构以所述行星主盘的旋转中心为对称中心对称间隔布置在所述行星主盘上。
6.根据权利要求1所述的一种用于镀膜的三级旋转行星结构，其特征在于：所述行星机构上安装有若干所述镀膜治具，若干所述镀膜治具以所述行星机构的旋转中心为对称中心对称间隔布置在所述行星机构上。
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