CN212175025U - 一种高级真空镀膜机的冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高级真空镀膜机的冷却装置，包括真空镀膜机本体，真空镀膜机本体外表面连接有若干导热片，若干导热片连接有外壳，真空镀膜机本体上侧连接有空气冷却箱，空气冷却箱设有抽风机，空气冷却箱内设有空气制冷器，空气冷却箱连接有冷却管，外壳底部连接有安装板，安装板底部连接有垫块，安装板和垫块均设有通风口，垫块内安装有电机保护套，电机保护套内安装有电机，电机的动力输出端连接有扇叶，扇叶安装在安装板上，垫块底部两侧连接有减震装置，减震装置包括安装套，安装套呈中空结构设置，安装套内安装有弹簧，弹簧的自由端连接有压块，压块底部连接有支撑柱，支撑柱贯穿安装套底部并延伸至其下侧，支撑柱连接有脚垫。

Description

一种高级真空镀膜机的冷却装置

技术领域

本实用新型属于冷却装置技术领域，具体涉及一种高级真空镀膜机的冷却装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，现有的真空镀膜机冷却速度慢，冷却不及时，容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，并且现有的真空镀膜机没有减震效果，容易因震动而导致内部原料受损。

实用新型内容

针对上述背景技术所提出的问题，本实用新型的目的是：旨在提供一种高级真空镀膜机的冷却装置。为实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种高级真空镀膜机的冷却装置，包括真空镀膜机本体，所述真空镀膜机本体外表面连接有若干导热片，所述两个相邻导热片之间间距相等，所述两个相邻导热片之间形成散热孔，所述若干导热片连接有外壳，所述真空镀膜机本体上侧连接有空气冷却箱，所述空气冷却箱设有抽风机，所述空气冷却箱内设有空气制冷器，所述空气冷却箱连接有冷却管，所述导热片设有若干安装孔，所述冷却管安装在安装孔内，所述外壳底部连接有安装板，所述安装板底部连接有垫块，所述安装板和垫块均设有通风口，所述垫块内安装有电机保护套，所述电机保护套内安装有电机，所述电机的动力输出端连接有扇叶，所述扇叶安装在安装板上，所述垫块底部两侧连接有减震装置，所述减震装置包括安装套，所述安装套呈中空结构设置，所述安装套内安装有弹簧，所述弹簧的自由端连接有压块，所述压块底部连接有支撑柱，所述支撑柱贯穿安装套底部并延伸至其下侧，所述支撑柱连接有脚垫。

进一步限定，所述冷却管呈螺旋状设置。这样的结构设计使冷却效果更佳。

进一步限定，所述通风口为直径2~3mm。这样的结构设计使通风效果更好。

进一步限定，所述脚垫为橡胶减震脚垫，所述脚垫底部设有X形防滑纹路。这样的结构设计使脚垫具有防滑减震的效果。

进一步限定，所述导热片与真空镀膜机本体和外壳的连接处设有导热性良好的硅脂，所述导热片与真空镀膜机本体和外壳通过硅脂连接固定。这样的结构设计使导热效果更好，并且连接稳定。

本实用新型具有以下优点：

1、本实用新型通过设置空气冷却箱，过控制抽风机，使抽风机将外部的空气吸进空气冷却箱内，在通过内部的空气制冷器将空气快速的制冷，使制冷后的空气流进冷却管内，冷空气在冷却管内流动将真空镀膜机本体工作时产生的带走，并从底部流出，同时启动电机，使电机带动扇叶进行旋转，使得带出热量的空气通过散热孔从顶部排出，经过空气的吹动使得真空镀膜机本体进一步的降温，使得冷却效果好；

2、本实用新型通过设置减震装置，在发生震动时，通过减震装置能够进行快速的减震，使真空镀膜机本体工作平稳。

附图说明

本实用新型可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；

图1为本实用新型实施例一种高级真空镀膜机的冷却装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例一种高级真空镀膜机的冷却装置的剖面结构示意图；

图3为本实用新型实施例一种高级真空镀膜机的冷却装置的冷却管结构示意图；

主要元件符号说明如下：

真空镀膜机本体1、导热片2、散热孔3、外壳4、空气冷却箱5、冷却管6、安装板7、垫块8、电机保护套9、电机10、扇叶11、减震装置12、安装套13、弹簧14、压块15、支撑柱16、脚垫17。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型，下面结合附图和实施例对本实用新型技术方案进一步说明。

如图1-3所示，本实用新型的一种高级真空镀膜机的冷却装置，真空镀膜机本体1外表面连接有若干导热片2，两个相邻导热片2之间间距相等，两个相邻导热片2之间形成散热孔3，若干导热片2连接有外壳4，真空镀膜机本体1上侧连接有空气冷却箱5，空气冷却箱5设有抽风机，空气冷却箱5内设有空气制冷器，空气冷却箱5连接有冷却管6，导热片2设有若干安装孔，冷却管6安装在安装孔内，外壳4底部连接有安装板7，安装板7底部连接有垫块8，安装板7和垫块8均设有通风口，垫块8内安装有电机保护套9，电机保护套9内安装有电机10，电机10的动力输出端连接有扇叶11，扇叶11安装在安装板7上，垫块8底部两侧连接有减震装置12，减震装置12包括安装套13，安装套13呈中空结构设置，安装套13内安装有弹簧14，弹簧14的自由端连接有压块15，压块15底部连接有支撑柱16，支撑柱16贯穿安装套13底部并延伸至其下侧，支撑柱16连接有脚垫17。

使用时，通过控制抽风机，使抽风机将外部的空气吸进空气冷却箱5内，在通过内部的空气制冷器将空气快速的制冷，使制冷后的空气流进冷却管6内，冷空气在冷却管6内流动将真空镀膜机本体1工作时产生的带走，并从底部流出，同时启动电机10，使电机10带动扇叶11进行旋转，使得带出热量的空气通过散热孔3从顶部排出，经过空气的吹动使得真空镀膜机本体1进一步的降温，当真空镀膜机本体1发生震动时，通过脚垫17推动支撑柱16，支撑柱16推动压块15，压块15对弹簧进行挤压，并进行减震处理。

优选冷却管6呈螺旋状设置。这样的结构设计使冷却效果更佳。实际上，也可以根据具体情况考虑使用冷却管6其他的结构形状。

优选通风口为直径2~3mm。这样的结构设计使通风效果更好。实际上，也可以根据具体情况考虑使用通风口其他的结构形状。

优选脚垫17为橡胶减震脚垫17，脚垫17底部设有X形防滑纹路。这样的结构设计使脚垫17具有防滑减震的效果。实际上，也可以根据具体情况考虑使用脚垫17其他的结构形状。

优选导热片2与真空镀膜机本体1和外壳4的连接处设有导热性良好的硅脂，导热片2与真空镀膜机本体1和外壳4通过硅脂连接固定。这样的结构设计使导热效果更好，并且连接稳定。实际上，也可以根据具体情况考虑使用导热片2其他的结构形状。

上述实施例仅示例性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。

Claims (5)

1.一种高级真空镀膜机的冷却装置，包括真空镀膜机本体（1），其特征在于：所述真空镀膜机本体（1）外表面连接有若干导热片（2），所述两个相邻导热片（2）之间间距相等，所述两个相邻导热片（2）之间形成散热孔（3），所述若干导热片（2）连接有外壳（4），所述真空镀膜机本体（1）上侧连接有空气冷却箱（5），所述空气冷却箱（5）设有抽风机，所述空气冷却箱（5）内设有空气制冷器，所述空气冷却箱（5）连接有冷却管（6），所述导热片（2）设有若干安装孔，所述冷却管（6）安装在安装孔内，所述外壳（4）底部连接有安装板（7），所述安装板（7）底部连接有垫块（8），所述安装板（7）和垫块（8）均设有通风口，所述垫块（8）内安装有电机保护套（9），所述电机保护套（9）内安装有电机（10），所述电机（10）的动力输出端连接有扇叶（11），所述扇叶（11）安装在安装板（7）上，所述垫块（8）底部两侧连接有减震装置（12），所述减震装置（12）包括安装套（13），所述安装套（13）呈中空结构设置，所述安装套（13）内安装有弹簧（14），所述弹簧（14）的自由端连接有压块（15），所述压块（15）底部连接有支撑柱（16），所述支撑柱（16）贯穿安装套（13）底部并延伸至其下侧，所述支撑柱（16）连接有脚垫（17）。

2.根据权利要求1所述的一种高级真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述冷却管（6）呈螺旋状设置。

3.根据权利要求2所述的一种高级真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述通风口为直径2~3mm。

4.根据权利要求3所述的一种高级真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述脚垫（17）为橡胶减震脚垫（17），所述脚垫（17）底部设有X形防滑纹路。

5.根据权利要求4所述的一种高级真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：所述导热片（2）与真空镀膜机本体（1）和外壳（4）的连接处设有导热性良好的硅脂，所述导热片（2）与真空镀膜机本体（1）和外壳（4）通过硅脂连接固定。

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