CN212167469U - 光栅波导微流体芯片 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种光栅波导微流体芯片，包括光栅波导和微流道，所述光栅波导包括出射光栅，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内：还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、保护层和上包层；所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层是二氧化硅材料，用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。

Description

光栅波导微流体芯片

技术领域

本实用新型涉及一种光栅波导微流体芯片，尤其涉及一种光栅波导微流体生物检测芯片。

背景技术

在现代生化分析流程中，高通量检测设备已经被广泛使用。这些设备大多采用基于微流体技术或者微孔阵列的生物芯片，装载在高性能的光学系统中，实现对诸如核酸、蛋白、病毒、细菌、细胞等等不同尺寸的生物样品的分析。这些光学系统的设计通常都基于复杂的几何光学，其体积大、成本高、需要光学准直、维护成本较高。

在精准医疗时代，小型化、高性能、低成本和可移动的集成化分析系统受到很大关注。尤其是lab on chip的概念，经过几十年的发展，基于微流体技术对生物样品的操控方面取得了长足的进步，但真正的lab on chip系统仍然缺少一种微纳尺度下的高通量生物样品的芯片级的片上光学检测和分析集成系统。

实用新型内容

为解决目前现代生化分析仪器体积庞大、成本高和满足精准医疗时代所需求的仪器小型化、可移动和集成化等一系列新的需求。本实用新型通过集成电路量产工艺来生产这种芯片级光学检测和分析系统，将传统光学系统的功能通过集成光学或片上光学器件来实现，不仅可以把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，而且还保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。

本实用新型提供一种光栅波导微流体芯片，包括：光栅波导和微流道，所述光栅波导包括出射光栅，其特征在于，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内：

还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、保护层和上包层；所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层是二氧化硅材料，用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；

所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；

所述下包层是厚度为2～3μm的二氧化硅，所述上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道宽度为10-100μm。

优选地，若干个所述光栅波导相互平行，以将光导入所述微流道，所述光栅波导的宽度为300-600nm。

优选地，所述波导层的折射率为1.75-2.2。

优选地，所述波导层厚度为150nm-1000nm。

优选地，还包括氮化硅材料的入射光栅，以与所述光栅波导形成耦合光栅波导，将所述上包层上方的光导入所述光栅波导直至沿垂直方向向上导入所述微流道；所述保护层覆盖并保护所述入射光栅。

优选地，包括若干个相互平行的所述耦合光栅波导。

优选地，所述波导层厚度为150nm-1000nm，所述耦合光栅波导的宽度为300-600nm。

优选地，还包括光纤，所述光纤与所述光栅波导光连接。

优选地，所述衬底是硅衬底。

优选地，所述高分子聚合材料是SU-8树脂、聚酰亚胺、聚二甲基硅烷、聚乙烯或苯丙环丁烯。

本实用新型提供一种光栅波导微流体芯片，具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。

附图说明

附图1a～d是本实用新型光栅波导微流体芯片的制造流程；

附图2a～d是本实用新型耦合光栅波导微流体芯片的制造流程；(图1图2 12的颜色不一样)

附图3是图1d或图2d的俯视图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细说明。

在附图中，为了描述方便，层和区域的尺寸比例并非实际比例。当层(或膜)被称为在另一层或衬底“上”时，它可以直接在另一层或衬底上，或者也可以存在中间层。此外，当一层被称为在另一层“下”时，它可以直接在下面，并且也可以存在一个或多个中间层。另外，当层被称为在两个层之间时，它可以是两个层之间的唯一层，或者也可以存在一个或多个中间层。相同的附图标记始终表示相同的元件。另外，当两个部件之间称为“连接”时，包括物理连接，除非说明书明确限定，此种物理连接包括但不限于电连接、接触连接、无线信号连接。

本实用新型专利提出垂直光栅波导与微流体通道一体化模块方案，快速构建微纳尺度下的高通量生物样品的芯片级的片上光学检测芯片。其中，垂直光栅波导是指将光沿垂直方向向上导入微流道的光栅波导。

本实用新型提供一种光栅波导微流体芯片，如图1～3所示，包括：光栅波导1311、1312…131n和微流道2，所述光栅波导1311、1312…131n包括出射光栅1310，所述出射光栅1310位于所述微流道2下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道2内，为不同的复杂集成结构提供新的设计方案和思路，可以设计不同出射方向的出射光栅，增加了检测手段的灵活性,需要说明的是，上文中“将光沿垂直方向向上”可以是严格地垂直向上，也可以是斜向上，本实用新型在此不做限制.

还包括：依次由下而上设置的衬底11、下包层141、波导层13、保护层12和上包层142，所述波导层13是氮化硅材料，所述波导层13用以形成所述光栅波导1311；所述保护层12是二氧化硅材料，具有透光性，用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；

所述微流道2贯穿所述上包层142以暴露出所述保护层12；

所述下包层141是厚度为2～3μm的二氧化硅，所述上包层14是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道2宽度为10-100μm；将传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，而且还保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品检测的高通量芯片，大幅度降低系统成本。

其中根据引进光栅波导组131的光源方向不同，如：图1d是从光栅波导组131左端的光纤(未示出)引入光源、而图2d是从上包层142上方引入光源，做分别介绍。

下面介绍图1d，即从光栅波导组131左端的光纤(未示出)引入光源的本光栅波导微流体芯片：

如图1d和图3所示，一个微流体上的光栅波导组131包括若干个，如n个，相互平行的光栅波导1311、1312…131n，以将光垂直方向向上导入所述微流道2，在实际检测中，针对微流道2中含不同标记的生物分子，光栅波导1311、1312…131n可将分别将波长为λ1、λ2…λn的光垂直方向向上导入微流道2中，利用不同波长的光激发不同标记的标记生物分子21可以同时识别这些生物分子，而不在光栅波导1311、1312…131n导入的激发光场中的非激生物分子20将不被识别，非激生物分子20是未经标记的正常生物分子或者经标记但位于光场之外而未被激发的生物分子；其中，如图3所示，所述光栅波导1311、1312…131n的宽度为300-600nm。

如图3所示，所述波导层13厚度为150nm-1000nm，亦即图1d、图3中的所述光栅波导1311、1312…131n水平部分的厚度为150nm-1000nm。

其中，所述光纤与光栅波导组131光连接，进而与光栅波导组131中的光栅波导1311、1312…131n光连接。

下面介绍图2d，即从光栅波导组131上方引入光源的本光栅波导微流体芯片：

如图2d所示，还包括氮化硅材料的入射光栅1310’，以与所述光栅波导1311、1312…131n形成耦合光栅波导，将所述上包层142上方的光导入所述光栅波导1311、1312…131n直至沿垂直方向向上导入所述微流道2，其中所述上包层142是透光性层；所述保护层12覆盖并保护所述入射光栅1310’。

如图2d和图3所示，一个微流体上的光栅波导组131包括若干个，如n个，相互平行的耦合光栅波导(包含光栅波导1311、1312…131n)，以将光沿垂直方向向上导入所述微流道2，在实际检测中，针对微流道2中含不同标记的生物分子，耦合光栅波导可将分别将波长为λ1、λ2…λn的光沿垂直方向向上导入微流道2中，利用不同波长的光激发不同标记的标记生物分子21可以同时识别这些生物分子，而不在耦合光栅波导导入的激发光场中的非激生物分子20将不被识别，非激生物分子20是未经标记的正常生物分子或者经标记但位于光场之外而未被激发的生物分子；其中，如图3所示，所述耦合光栅波导(包含光栅波导1311、1312…131n)的宽度为300-600nm，其中，如图2d所示，所述波导层13厚度为150nm-1000nm。

在本实用新型中，所述衬底11是硅衬底；较佳地，所述衬底11是4、8、12英寸的硅片。

在本实用新型中，所述高分子聚合材料是SU-8树脂、聚酰亚胺、聚二甲基硅烷、聚乙烯或苯丙环丁烯。

在本实用新型中，氮化硅波导层13是在沉积温度为25-150℃的低温下形成的厚度为150nm-1000nm的氮化硅薄膜层；所述氮化硅薄膜的折射率为1.75-2.2。需要说明的是，氮化硅薄膜可以是折射率均匀的薄膜，也可以是折射率不均匀的薄膜，如折射率分层结构的氮化硅薄膜。

本实用新型提供的光栅波导微流体芯片，具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种光栅波导微流体芯片，包括：光栅波导和微流道，所述光栅波导包括出射光栅，其特征在于，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内：

还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、保护层和上包层；所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层是二氧化硅材料，用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；

所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；

所述下包层是厚度为2～3μm的二氧化硅，所述上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道宽度为10-100μm。

2.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于，若干个所述光栅波导相互平行，以将光导入所述微流道，所述光栅波导的宽度为300-600nm。

3.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于，所述波导层的折射率为1.75-2.2。

4.根据权利要求1～3任一所述的芯片，其特征在于，所述波导层厚度为

150nm-1000nm。

5.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于，还包括氮化硅材料的入射光栅，以与所述光栅波导形成耦合光栅波导，将所述上包层上方的光导入所述光栅波导直至沿垂直方向向上导入所述微流道；所述保护层覆盖并保护所述入射光栅。

6.根据权利要求5所述的芯片，其特征在于，包括若干个相互平行的所述耦合光栅波导。

7.根据权利要求5所述的芯片，其特征在于，所述波导层厚度为

150nm-1000nm，所述耦合光栅波导的宽度为300-600nm。

8.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于，还包括光纤，所述光纤与所述光栅波导光连接。

9.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于，所述衬底是硅衬底。

10.根据权利要求1所述的芯片，其特征在于，所述高分子聚合材料是SU-8树脂、聚酰亚胺、聚二甲基硅烷、聚乙烯或苯丙环丁烯。

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