CN212145917U - 一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及玻璃抛光技术领域，且公开了一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，包括壳体，壳体的上端四角处均固定连接有滑杆，四个滑杆的杆壁均固定连接有同一个顶板，顶板的上端固定连接有升降电机，升降电机的输出轴贯穿顶板的侧壁固定连接有活动板，活动板滑动连接在四个滑杆的杆壁，活动板的下端固定连接有抛光电机，抛光电机的输出轴固定连接有抛光刀片，壳体的底部内壁固定连接有两个固定板，两个固定板之间通过滚珠轴承转动连接有往复丝杆，往复丝杆的一端贯穿固定板的侧壁固定连接有移动电机，往复丝杆的杆壁通过螺纹啮合连接有滑座。本实用新型提高了晶圆抛光的效率，不用多次重复固定晶圆，方便了人们使用。

Description

一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置

技术领域

本实用新型涉及玻璃抛光技术领域，尤其涉及一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置。

背景技术

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆，衬底材料有硅、锗、GaAs、InP、GaN等，由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆。

现有的超薄石英玻璃晶圆抛光装置都是将晶圆放置在固定的位置，在需要对晶圆的不同位置进行抛光时，就需要不断的对晶圆重新固定进行调位，不方便人们的使用。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中晶圆在抛光时需要多次重复固定的问题，而提出的一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，包括壳体，所述壳体的上端四角处均固定连接有滑杆，四个所述滑杆的杆壁均固定连接有同一个顶板，所述顶板的上端固定连接有升降电机，所述升降电机的输出轴贯穿顶板的侧壁固定连接有活动板，所述活动板滑动连接在四个滑杆的杆壁，所述活动板的下端固定连接有抛光电机，所述抛光电机的输出轴固定连接有抛光刀片，所述壳体的底部内壁固定连接有两个固定板，两个所述固定板之间通过滚珠轴承转动连接有往复丝杆，所述往复丝杆的一端贯穿固定板的侧壁固定连接有移动电机，所述往复丝杆的杆壁通过螺纹啮合连接有滑座，所述滑座的上端固定连接有轴承座，所述轴承座的上端通过滚珠轴承转动连接有支撑杆，所述壳体的上端开设有条形开口，所述支撑杆的上端穿过条形开口固定连接有抛光板。

优选的，所述四个所述滑杆的上端固定连接有限位帽。

优选的，所述滑座的上端固定连接有旋转电机，所述旋转电机的输出轴上固定连接有主动轮，所述支撑杆的杆壁外套接有与主动轮相啮合的从动轮。

优选的，两个所述固定板之间固定连接有贯穿滑座侧壁的限位杆。

优选的，所述抛光板的上端开设有多个不同规格的凹槽。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，具备以下有益效果：

该超薄石英玻璃晶圆抛光装置，通过设有的升降电机、活动板、抛光电机、抛光刀片、固定板、往复丝杆、移动电机、滑座、轴承座、支撑杆、条形开口、抛光板、限位帽、旋转电机、主动轮、从动轮和限位杆，在需要对晶圆进行抛光处理时，先将晶圆放置在抛光板内凹槽中，然后启动移动电机带动往复丝杆转动，通过往复丝杆和滑座的啮合带动滑座移动到合适位置，然后打开旋转电机带动主动轮转动，通过主动轮和从动轮之间的啮合带动从动轮转动，进而带动支撑杆转动，从而带动整个抛光板转动，来调整对晶圆抛光的位置，提高了晶圆抛光的效率，不用多次重复固定晶圆，方便了人们使用。

而且该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型提高了晶圆抛光的效率，不用多次重复固定晶圆，方便了人们使用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置抛光板的结构示意图。

图中：1壳体、2滑杆、3顶板、4升降电机、5活动板、6抛光电机、7抛光刀片、8固定板、9往复丝杆、10移动电机、11滑座、12轴承座、13支撑杆、14条形开口、15抛光板、16限位帽、17旋转电机、18主动轮、19从动轮、20限位杆、21凹槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-2，一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，包括壳体1，壳体1的上端四角处均固定连接有滑杆2，四个滑杆2的杆壁均固定连接有同一个顶板3，顶板3的上端固定连接有升降电机4，升降电机4的输出轴贯穿顶板3的侧壁固定连接有活动板5，活动板5滑动连接在四个滑杆2的杆壁，活动板5的下端固定连接有抛光电机6，抛光电机6的输出轴固定连接有抛光刀片7，壳体1的底部内壁固定连接有两个固定板8，两个固定板8之间通过滚珠轴承转动连接有往复丝杆9，往复丝杆9的一端贯穿固定板8的侧壁固定连接有移动电机10，往复丝杆9的杆壁通过螺纹啮合连接有滑座11，滑座11的上端固定连接有轴承座12，轴承座12的上端通过滚珠轴承转动连接有支撑杆13，壳体1的上端开设有条形开口14，支撑杆13的上端穿过条形开口14固定连接有抛光板15。

四个滑杆2的上端固定连接有限位帽16，能够对顶板3起限位作用。

滑座11的上端固定连接有旋转电机17，旋转电机17的输出轴上固定连接有主动轮18，支撑杆13的杆壁外套接有与主动轮18相啮合的从动轮19，能够带动支撑杆13转动。

两个固定板8之间固定连接有贯穿滑座11侧壁的限位杆20，能够防止滑座11自转。

抛光板15的上端开设有多个不同规格的凹槽21，能够适应不同规格的晶圆。

本实用新型中，使用时，在需要对晶圆进行抛光处理时，先将晶圆放置在抛光板15内凹槽21中，然后启动移动电机10带动往复丝杆9转动，通过往复丝杆9和滑座11的啮合带动滑座11移动到合适位置，然后打开旋转电机17带动主动轮18转动，通过主动轮18和从动轮19之间的啮合带动从动轮19转动，进而带动支撑杆13转动，从而带动整个抛光板15转动，来调整对晶圆抛光的位置，提高了晶圆抛光的效率，不用多次重复固定晶圆，方便了人们使用。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)的上端四角处均固定连接有滑杆(2)，四个所述滑杆(2)的杆壁均固定连接有同一个顶板(3)，所述顶板(3)的上端固定连接有升降电机(4)，所述升降电机(4)的输出轴贯穿顶板(3)的侧壁固定连接有活动板(5)，所述活动板(5)滑动连接在四个滑杆(2)的杆壁，所述活动板(5)的下端固定连接有抛光电机(6)，所述抛光电机(6)的输出轴固定连接有抛光刀片(7)，所述壳体(1)的底部内壁固定连接有两个固定板(8)，两个所述固定板(8)之间通过滚珠轴承转动连接有往复丝杆(9)，所述往复丝杆(9)的一端贯穿固定板(8)的侧壁固定连接有移动电机(10)，所述往复丝杆(9)的杆壁通过螺纹啮合连接有滑座(11)，所述滑座(11)的上端固定连接有轴承座(12)，所述轴承座(12)的上端通过滚珠轴承转动连接有支撑杆(13)，所述壳体(1)的上端开设有条形开口(14)，所述支撑杆(13)的上端穿过条形开口(14)固定连接有抛光板(15)。

2.根据权利要求1所述的一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，其特征在于，所述四个所述滑杆(2)的上端固定连接有限位帽(16)。

3.根据权利要求1所述的一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，其特征在于，所述滑座(11)的上端固定连接有旋转电机(17)，所述旋转电机(17)的输出轴上固定连接有主动轮(18)，所述支撑杆(13)的杆壁外套接有与主动轮(18)相啮合的从动轮(19)。

4.根据权利要求1所述的一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，其特征在于，两个所述固定板(8)之间固定连接有贯穿滑座(11)侧壁的限位杆(20)。

5.根据权利要求1所述的一种超薄石英玻璃晶圆抛光装置，其特征在于，所述抛光板(15)的上端开设有多个不同规格的凹槽(21)。

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