CN212130302U - 一种立式高真空密封门 - Google Patents

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刘金波
付玉磊
李向前
付廷喜
杨浩
万鑫
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Abstract

本实用新型公开了一种立式高真空密封门,涉及高真空密封技术领域。该立式高真空密封门,包括气缸固定板、内侧封门板和外侧封门板,气缸固定板的底部固定安装有气缸,气缸的输出端通过浮动接头活动连接有固定块,气缸固定板的顶部通过导向轴滑动连接有楔形板,导向轴的顶部套设有密封套,导向轴的外侧套设有导向轴承,密封套的内部固定安装油封,导向轴上固定安装有两个密封圈,密封套的顶部固定安装有密封套密封圈,楔形板与导向轴浮动连接。该立式高真空密封门,一个气缸与一个楔形板,气缸提供上下运动的动力,楔形板通过其斜面压紧密封圈实现门两侧隔绝密封,其结构简单,体积较小,并且大大节省了成本开支。

Description

一种立式高真空密封门
技术领域
本实用新型涉及高真空密封技术领域,具体为一种立式高真空密封门。
背景技术
现今时代电子产品已深入我们的日常生活中,随着人民生活水平的不断提高,对电子化产品的要求也在逐渐上升,人们更倾向于电子产品轻型化,小型化。电子元件作为电子化产品的重要组成部分,需求量也逐渐提升。与此同时电子产品更新换代迅速,电子元件制造企业在不断追求节能高效的生产方式。
部分电子元件在生产过程中需要其在高真空环境中进行,电子产品进出高真空环境一般通过密封门的开闭来实现,现有真空密封门机构复杂体积较大无形中会增大设备的整体尺寸,这样既增加了企业的生产成本同时增加了设备的维护人员成本。因此现在人们渴望一种更为简单稳定的高真空密封门机构。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种立式高真空密封门,它采用一个气缸与一个楔形板,气缸提供上下运动的动力,楔形板通过其斜面压紧密封圈实现门两侧隔绝密封,其结构简单,体积较小,并且大大节省了成本开支。
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种立式高真空密封门,包括气缸固定板、内侧封门板和外侧封门板,所述气缸固定板的底部固定安装有气缸,所述气缸的输出端通过浮动接头活动连接有固定块,所述气缸固定板的顶部通过导向轴滑动连接有楔形板,所述导向轴的顶部套设有密封套,所述导向轴的外侧套设有导向轴承,所述密封套的内部固定安装油封,所述导向轴上固定安装有两个密封圈,所述密封套的顶部固定安装有密封套密封圈,所述楔形板与导向轴浮动连接。
所述内侧封门板的后表面通过楔形板密封圈与外侧封门板密封连接,所述内侧封门板的右侧通过内侧封门板密封圈与其他机构密封连接,所述外侧封门板的顶部通过外侧封门板密封圈将楔形板的运动区域进行密封。
优选的,所述气缸固定板上开设有与气缸输出端相匹配的运动通孔,所述楔形板滑动连接在内侧封门板和外侧封门板之间。
优选的,所述内侧封门板和外侧封门板的底部均开设有滑动通槽,两个滑动通槽与楔形板相匹配。
优选的,所述导向轴的数目为两个,两个所述导向轴平行对称分布在气缸固定板的顶部。
优选的,所述气缸固定安装在固定板底部中心的位置,所述浮动接头位于两个导向轴之间。
优选的,所述楔形板密封圈上开设有与楔形板相匹配的运动槽。
本实用新型提供了一种立式高真空密封门。具备以下有益效果:
(1)、该立式高真空密封门,一个气缸与一个楔形板,气缸提供上下运动的动力,楔形板通过其斜面压紧密封圈实现门两侧隔绝密封,其结构简单,体积较小,并且大大节省了成本开支。
(2)、该立式高真空密封门,气缸上下运动带动楔形板实现双侧密封,结构简单双侧密封的效果更佳。
附图说明
图1是本实用新型一种立式高真空密封门的正视图;
图2是本实用新型一种立式高真空密封门的右剖视图。
图中:101-密封套;102-导向轴套;103-导向轴;104-气缸固定板;105-气缸;106-浮动接头;107-固定块;108-内侧封门板密封圈;109-楔形板密封圈;110-内侧封门板;111-楔形板;112-外侧封门板密封圈;113-外侧封门板;114-密封套密封圈;115-导向轴密封圈;116-油封。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案本实用新型的一种立式高真空密封门机构,包括气缸固定板104、内侧封门板110和外侧封门板113,内侧封门板110和外侧封门板113的底部均开设有滑动通槽,两个滑动通槽与楔形板111相匹配,气缸固定板104上开设有与气缸105输出端相匹配的运动通孔,气缸固定板104的底部固定安装有气缸105,气缸105固定安装在固定板104底部中心的位置,结构简单双侧密封的效果更佳,气缸105出力杆通过浮动接头106与固定块107固定在底板上,浮动接头106位于两个导向轴103之间,其气缸105本体安装在气缸固定板104上,气缸固定板104通过导向轴103与一楔形板111连接,楔形板111滑动连接在内侧封门板110和外侧封门板113之间,导向轴103外侧有密封套101和导向轴承102,其特点是密封套101内安装油封116同时导向轴103上安装两道密封圈115实现导向轴103上下的运动密封,导向轴103的数目为两个,两个所述导向轴103平行对称分布在气缸固定板104的顶部,密封套101与底板通过密封套密封圈114固定密封,楔形板111与导向轴103浮动连接保证运动时不发生卡死现象,楔形板111向上运动压紧安装于内侧封门板110与外侧封门板113的密封圈109实现那门的密封,内侧封门板110通过密封圈108与其他机构连接密封保证整体机构密封,外侧封门板113通过密封圈112保证楔形板运动区域的密封,一个气缸105与一个楔形板111,气缸105提供上下运动的动力,楔形板111通过其斜面压紧密封圈实现门两侧隔绝密封,其结构简单,体积较小,并且大大节省了成本开支。
使用时,气缸105向下运动,气缸105通过导向轴103带动楔形板111向下运动实现密封门的开启,密封套101内的油封116与导向轴103上的两道密封圈115配合实现导向轴上下运动密封,气缸105向上运动通过导向轴103带动楔形板111向上运动,其斜面向上运动时压紧两侧的密封圈109实现门的密封。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种立式高真空密封门,包括气缸固定板(104)、内侧封门板(110)和外侧封门板(113),其特征在于:所述气缸固定板(104)的底部固定安装有气缸(105),所述气缸(105)的输出端通过浮动接头(106)活动连接有固定块(107),所述气缸固定板(104)的顶部通过导向轴(103)滑动连接有楔形板(111),所述导向轴(103)的顶部套设有密封套(101),所述导向轴(103)的外侧套设有导向轴承(102),所述密封套(101)的内部固定安装油封(116),所述导向轴(103)上固定安装有两个密封圈(115),所述密封套(101)的顶部固定安装有密封套密封圈(114),所述楔形板(111)与导向轴(103)浮动连接;
所述内侧封门板(110)的后表面通过楔形板密封圈(109)与外侧封门板(113)密封连接,所述内侧封门板(110)的右侧通过内侧封门板密封圈(108)与其他机构密封连接,所述外侧封门板(113)的顶部通过外侧封门板密封圈(112)将楔形板(111)的运动区域进行密封。
2.根据权利要求1所述的一种立式高真空密封门,其特征在于:所述气缸固定板(104)上开设有与气缸(105)输出端相匹配的运动通孔,所述楔形板(111)滑动连接在内侧封门板(110)和外侧封门板(113)之间。
3.根据权利要求1所述的一种立式高真空密封门,其特征在于:所述内侧封门板(110)和外侧封门板(113)的底部均开设有滑动通槽,两个滑动通槽与楔形板(111)相匹配。
4.根据权利要求1所述的一种立式高真空密封门,其特征在于:所述导向轴(103)的数目为两个,两个所述导向轴(103)平行对称分布在气缸固定板(104)的顶部。
5.根据权利要求1所述的一种立式高真空密封门,其特征在于:所述气缸(105)固定安装在固定板(104)底部中心的位置,所述浮动接头(106)位于两个导向轴(103)之间。
6.根据权利要求1所述的一种立式高真空密封门,其特征在于:所述楔形板密封圈(109)上开设有与楔形板(111)相匹配的运动槽。
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