CN212082995U - 一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，包括：壳体；与壳体一端相通的气体输送部；气体输送部上与壳体相通的一侧设有前排出口；气体输送部与壳体相通处设有过滤部；设置在所述壳体内的输送管路；输送管路与过滤部相通；输送管路上设有加热部；输送管路上还设有后部排出口，后部排出口与测量分析系统相连；排气管路，与壳体内的输送管路相通；在排气管路上还设有清洁气体供应部，本实用新型将气体在测量点被强力抽吸之后将其送至测量分析系统，同时采用无风扇间接吹气进行气体的输送，避免了风扇的污染物混入测量气体中可能产生错误的数据，并且气体通过具有加热部的过滤器进行过滤，保持测量气体的恒定温度，确保测量精度。

Description

一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备

技术领域

本实用新型涉及一种气体运输设备，尤其涉及一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备。

背景技术

半导体制造过程中的空气污染导致半导体的制造不良，特别是来自各种制造过程的气体泄漏或从制造设备流出的金属，有机物，NOx，SOx，酸和碱气体会影响其他工艺；但是，污染物的泄漏无法特定是某个地方，因此采样会在距离测量设备很远的地方进行。

目前，请参阅附图1，为了测量气态的污染物，将抽吸泵（103）设置在测量装置（100）的内部，并通过多重采样（101）装置和选择阀（111）将其提供给各个分析器（102），污染物测量设备还可以依次分析很多点；但是在实际的使用中发现存在如下缺点：①由于外部问题（例如相对湿度，温度和用于测量的气体中的细小灰尘），每次都很难进行相同的测量；②另外，必须同时通过设备内部的抽吸泵吸入，但是抽吸量不是恒定的，同时污染物测量装置的进料管（112）的末端为1/4英寸（直径6.35mm）和3/8英寸（9.53mm），并且只有管子的形式，因此很难在大空间中吸入气体后再对空气的质量进行测量。

实用新型内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种保证不会由于外界环境的变化影响测量效果，同时气体能够在更宽的空间中被吸入，提升测量精度的用于气体污染测量以及监测的气体运输设备。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，包括：

壳体；

与所述壳体一端相通的气体输送部，用于将气体吸入壳体内；

在所述气体输送部上与壳体相通的一侧设有前排出口，用于将气体中的杂质排出；

在所述气体输送部与壳体相通处设有过滤部，用于将气体输送部传送的气体进行过滤；

设置在所述壳体内的输送管路；所述输送管路与过滤部相通；所述输送管路上设有加热部，用于将输出管路加热；

所述输送管路上还设有后部排出口，所述后部排出口与测量分析系统相连；

排气管路，与壳体内的输送管路相通；

在所述排气管路上还设有清洁气体供应部，用于排出残留在排气管路中的吸附物。

进一步的，所述气体输送部包括第一筒体；所述第一筒体的内壁中开有用于气体流动的流道；所述第一筒体上设有与流道相通的气体供应口；所述气体供应口的下方设有用于提供动力的风扇；所述流道上设有送风口。

进一步的，所述前排出口的数量为两个，且两个所述前排出口倾斜设置在气体输送部与壳体之间。

进一步的，所述后部排出口的数量为两个，两个所述后部排出口倾斜的与输送管路相连。

进一步的，所述后部排出口上设有流量控制阀。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型方案的用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，不是将气体吸入测量装置内部并对其进行分析，而是在测量点被强力抽吸之后将其送至测量分析系统，同时采用无风扇间接吹气进行气体的输送，避免了风扇的污染物混入测量气体中可能产生错误的数据，并且气体通过具有加热部的过滤器进行过滤，保持测量气体的恒定温度，确保测量精度，具有好的实用性。

附图说明

下面结合附图对本实用新型技术方案作进一步说明：

附图1为现有技术的结构示意图；

附图2为本实用新型的内部结构示意图；

附图3为本实用新型的立体结构视图；

附图4为附图3中的局部剖视图；

附图5为附图3的另一视角的结构示意图；

附图6为气体输送部中的气体流动图；

其中：壳体200、气体输送部201、过滤部202、加热部203、输送管路204、前排出口211、后部排出口212、气体供应口221、送风口222、风扇223、第一筒体230、清洁气体供应部301、排气管路302。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本实用新型作进一步的详细说明。

请参阅附图2-6，本实用新型所述的一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，包括：壳体200；与所述壳体200一端相通的气体输送部201，用于将气体吸入壳体200内，所述壳体200一端设置在气体输送部201的内部；在所述气体输送部201上与壳体200相通的一侧设有两个前排出口211，用于将气体中带有的杂质排出；在所述气体输送部201与壳体200相通处设有过滤部202，用于将气体输送部201传送的气体进行过滤；设置在所述壳体200内的输送管路204；所述输送管路204与过滤部202相通；所述输送管路204上设有加热部203，用于将输出管路204加热；所述输送管路204上还设有后部排出口212，用于将气体排出；所述后部排出口212与测量分析系统（图中未示出）相连；排气管路302，与壳体200内的输送管路204相通；在所述排气管路302上还设有清洁气体供应部301，用于排出残留在排气管路302中的吸附物或残留气体。

作为进一步的优选实施例，所述气体输送部201包括第一筒体230；所述第一筒体230的内壁中开有用于气体流动的流道（图中未示出）；所述第一筒体230上设有与流道相通的气体供应口221；所述气体供应口221的下方设有用于提供动力的风扇223；所述流道上设有两个送风口222，且两个所述送风口222上下对应设置。

另外，所述前排出口211的数量为两个，且两个所述前排出口211倾斜的设置在气体输送部201与壳体200之间。

具体工作时，请参阅附图6，为气体输送部201中的气体流动图，由风扇223驱动产生气体，风扇223产生的气体从气体供应口221流入到流道内，气体在流道内进行流动，接着气体从两个送风口222中流出，产生了高压流，这样就使周围的空气高速地流动，高压高速加速周围产生的气体排到第一筒体230的内部，从而使外部气体能够加速进入到过滤部202内进行过滤。

另外，在风扇产生的气体中，有可能导出污染物，所以前排出口211起到排出污染物的作用，它是自动排出类型，并具有用于排出的孔，处于始终打开的状态。

其中，过滤部202的作用是将吸入的气体中与测量无关的大颗粒进行过滤作用，如果没有过滤部，则大颗粒会积存在输送管路204中，导致堵塞。

加热部200是为了防止气体中的污染物吸附到输送管路204上，并且通过在高温（50°以内）下蒸发水分，可以减少环境监测过程中由于水分引起的数据错误，此外，即使在季节性和外部温度变化的情况下，也可以测量准确的数据。

作为进一步的优选实施例，所述后部排出口212的数量为两个，两个所述后部排出口212倾斜的与输送管路204相连，在所述后部排出口212上设有控制气体流量的控制阀（图中未示出），可以进行手动或者自动的控制气体流量；由后部排出口212排出的气体的气压测量可以用测量分析系统进行测量。

清洁气体供应部301的作用是排出残留在排气管路302中的吸附物或残留气体，比如：臭氧气体（O3），惰性气体（He，Ar等）。

本实用新型的用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，不是将气体吸入测量装置内部并对其进行分析，而是在测量点被强力抽吸之后将其送至分析器，同时采用无风扇间接吹气进行气体的输送，避免了风扇的污染物混入测量气体中可能产生错误的数据，并且气体通过具有加热部的过滤器进行过滤，保持测量气体的恒定温度，确保测量精度，具有好的推广价值。

以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。凡采用等同变换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。

Claims (5)

1.一种用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，其特征在于，包括：

壳体；

与所述壳体一端相通的气体输送部，用于将气体吸入壳体内；

在所述气体输送部上与壳体相通的一侧设有前排出口，用于将气体中的杂质排出；

在所述气体输送部与壳体相通处设有过滤部，用于将气体输送部传送的气体进行过滤；

设置在所述壳体内的输送管路；所述输送管路与过滤部相通；所述输送管路上设有加热部，用于将输出管路加热；

所述输送管路上还设有后部排出口，所述后部排出口与测量分析系统相连；

排气管路，与壳体内的输送管路相通；

在所述排气管路上还设有清洁气体供应部，用于排出残留在排气管路中的吸附物。

2.根据权利要求1所述的用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，其特征在于：所述气体输送部包括第一筒体；所述第一筒体的内壁中开有用于气体流动的流道；所述第一筒体上设有与流道相通的气体供应口；所述气体供应口的下方设有用于提供动力的风扇；所述流道上设有送风口。

3.根据权利要求1所述的用于气体污染测量以及监测的气体运输设备，其特征在于：所述前排出口的数量为两个，且两个所述前排出口倾斜设置在气体输送部与壳体之间。

4.根据权利要求1所述的用于气体污染测量以及监测的气体运输设备,其特征在于：所述后部排出口的数量为两个，两个所述后部排出口倾斜的与输送管路相连。

5.根据权利要求1所述的用于气体污染测量以及监测的气体运输设备,其特征在于：所述后部排出口上设有流量控制阀。

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