CN212069702U - 一种半导体光刻板快速清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及清洗装置技术领域，公开了一种半导体光刻板快速清洗装置，其结构包括主操控箱体，所述主操控箱体上设置有连接板、轴承座和驱动电机，所述连接板通过铆钉与所述主操控箱体的内壁对称连接，所述轴承座通过铆钉与所述主操控箱体的内壁相连接，并且位于所述连接板的下方，所述驱动电机通过铆钉与所述主操控箱体外表面的右侧相连接，所述连接板上设置有通管，所述轴承座上设置有转动杆，所述转动杆的外表面交错设置有放置盘。本实用新型实现了对半导体光刻板的正反面进行清洗，加快了半导体光刻板清洗时的速度，而且还能对清洗后的半导体光刻板进行风干，提高了半导体光刻板清洗后干燥的速度。

Description

一种半导体光刻板快速清洗装置

技术领域

本实用新型涉及清洗装置技术领域，具体为一种半导体光刻板快速清洗装置。

背景技术

根据专利201920680912.6可知，一种半导体光刻板快速清洗装置，其结构包括主操控箱体、内兜板、顶控层、控制端、显示屏、提示灯、光刻板槽、操作面板、底观察窗，所述底观察窗嵌入于主操控箱体内部，所述内兜板安装于主操控箱体内部，所述显示屏与顶控层间隙配合，所述提示灯安装于顶控层内部，所述光刻板槽位于内兜板内部，所述光刻板槽贯穿于操作面板顶端。

目前，现有的半导体光刻板快速清洗装置还存在着一些不足的地方，例如；现有的半导体光刻板快速清洗装置不能对半导体光刻板的正反面进行清洗，减慢了半导体光刻板清洗时的速度，而且还不能对清洗后的半导体光刻板进行风干，降低了半导体光刻板清洗后干燥的速度。为此，需要设计新的技术方案给予解决。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体光刻板快速清洗装置，解决了背景技术中所提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体光刻板快速清洗装置，包括主操控箱体，所述主操控箱体上设置有连接板、轴承座和驱动电机，所述连接板通过铆钉与所述主操控箱体的内壁对称连接，所述轴承座通过铆钉与所述主操控箱体的内壁相连接，并且位于所述连接板的下方，所述驱动电机通过铆钉与所述主操控箱体外表面的右侧相连接，所述连接板上设置有通管，所述轴承座上设置有转动杆，所述转动杆的外表面交错设置有放置盘，所述通管上设置有雾化头、冲洗头、输水管和输风管，所述雾化头和冲洗头均通过螺纹与所述通管的下端相连接，所述输水管通过铆钉与所述通管上端的中左侧相连接，所述输风管通过铆钉与所述通管上端的中右侧相连接，所述放置盘通过嵌合槽连接挡板。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述放置盘通过铆钉与所述转动杆的外表面相连接，并且呈网状结构。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述挡板的大小与所述嵌合槽的大小相吻合，并且嵌合在所述嵌合槽的内部，所述挡板呈网状结构，并且与所述嵌合槽的内部呈夹持连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述转动杆的左端嵌合在所述轴承座的中心处，所述转动杆的右端通过轴承座与所述驱动电机的转轴固定连接。

作为本实用新型的一种优选实施方式，所述雾化头和冲洗头均匀的分布在所述通管的下端，所述雾化头位于两个所述冲洗头的之间。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型通过连接板、轴承座、驱动电机、通管、转动杆、放置盘、冲洗头、输风管、嵌合槽和挡板的结合，当半导体光刻板清洗的时候，首先将半导体光刻板放置在放置盘的内部，然后再将挡板插在嵌合槽的内部，并且将放置盘的上表面进行密封，然后再由驱动电机通过轴承座带动转动杆上的放置盘进行转动，再由输水管输送水到通管的内部，再由雾化头和冲洗头对放置盘内部的半导体光刻板进行清洗，待半导体光刻板清洗好后再将输水管停止输送水，再将输风管接通到风机上进行输送风，并且对半导体光刻板进行风干，有效的实现了对半导体光刻板的正反面进行清洗，加快了半导体光刻板清洗时的速度，而且还能对清洗后的半导体光刻板进行风干，提高了半导体光刻板清洗后干燥的速度。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型一种半导体光刻板快速清洗装置的主视图；

图2为本实用新型一种半导体光刻板快速清洗装置的通管俯视图；

图3为本实用新型一种半导体光刻板快速清洗装置的放置盘结构示意图。

图中：主操控箱体1、连接板2、轴承座3、驱动电机4、通管5、转动杆6、放置盘7、雾化头8、冲洗头9、输水管10、输风管11、嵌合槽12、挡板13。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义，本实用新型中提供的用电器的型号仅是参考，可以通过根据实际使用情况更换功能相同的不同型号用电器。

请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体光刻板快速清洗装置，包括主操控箱体1，所述主操控箱体1上设置有连接板2、轴承座3和驱动电机4，所述连接板2通过铆钉与所述主操控箱体1的内壁对称连接，所述轴承座3通过铆钉与所述主操控箱体1的内壁相连接，并且位于所述连接板2的下方，所述驱动电机4通过铆钉与所述主操控箱体1外表面的右侧相连接，所述连接板2上设置有通管5，所述轴承座3上设置有转动杆6，所述转动杆6的外表面交错设置有放置盘7，所述通管5上设置有雾化头8、冲洗头9、输水管10和输风管11，所述雾化头8和冲洗头9均通过螺纹与所述通管5的下端相连接，所述输水管10通过铆钉与所述通管5上端的中左侧相连接，所述输风管11通过铆钉与所述通管5上端的中右侧相连接，所述放置盘7通过嵌合槽12连接挡板13，本实施例中如图1、图2和图3所示通过连接板2、轴承座3、驱动电机4、通管5、转动杆6、放置盘7、冲洗头9、输风管11、嵌合槽12和挡板13的结合，当半导体光刻板清洗的时候，首先将半导体光刻板放置在放置盘7的内部，然后再将挡板13插在嵌合槽12的内部，并且将放置盘7的上表面进行密封，然后再由驱动电机4通过轴承座3带动转动杆6上的放置盘7进行转动，再由输水管10输送水到通管5的内部，再由雾化头8和冲洗头9对放置盘7内部的半导体光刻板进行清洗，待半导体光刻板清洗好后再将输水管10停止输送水，再将输风管11接通到风机上进行输送风，并且对半导体光刻板进行风干，有效的实现了对半导体光刻板的正反面进行清洗，加快了半导体光刻板清洗时的速度，而且还能对清洗后的半导体光刻板进行风干，提高了半导体光刻板清洗后干燥的速度。

本实施例中请参阅图1，所述放置盘7通过铆钉与所述转动杆6的外表面相连接，并且呈网状结构，其作用在于能有效的方便对提高了放置盘7与转动杆6之间的牢固性。

本实施例中请参阅图3，所述挡板13的大小与所述嵌合槽12的大小相吻合，并且嵌合在所述嵌合槽12的内部，所述挡板13呈网状结构，并且与所述嵌合槽12的内部呈夹持连接，其作用在于能有效的提高了挡板13与嵌合槽12之间连接时的牢固性。

本实施例中请参阅图1，所述转动杆6的左端嵌合在所述轴承座3的中心处，所述转动杆6的右端通过轴承座3与所述驱动电机4的转轴固定连接，其作用在于能有效的提高了转动杆6转动时的灵活性。

本实施例中请参阅图1，所述雾化头8和冲洗头9均匀的分布在所述通管5的下端，所述雾化头8位于两个所述冲洗头9的之间，其作用在于能有效的实现了对半导体光刻板进行风干和清洗。

需说明的是，本实用新型一种半导体光刻板快速清洗装置包括主操控箱体1、连接板2、轴承座3、驱动电机4、通管5、转动杆6、放置盘7、雾化头8、冲洗头9、输水管10、输风管11、嵌合槽12、挡板13等部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，在本装置空闲处，将上述中所有电器件，其指代动力元件、电器件以及适配的监控电脑和电源通过导线进行连接，具体连接手段，应参考下述工作原理中，各电器件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明，在一种半导体光刻板快速清洗装置使用的时候，通过连接板2、轴承座3、驱动电机4、通管5、转动杆6、放置盘7、冲洗头9、输风管11、嵌合槽12和挡板13的结合，当半导体光刻板清洗的时候，首先将半导体光刻板放置在放置盘7的内部，然后再将挡板13插在嵌合槽12的内部，并且将放置盘7的上表面进行密封，然后再由驱动电机4通过轴承座3带动转动杆6上的放置盘7进行转动，再由输水管10输送水到通管5的内部，再由雾化头8和冲洗头9对放置盘7内部的半导体光刻板进行清洗，待半导体光刻板清洗好后再将输水管10停止输送水，再将输风管11接通到风机上进行输送风，并且对半导体光刻板进行风干，有效的实现了对半导体光刻板的正反面进行清洗，加快了半导体光刻板清洗时的速度，而且还能对清洗后的半导体光刻板进行风干，提高了半导体光刻板清洗后干燥的速度。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种半导体光刻板快速清洗装置，包括主操控箱体(1)，其特征在于：所述主操控箱体(1)上设置有连接板(2)、轴承座(3)和驱动电机(4)，所述连接板(2)通过铆钉与所述主操控箱体(1)的内壁对称连接，所述轴承座(3)通过铆钉与所述主操控箱体(1)的内壁相连接，并且位于所述连接板(2)的下方，所述驱动电机(4)通过铆钉与所述主操控箱体(1)外表面的右侧相连接，所述连接板(2)上设置有通管(5)，所述轴承座(3)上设置有转动杆(6)，所述转动杆(6)的外表面交错设置有放置盘(7)，所述通管(5)上设置有雾化头(8)、冲洗头(9)、输水管(10)和输风管(11)，所述雾化头(8)和冲洗头(9)均通过螺纹与所述通管(5)的下端相连接，所述输水管(10)通过铆钉与所述通管(5)上端的中左侧相连接，所述输风管(11)通过铆钉与所述通管(5)上端的中右侧相连接，所述放置盘(7)通过嵌合槽(12)连接挡板(13)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体光刻板快速清洗装置，其特征在于：所述放置盘(7)通过铆钉与所述转动杆(6)的外表面相连接，并且呈网状结构。

3.根据权利要求1所述的一种半导体光刻板快速清洗装置，其特征在于：所述挡板(13)的大小与所述嵌合槽(12)的大小相吻合，并且嵌合在所述嵌合槽(12)的内部，所述挡板(13)呈网状结构，并且与所述嵌合槽(12)的内部呈夹持连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体光刻板快速清洗装置，其特征在于：所述转动杆(6)的左端嵌合在所述轴承座(3)的中心处，所述转动杆(6)的右端通过轴承座(3)与所述驱动电机(4)的转轴固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体光刻板快速清洗装置，其特征在于：所述雾化头(8)和冲洗头(9)均匀的分布在所述通管(5)的下端，所述雾化头(8)位于两个所述冲洗头(9)的之间。

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