CN212017342U - 一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，包括两套相互连通的洗涤吸收装置；每一套洗涤吸收装置包括相互连通的洗涤器和氟吸收塔，前一洗涤吸收装置的氟吸收塔连通后一洗涤吸收装置的洗涤器，前一洗涤吸收装置的洗涤器的进气口与含氟尾气进气管连通，后一洗涤吸收装置的氟吸收塔的出气口与净化尾气出气管连通；所述洗涤器和氟吸收塔均设置有洗涤液循环回路；前一洗涤吸收装置中的洗涤器的洗涤液循环回路上连接成品氟硅酸出液管用于排出氟硅酸，后一洗涤吸收装置中的氟吸收塔的洗涤液循环回路上设置有第一洗涤液补液管用于外界输入洗涤液；两洗涤吸收装置之间以及每一洗涤吸收装置的洗涤器和氟吸收塔之间均通过补液管网相互连通进行洗涤液补液。

Description

一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统

技术领域

本实用新型涉及一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，属于尾气处理技术领域。

背景技术

在湿法磷酸生产及磷酸浓缩过程中，由于使用的磷矿中含有氟元素，反应过程中会产生大量含氟化合物，其中四氟化硅含量较高并以气体的形态逸出进入尾气洗涤系统，为主要的环境污染物，为了减少环境污染和达到综合利用的目的，必须对其加以回收利用。

四氟化硅又名氟化硅，分子式为SiF₄，是一种无色、有毒、有刺激性臭味的气体，易潮解，在潮湿的空气中可产生浓烟雾，人体吸入后可以引起头痛、恶心及不同程度的麻醉作用，对眼、皮肤、粘膜和呼吸道有严重损害并且腐蚀作用强，高浓度吸入者可致肺炎、肺水肿，严重中毒可引起呼吸麻痹而死亡。现在大大小小的化工类厂家不管其设备多么先进总是会排放大量的工业废气，其中主要废气有CO、NO_X、H₂S、HF、SiF₄等，由于工业尾气净化四氟化硅的相关研究较少，因此脱除四氟化硅对工业废气的净化具有深远的意义。

目前，已见报道的磷酸生产及磷酸浓缩过程中尾气洗涤吸收工艺有水洗法、石灰水洗法、生石灰粉和活性炭干法处理含氟尾气；其中水洗法工艺较为简单，技术成熟且应用较为广泛，湿法磷酸车间多采用“一氟洗涤吸收塔+二氟洗涤吸收塔”二级逆流洗涤模式，利用该洗涤模式处理四氟化硅含量高的尾气存在以下几点问题：其一，该洗涤模式存在无法外排的H₂SiF₆溶液连续循环洗涤吸收含氟尾气后容易在氟吸收系统中产生氟硅酸盐、硅胶等结垢，造成系统设备堵塞的问题；其二，随着H₂SiF₆溶液浓度的逐渐提高，气液传质速度降低，导致尾气洗涤吸收效果较差，使尾气排放指标(颗粒物排放浓度、颗粒物排放速率、氟化物排放浓度及氟化物排放速率)通常无法满足《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996)二级标准限值要求；其三，四氟化硅被水吸收生成低浓度的氟硅酸，低浓度的H₂SiF₆直接生产Na₂SiF₆或无水HF技术难度较大且生产成本较高。

综上所述，对于半水、二水﹑半水-二水磷酸生产及磷酸浓缩闪蒸含氟尾气中的SiF₄而言，虽然可以被水吸收生成氟硅酸，但吸收效果受吸收温度、气体含氟浓度、洗涤液浓度、气液两相接触界面、吸收反应时间、气体流动状态和设备构造等诸多因素影响，因此，要得到较高浓度的氟硅酸又要有较高的吸收效率，需要采用多段逐级洗涤、吸收的处理工艺。

实用新型内容

为了克服现有技术的问题，本实用新型提供一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，该系统在现有的水洗处理含氟尾气的基础上设置多段逐级洗涤装置，能够增加洗涤吸收液及含氟尾气的浓度梯度及温差，实现利用更少的洗涤液得到浓度更高的成品氟硅酸，同时提高尾气净化效率。

本实用新型的技术方案如下：

一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，包括两套相互连通的洗涤吸收装置；每一套洗涤吸收装置包括相互连通的洗涤器和氟吸收塔，前一洗涤吸收装置的氟吸收塔连通后一洗涤吸收装置的洗涤器，前一洗涤吸收装置的洗涤器的进气口与含氟尾气进气管连通，后一洗涤吸收装置的氟吸收塔的出气口与净化尾气出气管连通；所述洗涤器和氟吸收塔均设置有洗涤液循环回路，通过洗涤器的洗涤液循环回路将洗涤液从洗涤器底部的出液口回流至洗涤器侧壁的进液口，通过氟吸收塔的洗涤液循环回路将洗涤液从氟吸收塔底部的出液口回流至氟吸收塔侧壁的进液口；前一洗涤吸收装置中洗涤器的洗涤液循环回路上连接成品氟硅酸出液管用于排出成品氟硅酸，后一洗涤吸收装置中氟吸收塔的洗涤液循环回路上设置有第一洗涤液补液管用于外界向系统内输入洗涤液；两洗涤吸收装置之间以及每一洗涤吸收装置的洗涤器和氟吸收塔之间均通过补液管网相互连通进行洗涤液补液。

进一步地，所述洗涤器的洗涤液循环回路包括依次连通的洗涤器大气腿、﹑循环泵进液管﹑循环泵和洗涤器进液管；循环泵的进口通过循环泵进液管﹑洗涤器大气腿与洗涤器底部的出液口连通，出口通过洗涤器进液管与洗涤器侧壁喷淋装置的进液口连通；所述氟吸收塔的洗涤液循环回路包括依次连通的氟吸收塔大气腿、第一循环槽﹑循环泵进液管﹑循环泵﹑氟吸收塔进液管和洗涤液分布器，第一循环槽顶部的进液口通过氟吸收塔大气腿与氟吸收塔底部的出液口连通，循环泵的进口通过循环泵进液管与第一循环槽底部的出液口连通，出口通过氟吸收塔进液管和洗涤液分布器与氟吸收塔侧壁喷淋装置的进液口连通。

进一步地，所述洗涤器为管式洗涤器或文丘里洗涤器或鼓式洗涤器组件中的一种。

进一步地，所述鼓式洗涤器组件包括至少1个相互串联的鼓式洗涤器。

进一步地，所述前一洗涤吸收装置中的第一循环槽安装有搅拌装置。

进一步地，所述洗涤器的洗涤液循环回路上还设置有第二循环槽，第二循环槽顶部的进液口与洗涤器大气腿连通，底部的出液口与循环泵进液管连通；前一洗涤吸收装置中的第二循环槽安装有搅拌装置。

进一步地，所述第一洗涤液补液管与后一洗涤吸收装置中的第一循环槽连通输入洗涤液；后一洗涤吸收装置中的洗涤器进液管上外接有第二洗涤液补液管，第二洗涤液补液管与前一洗涤吸收装置中的第一循环槽连通；两套洗涤吸收装置中的氟吸收塔进液管上均外接有第三洗涤液补液管，第三洗涤液补液管与洗涤器大气腿连通。

进一步地，所述第一洗涤液补液管与后一洗涤吸收装置中的第一循环槽连通输入洗涤液；后一洗涤吸收装置中的第二循环槽通过第四洗涤液补液管与前一洗涤吸收装置中的第一循环槽连通；同一洗涤吸收装置内的第一循环槽和第二循环槽之间通过第五洗涤液补液管相互连通。

进一步地，相邻的两洗涤吸收装置之间通过氟吸收塔出气管连通；所述氟吸收塔出气管的一端与氟吸收塔出气弯头法兰连接，氟吸收塔出气弯头与前一洗涤吸收装置中的氟吸收塔出气口法兰连接；氟吸收塔出气管的另一端与洗涤器进气弯头法兰连接，洗涤器进气弯头与后一洗涤吸收装置中的洗涤器进气口法兰连接。

进一步地，所述洗涤器底部的出气口通过洗涤器出气三通﹑氟吸收塔进气管以及设置在氟吸收塔内的氟吸收塔进气弯头与氟吸收塔连通；所述洗涤器出气三通主管的一端与洗涤器底部的出气口法兰连接，另一端与洗涤器大气腿法兰连接，洗涤器出气三通支管与氟吸收塔进气管法兰连接，氟吸收塔进气弯头一端位于氟吸收塔内部且出气口竖直朝下，另一端与氟吸收塔进气管法兰连接。

进一步地，所述前一洗涤吸收装置中洗涤器顶部的进气口通过洗涤器进气弯头与含氟尾气进气管连通，洗涤器进气弯头的一端与洗涤器的进气口法兰连接，另一端与含氟尾气进气管法兰连接；所述后一洗涤吸收装置中氟吸收塔顶部的出气口通过氟吸收塔出气弯头与净化尾气出气管连通，氟吸收塔出气弯头的一端与氟吸收塔的出气口法兰连接，另一端与净化尾气出气管法兰连接。

进一步地，所述洗涤器的洗涤器进液管通过其分支管与喷淋装置连通，分支管的出液口与喷淋装置的进液口法兰连接；所述氟吸收塔的氟吸收塔进液管通过其分支管与洗涤液分布器连通，分支管的出液口与洗涤液分布器的进液口法兰连接。

进一步地，所述氟吸收塔的外壁上至少设有一层洗涤液分布器，通过洗涤液分布器将来自氟吸收塔进液管的洗涤液均匀地分流至氟吸收塔的喷淋装置，洗涤液分布器的进液口与氟吸收塔进液管分支管的出液口法兰连接，出液口与喷淋装置的进液口法兰连接。

进一步地，所述管式洗涤器至少设有一层喷淋装置。

进一步地，所述含氟尾气进气管、氟吸收塔进气管、氟吸收塔、氟吸收塔出气管、净化尾气出气管、第一循环槽和第二循环槽上均设置有人孔。

本实用新型具有如下有益效果：

1、本实用新型中设置了两套相互连通的洗涤吸收装置，首先，每一洗涤吸收装置均包括洗涤器和氟吸收塔，每一洗涤器和氟吸收塔均形成各自独立的洗涤液循环系统，每一套洗涤吸收装置的洗涤器与氟吸收塔不再共用同一洗涤液循环系统，从而实现逐级洗涤吸收的目的；其次，洗涤液从后一洗涤吸收装置的第一循环槽进入系统内，在循环槽和循环泵的作用下，从后一洗涤吸收装置流向前端的洗涤吸收装置，不仅与含氟尾气的走向相反，而且增加了含氟尾气的气体洗涤级数以及洗涤液循环级数，由现有技术的二到三级增加到经过本实用新型双重洗涤吸收装置的四级，由此增加用于洗涤吸收含氟尾气中四氟化硅的洗涤液及含氟尾气的浓度梯度及温差，两者共同作用能够用更少的洗涤液更彻底地吸收含氟尾气中的四氟化硅，得到更加洁净的净化尾气，得到更高浓度的成品氟硅酸，成品氟硅酸其H2SiF6含量可达20%以上，成品氟硅酸可不经过处理直接去加工其它高附加值的产品，节约了成本；本实用新型的含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统大大提高了尾气净化能力和循环回收利用能力。

2、本实用新型中由两套洗涤吸收装置相互连通构成，但是两套洗涤吸收装置之间是通过可拆卸的氟吸收塔出气管相连，每一套洗涤吸收装置中的洗涤器和氟吸收塔之间也是相互连通的，但是无论是洗涤器、氟吸收塔，还是循环泵和循环槽，彼此之间的连接也都是通过可拆卸的零部件相连，本实用新型的结构设计和连接方式更加合理、便于维护、便于清理、便于疏通、便于拆卸和安装，实用可靠、洗涤吸收效率高，可用于各种浓度含氟尾气的洗涤吸收。

附图说明

图1为本实用新型中实施例1的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图2为本实用新型中实施例2的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图3为本实用新型中实施例3的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图4为本实用新型中实施例4的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图5为本实用新型中实施例5的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图6为本实用新型中实施例6的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图7为本实用新型中实施例7的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图8为本实用新型中实施例8的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图9为本实用新型中实施例9的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图10为本实用新型中实施例10的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图11为本实用新型中实施例11的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图12为本实用新型中实施例12的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图13为本实用新型中实施例13的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图14为本实用新型中实施例14的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图15为本实用新型中实施例15的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图16为本实用新型中实施例16的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图17为本实用新型中实施例17的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图；

图18为本实用新型中实施例18的含氟尾气中四氟化硅洗涤工艺流程原理图。

图中附图标记表示为：

1、洗涤吸收装置；2、洗涤器；21、洗涤器大气腿；22、洗涤器进液管；23、成品氟硅酸出液管；24、第二循环槽；25、喷淋装置；26、管式洗涤器；27、文丘里洗涤器；271、进气管；272﹑出气管；28、鼓式洗涤器组件；281、鼓式洗涤器；282、连通管；3、氟吸收塔；31、氟吸收塔大气腿；32、氟吸收塔进液管；33、第一循环槽；34、洗涤液分布器；4、循环泵；41﹑循环泵进液管；51、第一洗涤液补液管；52、第二洗涤液补液管；53、第三洗涤液补液管；54、第四洗涤液补液管；55、第五洗涤液补液管；6、氟吸收塔出气管；7、含氟尾气进气管；8、净化尾气出气管；9、氟吸收塔进气管；10、洗涤器进气弯头；11﹑洗涤器出气三通；12、氟吸收塔进气弯头；13、氟吸收塔出气弯头；14、人孔；15﹑搅拌装置。

具体实施方式

下面结合具体实施例来对本实用新型进行详细的说明。

实施例1

参见图1，一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，包括两套相互连通的洗涤吸收装置1；每一套洗涤吸收装置1包括相互连通的洗涤器2和氟吸收塔3；前一洗涤吸收装置1的洗涤器2的进气口与含氟尾气进气管7连通，后一洗涤吸收装置1的氟吸收塔3的出气口与净化尾气出气管8连通；所述含氟尾气进气管7通过洗涤器进气弯头10与洗涤器2顶部的进气口连通进行初次尾气净化，洗涤器进气弯头10的两端分别与含氟尾气进气管7的端头和洗涤器2的顶部进气口法兰连接；所述净化尾气出气管8通过氟吸收塔出气弯头13与氟吸收塔3顶部的出气口连通排出净化后的尾气，氟吸收塔出气弯头13的两端分别与净化尾气出气管8的端头和氟吸收塔3顶部的出气口法兰连接；所述洗涤器2和氟吸收塔3均设置有洗涤液循环回路，通过洗涤器2的洗涤液循环回路将洗涤液从洗涤器2底部出液口回流至洗涤器2侧壁的进液口，通过氟吸收塔3的洗涤液循环回路将洗涤液从氟吸收塔3底部出液口回流至氟吸收塔3侧壁的进液口；所述洗涤器2的洗涤液循环回路包括依次连通的洗涤器大气腿21、循环泵进液管41﹑循环泵4和洗涤器进液管22；循环泵4的进口通过循环泵进液管41﹑洗涤器大气腿21与洗涤器2底部出液口连通，出口通过洗涤器进液管22与洗涤器2侧壁喷淋装置25的进液口连通，进而实现洗涤器2的洗涤液在洗涤液循环回路内的往复循环；氟吸收塔3的洗涤液循环回路包括依次连通的氟吸收塔大气腿31、第一循环槽33﹑循环泵进液管41﹑循环泵4﹑氟吸收塔进液管32和洗涤液分布器34；第一循环槽33顶部的进液口通过氟吸收塔大气腿31与氟吸收塔底部的出液口连通；循环泵4的进口通过循环泵进液管41与第一循环槽33底部的出液口连通，出口通过氟吸收塔进液管32﹑洗涤液分布器34与氟吸收塔3侧壁喷淋装置25的进液口连通，进而实现氟吸收塔3的洗涤液在洗涤液循环回路内的往复循环；洗涤器2和氟吸收塔3的洗涤液循环回路是各自独立循环系统且不共用；前一洗涤吸收装置1中洗涤器2的洗涤液循环回路上连接成品氟硅酸出液管23用于排出成品氟硅酸，后一洗涤吸收装置1中氟吸收塔3的洗涤液循环回路上设置有第一洗涤液补液管51，第一洗涤液补液管51与第一循环槽33连通，由外界向整个处理系统内输入洗涤液，两洗涤吸收装置1之间以及每一洗涤吸收装置1中的洗涤器2和氟吸收塔3之间均通过补液管网相互连通进行洗涤液补液，逐级洗涤时洗涤液与含氟尾气呈逆向流动，使得洗涤液与含氟尾气更充分的接触，有利于达到更好的洗涤吸收处理效果和提高成品氟硅酸的浓度。

其中，所述洗涤器2均为管式洗涤器26，在每一洗涤吸收装置1中，管式洗涤器26顶部进气口与洗涤器进气弯头10法兰连接，管式洗涤器26底部出气口与洗涤器出气三通11主管的一端法兰连接，洗涤器出气三通11主管的另一端与洗涤器大气腿21法兰连接，使得管式洗涤器26与洗涤器大气腿21连通；在前一洗涤吸收装置1中洗涤器进气弯头10与含氟尾气进气管7法兰连接，使得管式洗涤器26与含氟尾气进气管7连通。

其中，相邻的两洗涤吸收装置1之间通过氟吸收塔出气管6连通；所述氟吸收塔出气管6的一端与氟吸收塔出气弯头13法兰连接，氟吸收塔出气弯头13与前一洗涤吸收装置1中的氟吸收塔3顶部的出气口法兰连接；所述氟吸收塔出气管6的另一端与洗涤器进气弯头10法兰连接，洗涤器进气弯头10与后一洗涤吸收装置1中的管式洗涤器26顶部的进气口连通，通过氟吸收塔出气管6将两套洗涤吸收装置1连通，同时将经过前一洗涤吸收装置1净化处理后的含氟尾气导入至后一洗涤吸收装置1进行再次净化处理。

其中，所述管式洗涤器26底部的出气口通过洗涤器出气三通11﹑氟吸收塔进气管9和氟吸收塔进气弯头12与氟吸收塔3连通；所述洗涤器出气三通11主管的一端与洗涤器2底部的出气口法兰连接，洗涤器出气三通11支管与氟吸收塔进气管9的一端法兰连接；所述氟吸收塔进气弯头12一端的出气口位于氟吸收塔3内部且竖直朝下，另一端与氟吸收塔进气管9法兰连接，进而将同一洗涤吸收装置1中的管式洗涤器26与氟吸收塔3连通，将经过管式洗涤器26洗涤吸收后的含氟尾气引入氟吸收塔3中进行再次洗涤吸收处理。

其中，所述管式洗涤器26的洗涤器进液管22通过其分支管与喷淋装置25连通，分支管的出液口与喷淋装置25的进液口法兰连接，通过管式洗涤器26进液管22的分支管将来自洗涤器进液管22的洗涤液分流到洗涤器2内的喷淋装置25，并由喷淋装置25实施对含氟尾气的喷洒洗涤；所述氟吸收塔3的氟吸收塔进液管32通过其分支管以及洗涤液分布器34连通喷淋装置25，所述洗涤液分布器34的进液口与氟吸收塔进液管32的分支管法兰连接，出液口与喷淋装置25的进液口法兰连接，通过氟吸收塔进液管32的分支管及洗涤器分布器34将来自氟吸收塔进液管32的洗涤液均匀地分流到氟吸收塔3内的喷淋装置25，并由喷淋装置25实施对含氟尾气的喷洒洗涤。

其中，所述管式洗涤器26至少设有一层喷淋装置25，从而实现对管式洗涤器26内的含氟尾气进行多层次的喷洒洗涤。

其中，所述氟吸收塔3至少设有一层洗涤液分布器34及喷淋装置25，从而实现对氟吸收塔3内的含氟尾气进行多层次的喷洒洗涤。

进一步地，前一洗涤吸收装置1中的第一循环槽33安装有搅拌装置15，以避免硅胶﹑渣酸等在循环槽内的沉积。

进一步地，所述管式洗涤器26的洗涤液循环回路和氟吸收塔3的洗涤液循环回路通过补液管网进行连通且共同作用来实现洗涤液在整个洗涤处理系统内的循环，保证含氟尾气能够得到的逐级充分洗涤，增加了洗涤液循环级数和浓度梯度差，有利于提高成品氟硅酸的浓度和含氟尾气的净化效果；后一洗涤吸收装置1中的洗涤器进液管22上外接有第二洗涤液补液管52，第二洗涤液补液管52与前一洗涤吸收装置1中的第一循环槽33连通，通过第二洗涤液补液管52将后一洗涤吸收装置1的洗涤液循环体系中的洗涤液分流输送到前一洗涤吸收装置1的洗涤液循环体系中，实现两套洗涤吸收装置1之间洗涤液输送的连通；两套洗涤吸收装置1中的氟吸收塔进液管32上均外接有第三洗涤液补液管53，第三洗涤液补液管53与洗涤器大气腿21连通，通过第三洗涤液补液管53将氟吸收塔3的洗涤液循环回路中的洗涤液分流输送到管式洗涤器26的洗涤液循环回路中，实现管式洗涤器26的洗涤液循环回路与氟吸收塔3的洗涤液循环回路的连通。

实施例2

参见图2，实施例2中两套洗涤吸收装置1的连通方式与实施例1中两套洗涤吸收装置1的连通方式基本相同，不同之处在于：在实施例2中所述管式洗涤器26底部连通的洗涤器大气腿21与循环泵进液管41之间还串联有第二循环槽24，所述管式洗涤器26底部通过洗涤器大气腿21与第二循环槽24顶部的进液口连接，第二循环槽24的出液口通过循环泵进液管41与循环泵4的进液口连通，循环泵4的出液口通过洗涤器进液管22及其分支管连接至管式洗涤器26侧壁喷淋装置25的进液口，由设置在管式洗涤器2内的喷淋装置25进行洗涤液喷洒洗涤，位于前一洗涤吸收装置1中的第二循环槽24安装有搅拌桨。

进一步地，后一洗涤吸收装置1中的第二循环槽24通过第四洗涤液补液管54与前一洗涤吸收装置1中的第一循环槽33连通，通过第四洗涤液补液管54将后一洗涤吸收装置1的洗涤液循环体系中的洗涤液分流输送至处于前一洗涤吸收装置1的洗涤液循环体系中，为前一洗涤吸收装置1提供洗涤液的同时，能够实现洗涤液的逐级利用，增加洗涤液循环级数和浓度梯度差；同一洗涤吸收装置1内的第一循环槽33和第二循环槽24之间通过第五洗涤液补液管55相互连通，通过第五洗涤液补液管55将氟吸收塔3的洗涤液循环回路中的洗涤液分流输送至洗涤器2的洗涤液循环回路中，也能够增加同一洗涤吸收装置1中洗涤液循环级数和浓度梯度差。

实施例3

参见图3，实施例3中两套洗涤吸收装置1的连通方式与实施例1中两套洗涤吸收装置1的连通方式基本相同，不同之处在于：两洗涤吸收装置1中的洗涤器2均为文丘里洗涤器27；所述文丘里洗涤器27的顶部进气口通过进气管271与含氟尾气进气管7连通，底部出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例4

参见图4，实施例4中两套洗涤吸收装置1的连通方式与实施例2中两套洗涤吸收装置1的连通方式基本相同，不同之处在于：两洗涤吸收装置1中的洗涤器2均为文丘里洗涤器27；所述文丘里洗涤器27顶部的进气口通过进气管271与含氟尾气进气管7连通，底部的出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例5

参见图5，实施例5中两套洗涤吸收装置1的连通方式与实施例1中两套洗涤吸收装置1的连通方式基本相同，不同之处在于：两洗涤吸收装置1中的洗涤器2均为鼓式洗涤器组件28，所述鼓式洗涤器组件28包括3个相互串联的鼓式洗涤器281，上下相邻的鼓式洗涤器281通过连通管282串联；所述鼓式洗涤器组件28顶部的进气口通过进气管271与含氟尾气进气管7连通，底部的出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例6

参见图6，实施例6中两套洗涤吸收装置1的连通方式与实施例2中两套洗涤吸收装置1的连通方式基本相同，不同之处在于：两洗涤吸收装置1中的洗涤器2均为鼓式洗涤器组件28，所述鼓式洗涤器组件28包括3个相互串联的鼓式洗涤器281，上下相邻的鼓式洗涤器281通过连通管282串联；所述鼓式洗涤器组件28顶部的进气口通过进气管271与含氟尾气进气管7连通，底部的出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例7

参见图7，实施例7与实施例1的区别在于：前一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为文丘里洗涤器27；所述文丘里洗涤器27的顶部进气口通过进气管271与含氟尾气进气管7连通，底部出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例8

参见图8，实施例8与实施例2的区别在于：前一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为文丘里洗涤器27；所述文丘里洗涤器27的顶部进气口通过进气管271与含氟尾气进气管7连通，底部出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例9

参见图9，实施例9与实施例1的区别在于：前一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为鼓式洗涤器组件28；所述鼓式洗涤器组件28包括3个相互串联的鼓式洗涤器281，上下相邻的鼓式洗涤器281通过连通管282串联；所述鼓式洗涤器组件28顶部的进气口通过进气管271与含氟尾气进气管7连通，底部的出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例10

参见图10，实施例10与实施例2的区别在于：前一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为鼓式洗涤器组件28；所述鼓式洗涤器组件28包括3个相互串联的鼓式洗涤器281，上下相邻的鼓式洗涤器281通过连通管282串联；所述鼓式洗涤器组件28顶部的进气口通过进气管271与含氟尾气进气管7连通，底部的出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例11

参见图11，实施例11与实施例1的区别在于：后一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为文丘里洗涤器27；所述文丘里洗涤器27的顶部进气口通过进气管271与氟吸收塔出气管6连通，底部出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例12

参见图12，实施例12与实施例2的区别在于：后一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为文丘里洗涤器27，所述文丘里洗涤器27的顶部进气口通过进气管271与氟吸收塔出气管6连通，底部出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例13

参见图13，实施例13与实施例1的区别在于：后一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为鼓式洗涤器组件28，所述鼓式洗涤器组件28包括3个相互串联的鼓式洗涤器281，上下相邻的鼓式洗涤器281通过连通管282串联；所述鼓式洗涤器组件28顶部的进气口通过进气管271与氟吸收塔出气管6连通，底部的出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例14

参见图14，实施例14与实施例2的区别在于：后一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为鼓式洗涤器组件28，所述鼓式洗涤器组件28包括3个相互串联的鼓式洗涤器281，上下相邻的鼓式洗涤器281通过连通管282串联；所述鼓式洗涤器组件28顶部的进气口通过进气管271与氟吸收塔出气管6连通，底部的出气口通过出气管272与洗涤器大气腿21连通。

实施例15

参见图15，实施例15与实施例1的区别在于：前一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为鼓式洗涤器组件28，后一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为文丘里洗涤器27。

实施例16

参见图16，实施例16与实施例2的区别在于：前一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为鼓式洗涤器组件28，后一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为文丘里洗涤器27。

实施例17

参见图17，实施例17与实施例1的区别在于：前一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为文丘里洗涤器27，后一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为鼓式洗涤器组件28。

实施例18

参见图18，实施例18与实施例2的区别在于：前一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为文丘里洗涤器27，后一洗涤吸收装置1中的洗涤器2为鼓式洗涤器组件28。

进一步地，实施例1至实施例18中的含氟尾气进气管7、氟吸收塔进气管9、氟吸收塔3、氟吸收塔出气管6、净化尾气出气管8、第一循环槽33、第二循环槽24上均设置有人孔14，通过人孔14的设置能够及时监测整个系统中洗涤液与气体流通过程中各个部分的工况，方便发现问题和及时维修。

综上所述，一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统中前一洗涤吸收装置1中的洗涤器2可分别为管式洗涤器26、文丘里洗涤器27和鼓式洗涤器组件28中任一一种，后一洗涤吸收装置1中的洗涤器2可分别为管式洗涤器26、文丘里洗涤器27和鼓式洗涤器组件28中任一一种；本实用新型的洗涤处理系统中的洗涤器2可以为上述装置的两两任一组合。

在本实用新型中含氟尾气进入系统后的流动方向依次为：含氟尾气进气管7、位于前端的洗涤吸收装置1中的洗涤器进气弯头10﹑洗涤器2﹑洗涤器出气三通11、位于前端的洗涤吸收装置1中的氟吸收塔进气管9、氟吸收塔进气弯头12﹑氟吸收塔3、氟吸收塔出气弯头13﹑氟吸收塔出气管6、位于后端的洗涤吸收装置1中的洗涤器进气弯头10﹑洗涤器2、洗涤器出气三通11、位于后端的洗涤吸收装置1中的氟吸收塔进气管9、氟吸收塔进气弯头12﹑氟吸收塔3、氟吸收塔出气弯头13以及净化尾气出气管8。

实施例1洗涤液的流动方向为：洗涤液从外界经过第一洗涤液补液管51进入位于后一洗涤吸收装置1中的第一循环槽33中，第一循环槽33中的洗涤液由循环泵4抽送，经氟吸收塔进液管32及洗涤液分布器34进入氟吸收塔3内的喷淋装置25后，由喷淋装置25实施洗涤液的喷洒洗涤，喷洒洗涤后的洗涤液经氟吸收塔大气腿31回流至第一循环槽33中，由此构成氟吸收塔3的洗涤液的循环流动，同时第一循环槽33中的洗涤液由循环泵4抽送经第三洗涤液补液管53流向同一洗涤吸收装置1中的洗涤器2的洗涤液循环回路中为洗涤器2提供或补充洗涤液，从洗涤器2底部洗涤器大气腿21回流的洗涤液由循环泵4经洗涤器进液管22送入洗涤器2内的喷淋装置25，由喷淋装置25实施洗涤液的喷洒洗涤，喷洒洗涤后的洗涤液经洗涤器大气腿21回流到循环泵4的进口，由此构成洗涤器2的洗涤液的循环流动，同时由循环泵4经第二洗涤液补液管52将来自后一洗涤吸收装置1洗涤后的洗涤液输送至前一洗涤吸收装置1的第一循环槽33中，前一洗涤吸收装置1重复上述后一洗涤吸收装置1洗涤液的循环流动过程，最终成品氟硅酸由循环泵4经成品氟硅酸出液管23排出。

实施例2洗涤液的流动方向为：洗涤液从外界经过第一洗涤液补液管51进入位于后一洗涤吸收装置1中的第一循环槽33中，第一循环槽33中的洗涤液由循环泵4抽送，经过氟吸收塔进液管32及洗涤液分布器34进入氟吸收塔3内的喷淋装置25后，由喷淋装置25实施洗涤液的喷洒洗涤，喷洒洗涤后的洗涤液经氟吸收塔大气腿31回流至第一循环槽33中，由此构成氟吸收塔3的洗涤液的循环流动，同时第一循环槽33中的洗涤液通过第五洗涤液补液管55流向同一洗涤吸收装置1中的第二循环槽24为洗涤器2提供或补充洗涤液，第二循环槽24的洗涤液由循环泵4经洗涤器进液管22送入洗涤器2内的喷淋装置25后，由喷淋装置25实施洗涤液的喷洒洗涤，喷洒洗涤后的洗涤液经洗涤器大气腿21回流到第二循环槽24中，由此构成洗涤器2的洗涤液循环流动，同时第二循环槽24中的洗涤液通过第四洗涤液补液管54流向前一洗涤吸收装置1中的第一循环槽33，前一洗涤吸收装置1重复上述后一洗涤吸收装置1洗涤液的循环流动过程，最终成品氟硅酸由循环泵4经成品氟硅酸出液管23排出。

上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (15)

1.一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：包括两套相互连通的洗涤吸收装置（1）；每一套洗涤吸收装置（1）包括相互连通的洗涤器（2）和氟吸收塔（3），前一洗涤吸收装置（1）的氟吸收塔（3）连通后一洗涤吸收装置（1）的洗涤器（2），前一洗涤吸收装置（1）的洗涤器（2）的进气口与含氟尾气进气管（7）连通，后一洗涤吸收装置（1）的氟吸收塔（3）的出气口与净化尾气出气管（8）连通；所述洗涤器（2）和氟吸收塔（3）均设置有洗涤液循环回路，通过洗涤器（2）的洗涤液循环回路将洗涤液从洗涤器（2）底部的出液口回流至洗涤器（2）侧壁的进液口，通过氟吸收塔（3）的洗涤液循环回路将洗涤液从氟吸收塔（3）底部的出液口回流至氟吸收塔（3）侧壁的进液口；前一洗涤吸收装置（1）中洗涤器（2）的洗涤液循环回路上连接成品氟硅酸出液管（23）用于排出成品氟硅酸，后一洗涤吸收装置（1）中氟吸收塔（3）的洗涤液循环回路上设置有第一洗涤液补液管（51）用于外界向系统内输入洗涤液；两洗涤吸收装置（1）之间以及每一洗涤吸收装置（1）的洗涤器（2）与氟吸收塔（3）之间均通过补液管网相互连通进行洗涤液补液。

2.如权利要求1所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述洗涤器（2）的洗涤液循环回路包括依次连通的洗涤器大气腿（21）、循环泵进液管（41）﹑循环泵（4）和洗涤器进液管（22）；循环泵（4）的进口通过循环泵进液管（41）﹑洗涤器大气腿（21）与洗涤器（2）底部的出液口连通，出口通过洗涤器进液管（22）与洗涤器（2）侧壁喷淋装置（25）的进液口连通；所述氟吸收塔（3）的洗涤液循环回路包括依次连通的氟吸收塔大气腿（31）、第一循环槽（33）﹑循环泵进液管（41）﹑循环泵（4）﹑氟吸收塔进液管（32）和洗涤液分布器（34）；第一循环槽（33）顶部的进液口通过氟吸收塔大气腿（31）与氟吸收塔（3）底部的出液口连通，循环泵（4）的进口通过循环泵进液管（41）与第一循环槽（33）底部的出液口连通，出口通过氟吸收塔进液管（32）和洗涤液分布器（34）与氟吸收塔（3）侧壁喷淋装置（25）的进液口连通。

3.如权利要求2所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述洗涤器（2）为管式洗涤器（26）或文丘里洗涤器（27）或鼓式洗涤器组件（28）中的一种。

4.如权利要求3所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述鼓式洗涤器组件（28）包括至少1个相互串联的鼓式洗涤器（281）。

5.如权利要求4所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述前一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）安装有搅拌装置（15）。

6.如权利要求5所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述洗涤器（2）的洗涤液循环回路上还设置有第二循环槽（24），第二循环槽（24）顶部的进液口与洗涤器大气腿（21）连通，底部的出液口与循环泵进液管（41）连通；前一洗涤吸收装置（1）中的第二循环槽（24）安装有搅拌装置（15）。

7.如权利要求5所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述第一洗涤液补液管（51）与后一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）连通输入洗涤液；后一洗涤吸收装置（1）中的洗涤器进液管（22）上外接有第二洗涤液补液管（52），第二洗涤液补液管（52）与前一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）连通；两套洗涤吸收装置（1）中的氟吸收塔进液管（32）上均外接有第三洗涤液补液管（53），第三洗涤液补液管（53）与洗涤器大气腿（21）连通。

8.如权利要求6所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述第一洗涤液补液管（51）与后一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）连通输入洗涤液；后一洗涤吸收装置（1）中的第二循环槽（24）通过第四洗涤液补液管（54）与前一洗涤吸收装置（1）中的第一循环槽（33）连通；同一洗涤吸收装置（1）内的第一循环槽（33）和第二循环槽（24）之间通过第五洗涤液补液管（55）相互连通。

9.如权利要求7或8任一所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：相邻的两洗涤吸收装置（1）之间通过氟吸收塔出气管（6）连通；所述氟吸收塔出气管（6）的一端与氟吸收塔出气弯头（13）法兰连接，氟吸收塔出气弯头（13）与前一洗涤吸收装置（1）中的氟吸收塔（3）出气口法兰连接；氟吸收塔出气管（6）的另一端与洗涤器进气弯头（10）法兰连接，洗涤器进气弯头（10）与后一洗涤吸收装置（1）中的洗涤器（2）进气口法兰连接。

10.如权利要求9所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述洗涤器（2）底部的出气口通过洗涤器出气三通（11）﹑氟吸收塔进气管（9）以及设置在氟吸收塔（3）内的氟吸收塔进气弯头（12）与氟吸收塔（3）连通；所述洗涤器出气三通（11）主管的一端与洗涤器（2）底部的出气口法兰连接，另一端与洗涤器大气腿（21）法兰连接，洗涤器出气三通（11）支管与氟吸收塔进气管（9）法兰连接，氟吸收塔进气弯头（12）一端位于氟吸收塔（3）内部且出气口竖直朝下，另一端与氟吸收塔进气管（9）法兰连接。

11.如权利要求10所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述前一洗涤吸收装置（1）中洗涤器（2）顶部的进气口通过洗涤器进气弯头（10）与含氟尾气进气管（7）连通，洗涤器进气弯头（10）的一端与洗涤器（2）的进气口法兰连接，另一端与含氟尾气进气管（7）法兰连接；所述后一洗涤吸收装置（1）中氟吸收塔（3）顶部的出气口通过氟吸收塔出气弯头（13）与净化尾气出气管（8）连通，氟吸收塔出气弯头（13）的一端与氟吸收塔（3）的出气口法兰连接，另一端与净化尾气出气管（8）法兰连接。

12.如权利要求11所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述洗涤器（2）的洗涤器进液管（22）通过其分支管与喷淋装置（25）连通，分支管的出液口与喷淋装置（25）的进液口法兰连接；所述氟吸收塔（3）的氟吸收塔进液管（32）通过其分支管与洗涤液分布器（34）连通，分支管的出液口与洗涤液分布器（34）的进液口法兰连接。

13.如权利要求12所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述氟吸收塔（3）的外壁上至少设有一层洗涤液分布器（34），通过洗涤液分布器（34）将来自氟吸收塔进液管（32）的洗涤液均匀地分流至氟吸收塔（3）内的喷淋装置（25），洗涤液分布器（34）的进液口与氟吸收塔进液管（32）分支管的出液口法兰连接，出液口与喷淋装置（25）的进液口法兰连接。

14.如权利要求13所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述管式洗涤器（26）至少设有一层喷淋装置（25）。

15.如权利要求14所述的一种含氟尾气中四氟化硅的洗涤处理系统，其特征在于：所述含氟尾气进气管（7）、氟吸收塔进气管（9）、氟吸收塔（3）、氟吸收塔出气管（6）、净化尾气出气管（8）、第一循环槽（33）和第二循环槽（24）上均设置有人孔（14）。

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