CN211828719U - 晶圆定位机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆定位机构，与加工主轴相邻设置，其包括调节装置、驱动装置和两个设于驱动装置的定位件，驱动装置驱动两个定位件相向运动或相背运动，两个定位件在驱动装置的驱动下相向运动即可夹持晶圆，实现晶圆的二次定位，确保晶圆和加工主轴同心设置，调节装置包括导轨组件，导轨组件布置在垂直于加工主轴的平面上，驱动装置可滑动地连接于导轨组件，当经该晶圆定位机构二次定位的晶圆出现偏心现象时，可调节驱动装置在导轨组件上的位置，进而使该晶圆定位机构夹持的晶圆与加工主轴同心，以保证该机构始终能够对晶圆实施精准定位。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工领域，特别是涉及一种晶圆定位机构。
背景技术
在某些集成电路的制造过程中，需要对晶圆的边缘进行打磨修整。为避免晶圆磨边不均匀，晶圆磨边机对晶圆工件与主轴的同心度要求较高，因此，在对晶圆进行磨边加工之前，会采用晶圆磨边机上的二次定位夹具对晶圆工件进行精准定位，然而，现有的二次定位夹具是固定连接在晶圆磨边机上的，二次定位夹具长期使用后难免会在晶圆磨边机上出现位置偏移，导致经过二次定位夹具定位的晶圆与主轴偏心，影响晶圆的加工质量。
实用新型内容
为了解决上述问题，本实用新型的目的是提供一种晶圆定位机构，以解决现有的二次定位夹具容易导致晶圆偏心的问题。
基于此，本实用新型提供了一种晶圆定位机构，所述晶圆定位机构与加工主轴相邻设置，包括调节装置、驱动装置和两个设于所述驱动装置的定位件，所述驱动装置驱动两个所述定位件相向运动或相背运动，所述调节装置包括导轨组件，所述导轨组件布置在垂直于所述加工主轴的平面上，所述驱动装置可滑动地连接于所述导轨组件。
作为优选的，所述调节装置还包括第二定位滑台和定位座，所述驱动装置连接于所述第二定位滑台，所述导轨组件包括设于所述第二定位滑台的第二定位滑槽，所述定位座可滑动地连接于所述第二定位滑槽。
作为优选的，所述调节装置还包括第一定位滑台，所述驱动装置设于所述第一定位滑台，所述导轨组件还包括设于所述第一定位滑台的第一定位滑槽，所述第二定位滑台可滑动地连接于所述第一定位滑槽，所述第一定位滑槽和第二定位滑槽相互垂直设置。
作为优选的，所述驱动装置为气缸，所述驱动装置的缸体可滑动地连接于所述导轨组件，所述驱动装置的活塞连接于所述定位件。
作为优选的，所述定位件上设有定位槽，两个所述定位槽的开口相对设置。
作为优选的，所述定位槽的横截面呈V形。
作为优选的，所述调节装置还包括设于所述定位座且平行于所述第二定位滑槽的第二调节螺杆，所述第二调节螺杆的末端连接于所述第二定位滑台。
作为优选的，所述调节装置还包括设于所述第二定位滑台且平行于所述第一定位滑槽的第一调节螺杆，所述第一调节螺杆的末端连接于所述第一定位滑台。
作为优选的，所述定位件包括连接板和夹爪，所述连接板的一端连接于所述驱动装置，另一端可拆卸地连接于所述夹爪，所述定位槽设于所述夹爪。
作为优选的，所述夹爪采用聚丙烯材质制成。
本实用新型的晶圆定位机构，与加工主轴相邻设置，其包括调节装置、驱动装置和两个设于驱动装置的定位件，驱动装置驱动两个定位件相向运动或相背运动，两个定位件在驱动装置的驱动下相向运动即可夹持晶圆，实现晶圆的二次定位，确保晶圆和加工主轴同心设置，调节装置包括导轨组件，导轨组件布置在垂直于加工主轴的平面上，驱动装置可滑动地连接于导轨组件，当经该晶圆定位机构二次定位的晶圆出现偏心现象时，可调节驱动装置在导轨组件上的位置，进而使该晶圆定位机构夹持的晶圆与加工主轴同心，以保证该机构始终能够对晶圆实施精准定位。
附图说明
图1是本实用新型实施例的晶圆定位机构的立体结构示意图；
图2是本实用新型实施例的晶圆定位机构的正视示意图；
图3是本实用新型实施例的晶圆定位机构的侧视示意图；
图4是本实用新型实施例的晶圆定位机构的俯视示意图。
其中，1、调节装置；11、第一定位滑台；111、第一定位滑槽；12、第二定位滑台；121、第二定位滑槽；122、第一调节螺杆；13、定位座；131、第二调节螺杆；2、驱动装置；3、定位件；31、定位槽；32、连接板；33、夹爪。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
结合图1至图4所示，示意性地显示了本实用新型的晶圆定位机构，该晶圆定位机构与加工主轴相邻设置，用于使晶圆与加工主轴同心设置。晶圆定位机构包括调节装置1、驱动装置2和两个设于驱动装置2的定位件3，两个定位件3分别位于加工主轴的两侧，驱动装置2驱动两个定位件3相向运动或相背运动，在对晶圆实施二次定位时，驱动装置2驱动两个定位件3相向运动以夹持晶圆，此时被夹持的晶圆与加工主轴同心设置，待晶圆完成二次定位后，驱动装置2驱动两个定位件3相背运动以释放晶圆，以便加工主轴驱动晶圆转动。调节装置1包括导轨组件，导轨组件布置在垂直于加工主轴的平面上，驱动装置2可滑动地连接于导轨组件，导轨组件使得驱动装置2(和定位件3)可以在垂直于加工主轴的平面上运动，以调节该晶圆定位机构与加工主轴的相对位置，使得位置偏移的定位件3能够在导轨组件上进行位置微调，以确保被定位件3夹持的晶圆与加工主轴同心。
具体地，调节装置1还包括第一定位滑台11、第二定位滑台12和定位座13，其中，定位座13可以通过螺栓等紧固件固定连接在晶圆磨边机的机架上。驱动装置2设于第一定位滑台11，导轨组件包括设于第一定位滑台11的第一定位滑槽111以及设于第二定位滑台12的第二定位滑槽121，第二定位滑台12可滑动地连接于第一定位滑槽111，定位座13可滑动地连接于第二定位滑槽121，第一定位滑槽111和第二定位滑槽121相互垂直设置。第一定位滑槽111和第二定位滑槽121均沿垂直于加工主轴的平面布置，第一定位滑槽111和第二定位滑槽121使得驱动装置2(和定位件3)能够沿相互垂直的两个方向进行位置调节。
为了实现对驱动装置2(和定位件3)的位置微调，调节装置1包括设于定位座13且平行于第二定位滑槽121的第二调节螺杆131以及设于所述第二定位滑台12且平行于所述第一定位滑槽111的第一调节螺杆122，第二调节螺杆131的末端连接于第二定位滑台12，第一调节螺杆122的末端连接于第一定位滑台11。旋动第一调节螺杆122即可驱动第一定位滑台11和第二定位滑台12相对运动，而旋动第二调节螺杆131即可驱动第二定位滑台12和定位座13相对运动。
进一步的，驱动装置2优选为气缸，驱动装置2的缸体连接于第一定位滑台11，驱动装置2的活塞连接于定位件3。
定位件3上设有定位槽31，两个定位槽31的开口相对设置，其中定位槽31的横截面呈V形，这使得定位件3可适配多种不同尺寸规格的晶圆。定位件3包括连接板32和夹爪33，连接板32的一端连接于驱动装置2，另一端可拆卸地连接于夹爪33，定位槽31设于夹爪33，因此，夹爪33更容易更换，当晶圆的尺寸规格与夹爪33不适配时，可快速更换夹爪33，以免耽误生产。
夹爪33采用聚丙烯材质制成，聚丙烯材料具有无色、无臭、无毒、具有耐化学性、耐热性、高强度机械性能和良好的高耐磨加工性能，不会划伤晶圆。
综上所述，本实用新型的晶圆定位机构，与加工主轴相邻设置，其包括调节装置1、驱动装置2和两个设于驱动装置2的定位件3，驱动装置2驱动两个定位件3相向运动或相背运动，两个定位件3在驱动装置2的驱动下相向运动即可夹持晶圆，实现晶圆的二次定位，确保晶圆和加工主轴同心设置，调节装置1包括导轨组件，导轨组件布置在垂直于加工主轴的平面上，驱动装置2可滑动地连接于导轨组件，当经该晶圆定位机构二次定位的晶圆出现偏心现象时，可调节驱动装置2在导轨组件上的位置，进而使该晶圆定位机构夹持的晶圆与加工主轴同心，以保证该机构始终能够对晶圆实施精准定位。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种晶圆定位机构，所述晶圆定位机构与加工主轴相邻设置，其特征在于，包括调节装置、驱动装置和两个设于所述驱动装置的定位件，所述驱动装置驱动两个所述定位件相向运动或相背运动，所述调节装置包括导轨组件，所述导轨组件布置在垂直于所述加工主轴的平面上，所述驱动装置可滑动地连接于所述导轨组件。
2.根据权利要求1所述的晶圆定位机构，其特征在于，所述调节装置还包括第二定位滑台和定位座，所述驱动装置连接于所述第二定位滑台，所述导轨组件包括设于所述第二定位滑台的第二定位滑槽，所述定位座可滑动地连接于所述第二定位滑槽。
3.根据权利要求2所述的晶圆定位机构，其特征在于，所述调节装置还包括第一定位滑台，所述驱动装置设于所述第一定位滑台，所述导轨组件还包括设于所述第一定位滑台的第一定位滑槽，所述第二定位滑台可滑动地连接于所述第一定位滑槽，所述第一定位滑槽和第二定位滑槽相互垂直设置。
4.根据权利要求1所述的晶圆定位机构，其特征在于，所述驱动装置为气缸，所述驱动装置的缸体可滑动地连接于所述导轨组件，所述驱动装置的活塞连接于所述定位件。
5.根据权利要求1所述的晶圆定位机构，其特征在于，所述定位件上设有定位槽，两个所述定位槽的开口相对设置。
6.根据权利要求5所述的晶圆定位机构，其特征在于，所述定位槽的横截面呈V形。
7.根据权利要求2所述的晶圆定位机构，其特征在于，所述调节装置还包括设于所述定位座且平行于所述第二定位滑槽的第二调节螺杆，所述第二调节螺杆的末端连接于所述第二定位滑台。
8.根据权利要求3所述的晶圆定位机构，其特征在于，所述调节装置还包括设于所述第二定位滑台且平行于所述第一定位滑槽的第一调节螺杆，所述第一调节螺杆的末端连接于所述第一定位滑台。
9.根据权利要求6所述的晶圆定位机构，其特征在于，所述定位件包括连接板和夹爪，所述连接板的一端连接于所述驱动装置，另一端可拆卸地连接于所述夹爪，所述定位槽设于所述夹爪。
10.根据权利要求9所述的晶圆定位机构，其特征在于，所述夹爪采用聚丙烯材质制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020897331.0U CN211828719U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 晶圆定位机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020897331.0U CN211828719U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 晶圆定位机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN211828719U true CN211828719U (zh) | 2020-10-30 |
Family
ID=73026042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202020897331.0U Active CN211828719U (zh) | 2020-05-25 | 2020-05-25 | 晶圆定位机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN211828719U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115513121A (zh) * | 2022-11-23 | 2022-12-23 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种晶圆承托机构及传送装置 |
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2020
- 2020-05-25 CN CN202020897331.0U patent/CN211828719U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN115513121A (zh) * | 2022-11-23 | 2022-12-23 | 智程半导体设备科技(昆山)有限公司 | 一种晶圆承托机构及传送装置 |
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Effective date of registration: 20210818 Address after: 221000 room 1241, office building, No. 11, Zhujiang East Road, high tech Industrial Development Zone, Xuzhou, Jiangsu Province Patentee after: Jiangsu pioneer Microelectronics Technology Co.,Ltd. Address before: 511500 Industrial Zone, Heyun Town, Qingxin District, Qingyuan City, Guangdong Province (next to Yuba highway) (one photo and multiple addresses) Patentee before: VITAL MATERIALS Co.,Ltd. |
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