CN211814720U - 半导体单晶合成坩锅 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及冶炼设备技术领域，更具体的说是半导体单晶合成坩锅，可以自动清理坩埚的内壁与外壁。倾倒电机带动合成坩埚转动，将合成坩埚中的冶炼的熔化液倾倒出来，然后打开翻转油缸，翻转油缸顶起翻动连接板，使翻动连接板在垂直转动底座上转动，带动合成坩埚翻转起来，当合成坩埚内壁贴合在内壁清理毛刷上时，清理电机带动转动半圆板转动，转动半圆板带动内壁清理毛刷旋转，并对合成坩埚内壁进行清理，同时打开伸缩配合气缸，伸缩配合气缸带动电机安装架和旋转电机靠近合成坩埚，并使外壁贴合半圆板带动多个外壁清理刷贴合在合成坩埚的外壁上，旋转电机带动外壁贴合半圆板和多个外壁清理刷旋转，多个外壁清理刷将合成坩埚外壁进行清理。

Description

半导体单晶合成坩锅

技术领域

本实用新型涉及冶炼设备技术领域，更具体的说是半导体单晶合成坩锅。

背景技术

公开号为CN209043024U的实用新型公开了一种坩锅，其主要技术方案包括：用于储存熔液的、与熔炉内壁相匹配的坩锅本体；设置在坩锅本体开口处的法兰环；环设在坩锅本体外壁上、用于密封熔炉开口处内壁与坩锅本体外壁之间缝隙的加强部。本实用新型的坩锅在使用时，能够降低坩锅膨胀变形或产生裂痕的概率，延长坩锅的使用寿命，减少熔炉的热散失；缺点是无法自动清理坩埚的内壁与外壁。

发明内容

本实用新型提供半导体单晶合成坩锅，其有益效果为半导体单晶合成坩锅可以自动清理坩埚的内壁与外壁。

半导体单晶合成坩锅，包括内壁清理安装底座、转动倾倒坩埚和外壁旋转清理支架，所述的外壁旋转清理支架固定连接在内壁清理安装底座右端，转动倾倒坩埚固定连接在内壁清理安装底座上，所述的内壁清理安装底座包括加热支架、底部加热炉、转动固定支架、清理立柱、清理电机、转动半圆板和内壁清理毛刷，转动半圆板上均布有多个内壁清理毛刷，转动半圆板固定连接在清理电机的输出轴上，清理电机通过螺栓可拆卸连接在清理立柱，清理立柱底端固定连接在转动固定支架上，转动固定支架固定连接在加热支架左端，底部加热炉固定连接在加热支架中部，外壁旋转清理支架固定连接在加热支架右端，转动倾倒坩埚固定连接在转动固定支架上。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型半导体单晶合成坩锅所述的转动倾倒坩埚包括合成坩埚、倾倒电机、翻动连接板、垂直转动底座、翻转油缸和油缸配合底座，合成坩埚左端固定连接在倾倒电机的输出轴上，倾倒电机通过螺栓可拆卸连接在翻动连接板右端，翻动连接板左端转动连接在垂直转动底座，垂直转动底座固定连接在转动固定支架上，翻转油缸的伸缩轴转动连接在翻动连接板底端，翻转油缸底端转动连接在油缸配合底座上，油缸配合底座底端固定连接在转动固定支架上。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型半导体单晶合成坩锅所述的外壁旋转清理支架包括高度安装立柱、伸缩配合气缸、电机安装架、旋转电机、外壁贴合半圆板和外壁清理刷，外壁贴合半圆板上均布有多个外壁清理刷，外壁贴合半圆板固定连接在旋转电机的输出轴上，旋转电机通过螺栓可拆卸连接在电机安装架上，电机安装架固定连接在伸缩配合气缸的伸缩轴上，伸缩配合气缸通过螺栓可拆卸连接在高度安装立柱顶端，高度安装立柱底端固定连接在加热支架右端。

作为本技术方案的进一步优化，本实用新型半导体单晶合成坩锅所述的多个外壁清理刷为钢刷。

本实用新型半导体单晶合成坩锅的有益效果为：

半导体单晶合成坩锅可以通过倾倒电机带动合成坩埚进行转动，将合成坩埚内冶炼的熔化液倾倒出来；还可以通过翻转油缸带动合成坩埚进行翻转，使合成坩埚内壁贴合在内壁清理毛刷上，同时通过清理电机带动内壁清理毛刷进行快速旋转，将合成坩埚内壁进行清理，将冶炼的熔化液的残渣清理干净，避免影响后续冶炼的熔化液的质量；还可以通过旋转电机带动外壁清理刷贴合在合成坩埚的外壁上，将合成坩埚外壁上加热时烧黑的部分以及脏污清理干净，避免脏污过多，使合成坩埚外壁的导热能力下降，温度升高速度减慢。

附图说明

下面结合附图和具体实施方法对本实用新型做进一步详细的说明。

图1为本实用新型半导体单晶合成坩锅的结构示意图。

图2为半导体单晶合成坩锅另一个方向的结构示意图。

图3为内壁清理安装底座的结构示意图。

图4为转动倾倒坩埚的结构示意图。

图5为外壁旋转清理支架的结构示意图。

图中：内壁清理安装底座1；加热支架1-1；底部加热炉1-2；转动固定支架1-3；清理立柱1-4；清理电机1-5；转动半圆板1-6；内壁清理毛刷1-7；转动倾倒坩埚2；合成坩埚2-1；倾倒电机2-2；翻动连接板2-3；垂直转动底座 2-4；翻转油缸2-5；油缸配合底座2-6；外壁旋转清理支架3；高度安装立柱 3-1；伸缩配合气缸3-2；电机安装架3-3；旋转电机3-4；外壁贴合半圆板3-5；外壁清理刷3-6。

具体实施方式

具体实施方式一：

下面结合图1、2、3、4、5说明本实施方式，本实用新型涉及冶炼设备技术领域，更具体的说是半导体单晶合成坩锅，包括内壁清理安装底座1、转动倾倒坩埚2和外壁旋转清理支架3，所述的外壁旋转清理支架3固定连接在内壁清理安装底座1右端，转动倾倒坩埚2固定连接在内壁清理安装底座1上，其特征在于：所述的内壁清理安装底座1包括加热支架1-1、底部加热炉1-2、转动固定支架1-3、清理立柱1-4、清理电机1-5、转动半圆板1-6和内壁清理毛刷 1-7，转动半圆板1-6上均布有多个内壁清理毛刷1-7，转动半圆板1-6固定连接在清理电机1-5的输出轴上，清理电机1-5通过螺栓可拆卸连接在清理立柱 1-4，清理立柱1-4底端固定连接在转动固定支架1-3上，转动固定支架1-3固定连接在加热支架1-1左端，底部加热炉1-2固定连接在加热支架1-1中部，外壁旋转清理支架3固定连接在加热支架1-1右端，转动倾倒坩埚2固定连接在转动固定支架1-3上；底部加热炉1-2为合成坩埚2-1进行加热，当合成坩埚2-1内壁贴合在内壁清理毛刷1-7上时，清理电机1-5带动转动半圆板1-6 转动，转动半圆板1-6带动内壁清理毛刷1-7旋转，并对合成坩埚2-1内壁进行清理。

具体实施方式二：

下面结合图1、2、3、4、5说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的转动倾倒坩埚2包括合成坩埚2-1、倾倒电机2-2、翻动连接板2-3、垂直转动底座2-4、翻转油缸2-5和油缸配合底座2-6，合成坩埚2-1 左端固定连接在倾倒电机2-2的输出轴上，倾倒电机2-2通过螺栓可拆卸连接在翻动连接板2-3右端，翻动连接板2-3左端转动连接在垂直转动底座2-4，垂直转动底座2-4固定连接在转动固定支架1-3上，翻转油缸2-5的伸缩轴转动连接在翻动连接板2-3底端，翻转油缸2-5底端转动连接在油缸配合底座2-6 上，油缸配合底座2-6底端固定连接在转动固定支架1-3上；倾倒电机2-2带动合成坩埚2-1转动，将合成坩埚2-1中的冶炼的熔化液倾倒出来，翻转油缸 2-5顶起翻动连接板2-3，使翻动连接板2-3在垂直转动底座2-4上转动，带动合成坩埚2-1翻转起来。

具体实施方式三：

下面结合图1、2、3、4、5说明本实施方式，本实施方式对实施方式二作进一步说明，所述的外壁旋转清理支架3包括高度安装立柱3-1、伸缩配合气缸 3-2、电机安装架3-3、旋转电机3-4、外壁贴合半圆板3-5和外壁清理刷3-6，外壁贴合半圆板3-5上均布有多个外壁清理刷3-6，外壁贴合半圆板3-5固定连接在旋转电机3-4的输出轴上，旋转电机3-4通过螺栓可拆卸连接在电机安装架3-3上，电机安装架3-3固定连接在伸缩配合气缸3-2的伸缩轴上，伸缩配合气缸3-2通过螺栓可拆卸连接在高度安装立柱3-1顶端，高度安装立柱3-1 底端固定连接在加热支架1-1右端；当合成坩埚2-1翻转立起来时，伸缩配合气缸3-2带动电机安装架3-3和旋转电机3-4靠近合成坩埚2-1，并使外壁贴合半圆板3-5带动多个外壁清理刷3-6贴合在合成坩埚2-1的外壁上，旋转电机 3-4带动外壁贴合半圆板3-5和多个外壁清理刷3-6旋转，多个外壁清理刷3-6 将合成坩埚2-1外壁进行清理。

具体实施方式四：

下面结合图1、2、3、4、5说明本实施方式，本实施方式对实施方式三作进一步说明，所述的多个外壁清理刷3-6为钢刷；能够将合成坩埚2-1外壁上的顽固污渍清理下来。

本实用新型半导体单晶合成坩锅的工作原理：底部加热炉1-2为合成坩埚 2-1进行加热，加热完毕后，倾倒电机2-2带动合成坩埚2-1转动，将合成坩埚 2-1中的冶炼的熔化液倾倒出来，然后打开翻转油缸2-5，翻转油缸2-5顶起翻动连接板2-3，使翻动连接板2-3在垂直转动底座2-4上转动，带动合成坩埚 2-1翻转起来，当合成坩埚2-1内壁贴合在内壁清理毛刷1-7上时，清理电机 1-5带动转动半圆板1-6转动，转动半圆板1-6带动内壁清理毛刷1-7旋转，并对合成坩埚2-1内壁进行清理，同时打开伸缩配合气缸3-2，伸缩配合气缸3-2带动电机安装架3-3和旋转电机3-4靠近合成坩埚2-1，并使外壁贴合半圆板 3-5带动多个外壁清理刷3-6贴合在合成坩埚2-1的外壁上，旋转电机3-4带动外壁贴合半圆板3-5和多个外壁清理刷3-6旋转，多个外壁清理刷3-6将合成坩埚2-1外壁进行清理。

当然，上述说明并非对本实用新型的限制，本实用新型也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.半导体单晶合成坩锅，包括内壁清理安装底座(1)、转动倾倒坩埚(2)和外壁旋转清理支架(3)，所述的外壁旋转清理支架(3)固定连接在内壁清理安装底座(1)右端，转动倾倒坩埚(2)固定连接在内壁清理安装底座(1)上，其特征在于：所述的内壁清理安装底座(1)包括加热支架(1-1)、底部加热炉(1-2)、转动固定支架(1-3)、清理立柱(1-4)、清理电机(1-5)、转动半圆板(1-6)和内壁清理毛刷(1-7)，转动半圆板(1-6)上均布有多个内壁清理毛刷(1-7)，转动半圆板(1-6)固定连接在清理电机(1-5)的输出轴上，清理电机(1-5)通过螺栓可拆卸连接在清理立柱(1-4)，清理立柱(1-4)底端固定连接在转动固定支架(1-3)上，转动固定支架(1-3)固定连接在加热支架(1-1)左端，底部加热炉(1-2)固定连接在加热支架(1-1)中部，外壁旋转清理支架(3)固定连接在加热支架(1-1)右端，转动倾倒坩埚(2)固定连接在转动固定支架(1-3)上。

2.根据权利要求1所述的半导体单晶合成坩锅，其特征在于：所述的转动倾倒坩埚(2)包括合成坩埚(2-1)、倾倒电机(2-2)、翻动连接板(2-3)、垂直转动底座(2-4)、翻转油缸(2-5)和油缸配合底座(2-6)，合成坩埚(2-1)左端固定连接在倾倒电机(2-2)的输出轴上，倾倒电机(2-2)通过螺栓可拆卸连接在翻动连接板(2-3)右端，翻动连接板(2-3)左端转动连接在垂直转动底座(2-4)，垂直转动底座(2-4)固定连接在转动固定支架(1-3)上，翻转油缸(2-5)的伸缩轴转动连接在翻动连接板(2-3)底端，翻转油缸(2-5)底端转动连接在油缸配合底座(2-6)上，油缸配合底座(2-6)底端固定连接在转动固定支架(1-3)上。

3.根据权利要求2所述的半导体单晶合成坩锅，其特征在于：所述的外壁旋转清理支架(3)包括高度安装立柱(3-1)、伸缩配合气缸(3-2)、电机安装架(3-3)、旋转电机(3-4)、外壁贴合半圆板(3-5)和外壁清理刷(3-6)，外壁贴合半圆板(3-5)上均布有多个外壁清理刷(3-6)，外壁贴合半圆板(3-5)固定连接在旋转电机(3-4)的输出轴上，旋转电机(3-4)通过螺栓可拆卸连接在电机安装架(3-3)上，电机安装架(3-3)固定连接在伸缩配合气缸(3-2)的伸缩轴上，伸缩配合气缸(3-2)通过螺栓可拆卸连接在高度安装立柱(3-1)顶端，高度安装立柱(3-1)底端固定连接在加热支架(1-1)右端。

4.根据权利要求3所述的半导体单晶合成坩锅，其特征在于：所述的多个外壁清理刷(3-6)为钢刷。

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