CN211788334U - 超导排型柔性传输线结构 - Google Patents

Abstract

一种超导排型柔性传输线结构，包括：第一柔性绝缘层；第二柔性绝缘层；以及设置于第一柔性绝缘层和第二柔性绝缘层之间的箔片式传输线结构；其中，箔片式传输线结构包括间隔排列的第一超导箔片和第二超导箔片，第一超导箔片作为信号线，第二超导箔片作为地线；第一超导箔片和第二超导箔片均为现有超导金属制作而成的箔片。利用绝缘介质薄膜和超导金属箔片形成具有柔韧性的超导排型线缆，与经典的同轴线缆相比，集成度可以更高，安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，便于进行工业化生产。由于箔片式传输线结构采用超导箔片，在超导环境下，该超导排型柔性传输线结构还具有减少漏热的优点。

Description

超导排型柔性传输线结构

技术领域

本公开属于超导量子处理技术领域，涉及一种超导排型柔性传输线结构。

背景技术

超导量子处理器工作在绝对零度附近，其自身处于超导状态，它的控制信号一般采用同轴线的形式从室温逐级连接到处于绝对零度附近超导芯片上。如果传递信号的传输线不超导，将会形成高温区到低温区的热量传递通道(漏热)，从而影响/浪费制冷机的制冷能力。如果能在所有温度区间或者部分温度区间能够使用超导信号传输线，利用超导体的绝热特性，将大大改善漏热的问题。

现有能够见到的业界超导线都是同轴线缆型的单根线缆，主要材料是铌，铌钛，铝等。不仅成本高，而且其单根线的设计，使得高密度使用体积大，连接不便，使用严重受限。

而随着超导量子芯片的规模不断扩大，信号线数量急剧上升，提升超导线缆的集成度成为具有实际意义的问题。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本公开提供了一种超导排型柔性传输线结构，以至少部分解决以上所提出的技术问题。

(二)技术方案

根据本公开的一个方面，提供了一种超导排型柔性传输线结构，包括：第一柔性绝缘层；第二柔性绝缘层；箔片式传输线结构，设置于所述第一柔性绝缘层和所述第二柔性绝缘层之间；其中，所述箔片式传输线结构包括间隔排列的第一超导箔片和第二超导箔片，所述第一超导箔片作为信号线，所述第二超导箔片作为地线；所述第一超导箔片和所述第二超导箔片均为超导金属制作而成的箔片。上述超导金属均有现有技术中的材料。

在本公开的一实施例中，所述第一超导箔片和所述第二超导箔片的厚度低于0.05mm。

在本公开的一实施例中，所述箔片式传输线结构包括至少一个第一超导箔片，每个第一超导箔片的两侧为第二超导箔片。

在本公开的一实施例中，所述箔片式传输线结构包括至少两个第二超导箔片，所述至少两个第二超导箔片之间电性连接。

在本公开的一实施例中，超导排型柔性传输线结构，还包括：第一地线互连金属层，所述第一柔性绝缘层和/或所述第二柔性绝缘层中设置有开窗，所述开窗的位置与每个所述第二超导箔片所在位置对应，所述第一地线互连金属层穿过所述开窗与所述第二超导箔片电性连接，以实现所有第二超导箔片之间的电性连接。

在本公开的一实施例中，所述第一地线互连金属层为金属箔条，该金属箔条的厚度低于0.05mm。

在本公开的一实施例中，超导排型柔性传输线结构，还包括：第二地线互连金属层，所述至少两个第二超导箔片的长度满足：存在能够延伸并折叠至所述第一柔性绝缘层或所述第二柔性绝缘层外表面的部分，所述第二地线互连金属层通过与每个所述第二超导箔片的折叠至所述第一柔性绝缘层或所述第二柔性绝缘层外表面的部分电性连接，以实现所有第二超导箔片之间的电性连接。

超导排型柔性传输线结构，所述第二地线互连金属层为金属箔条，该金属箔条的厚度低于0.05mm。

超导排型柔性传输线结构，所述至少两个第二超导箔片通过与连接器进行连接以实现电性互连。

超导排型柔性传输线结构，所述第一超导箔片和所述第二超导箔片为长条状；所述超导排型柔性传输线结构绕着平行于所述长条状延伸方向呈卷曲结构，或者所述超导排型柔性传输线结构沿着平行于所述长条状延伸方向呈弯折结构。

(三)有益效果

从上述技术方案可以看出，本公开提供的超导排型柔性传输线结构，具有以下有益效果：

(1)通过在两个柔性绝缘层之间设置箔片式传输线结构，信号线和地线均为超导箔片，利用绝缘介质薄膜和超导金属箔片可以制作成具有柔韧性的超导排型线缆，与经典的同轴线缆相比，超导金属箔片可以通过贴附的形式固定于两个柔性绝缘层之间，集成度可以更高，安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。

(2)该超导排型柔性传输线结构能够解决超导量子处理大规模高密度信号连接的需求，并由于箔片式传输线结构采用超导箔片，具有减少漏热的优点。

(3)箔片式传输线结构中，所有地线之间的电性连接方式多种多样，便于工业化生产。例如，可以通过与连接器进行连接以实现互连；也可以通过在柔性绝缘层中设置开窗，利用第一地线互连金属层穿过开窗与每个第二超导箔片电性连接，以实现所有第二超导箔片之间的电性连接；也可以设置用作地线的第二超导箔片的长度较长，可以包括能够延伸并折叠至所述第一柔性绝缘层或所述第二柔性绝缘层外表面的部分，从而利用第二地线互连金属层与该部分的第二超导箔片电性连接，以实现所有第二超导箔片之间的电性连接。

附图说明

图1为根据本公开一实施例所示的超导排型柔性传输线结构的结构示意图。

图2为如图1所示的超导排型柔性传输线结构的爆炸示意图。

图3为本公开实施例的超导排型柔性传输线结构绕着轴线卷曲的一种示例。

图4为本公开实施例的超导排型柔性传输线结构进行弯折的一种示例。

图5为根据本公开一实施例所示的超导排型柔性传输线结构中地线之间互连的示意图。

图6为如图5所示的超导排型柔性传输线结构不含第一地线互连金属层的爆炸示意图。

图7为根据本公开另一实施例所示的超导排型柔性传输线结构的爆炸示意图。

图8为如图7所示的超导排型柔性传输线结构中不含第二地线互连金属层的俯视图。

【符号说明】

11-第一柔性绝缘层； 12-第二柔性绝缘层；

20-箔片式传输线结构；

21-第一超导箔片； 22-第二超导箔片；

23-间距；

13-开窗； 110-特定区域；

31-第一地线互连金属层；

22a-内部的第二超导箔片；

22b-折叠于外部的第二超导箔片；

32-第二地线互连金属层。

具体实施方式

超导同轴线缆最典型的问题是其集成度不够高，当超导量子芯片需要大规模信号连接时，同轴线的连接形式，将占用大量的体积，不利于量子处理器规模的扩展。

为解决超导同轴线集成度不够的问题，只能考虑超导排线的形式，需要保证单排信号线的密度高，且具有线缆的柔韧性。本公开给出了一种简单易行的排线设计和可快速实现的方案。考虑到共面波导的信号传输线方案在电路板技术上较为成熟，可以通过在一层金属平面上，按照地-信号-地的形式设置出一条共面波导的信号线。但是常规电路板为硬质，不具备柔软可弯折的线缆特性。而柔性电路板的加工工艺，与超导材料又不兼容，所以基于上述分析，提出一种超导排型柔性传输线结构，该超导排型柔性传输线结构通过在两个柔性绝缘层之间设置箔片式传输线结构，信号线和地线均为超导箔片，利用绝缘介质薄膜和超导金属箔片可以制作成具有柔韧性的超导排型线缆，与经典的同轴线缆相比，超导金属箔片可以通过贴附的形式固定于两个柔性绝缘层之间，集成度可以更高，安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。

在本公开的第一个示例性实施例中，提供了一种超导排型柔性传输线结构。

图1为根据本公开一实施例所示的超导排型柔性传输线结构的结构示意图。图2为如图1所示的超导排型柔性传输线结构的爆炸示意图。图2中，为了简化示意，将第一柔性绝缘层、第二柔性绝缘层和箔片式传输线结构的厚度省略。

参照图1和图2所示，本公开的超导排型柔性传输线结构，包括：第一柔性绝缘层11；第二柔性绝缘层12；箔片式传输线结构20，设置于所述第一柔性绝缘层11和所述第二柔性绝缘层12之间。其中，所述箔片式传输线结构20包括间隔排列的第一超导箔片21和第二超导箔片22，所述第一超导箔片21作为信号线，所述第二超导箔片22作为地线。

本实施例中，所述第一超导箔片21和所述第二超导箔片22均为超导金属制作而成的箔片。上述超导金属均为现有技术中的材料。超导金属材料包括但不限于为：铌、铝、现有的确定组分的铌钛合金等。超导箔片可以按照不同超导温度要求选择满足要求的超导金属对应的箔片。

在本公开的一实施例中，所述第一超导箔片和所述第二超导箔片的厚度低于0.05mm包括端点值。第一超导箔片21和第二超导箔片22是由超导金属材料加工成特定厚度的薄片，可以在十几微米或者几十纳米级别。第一柔性绝缘层11和第二柔性绝缘层12的厚度可以根据强度需求调整，一般在百微米到几毫米级别，例如优选为0.01mm～0.1mm，包括端点值。

参照图1和图2所示，在本公开的一实施例中，所述箔片式传输线结构包括至少一个第一超导箔片21，每个第一超导箔片21的两侧为第二超导箔片22。第一超导箔片21和第二超导箔片22间隔排列，图1和图2示意了相邻的第一超导箔片21和第二超导箔片22之间的间距23。在该间距23中，也可以填充绝缘介质，也可以不进行填充。

参照图1和图2所示，第一超导箔片21和第二超导箔片22形成了共面波导结构，本实施例中，示例性的，第一超导箔片21为长条状，第二超导箔片22也为长条状。示例性的，第一超导箔片21与第二超导箔片22相互平行，其他形状以及排列布局的形式也在本公开的保护范围之内，这里的实施例仅作为示例。作为信号线的第一超导箔片21的宽度、作为地线的第二超导箔片22的宽度、第一超导箔片21与第二超导箔片22之间的间距23、以及相邻两个第一超导箔片21之间的中心间距等参数可以根据实际的阻抗、带宽等需求，利用理论计算或者电磁场仿真的方式获得，其中仿真方案最为推荐，相较于理论计算，进行仿真得到的结果较为精确。

本公开的超导排型柔性传输线结构通过在两个柔性绝缘层之间设置箔片式传输线结构，信号线和地线均为超导箔片，利用绝缘介质薄膜和超导金属箔片可以制作成具有柔韧性的超导排型线缆，与经典的同轴线缆相比，超导金属箔片可以通过贴附的形式固定于两个柔性绝缘层之间，集成度可以更高，安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。

下面结合图3和图4来介绍该超导排型柔性传输线结构相较于单根线缆能够提高集成度的效果。

本公开的实施例中，所述超导排型柔性传输线结构绕着平行于所述长条状延伸方向呈卷曲结构，或者所述超导排型柔性传输线结构沿着平行于所述长条状延伸方向呈弯折结构。

图3为本公开实施例的超导排型柔性传输线结构绕着轴线卷曲的一种示例。

参照图3所示，在一实施例中，图3中实线箭头示意了卷曲方向，该超导排型柔性传输线结构按照箭头所示意的方式进行卷曲可以得到卷曲结构。例如，本实施例中，第一超导箔片21和所述第二超导箔片22均为长条状；该超导排型柔性传输线结构可以绕着轴线发生卷曲，得到卷曲结构。上述轴线即为平行于所述长条状延伸方向，即沿着所述长条状长边的方向，该轴线在图3中对应为垂直于纸面的方向。

图4为本公开实施例的超导排型柔性传输线结构进行弯折的一种示例。

参照图4所示，在另一实施例中，图4实线箭头示意了弯折的方向，该超导排型柔性传输线结构按照箭头所示意的方式进行弯折可以得到弯折结构。例如，本实施例中，第一超导箔片21和所述第二超导箔片22均为长条状；该超导排型柔性传输线结构可以沿着平行于该轴线的方向发生弯折，得到弯折结构。上述轴线即为平行于所述长条状延伸方向，即沿着所述长条状长边的方向，该轴线在图4中对应为垂直于纸面的方向。当然，图4中示例性示意了具有多个周期呈波浪形的弯折形式，该弯折还可以是具有一个周期呈“V”字形或者“U”字形的弯折。当然，上述实施例仅作为示例，其他经过合理变化或者拓展形式的弯折也包含在本公开的保护范围之内。

在本公开的一实施例中，所述箔片式传输线结构包括至少两个第二超导箔片，所述至少两个第二超导箔片之间电性连接。超导排型柔性传输线结构的组装过程可以按照实际需要进行灵活设置，箔片式传输线结构中信号线和地线的排布形式主要可通过以下几种方式实现，例如可以将指定(预设)尺寸的超导金属箔逐条贴合，也可以将整张超导金属箔与底层的绝缘材料贴合后进行共面波导空隙刻蚀，得到所需要的排布形式，当然还可以将整张金属箔与底层绝缘材料贴合后进行共面波导缝隙的切换和剔除等。

本公开的实施例中，箔片式传输线结构中，所有地线之间的电性连接方式多种多样，便于工业化生产。例如，可以通过与连接器进行连接以实现互连；也可以通过在柔性绝缘层中设置开窗，利用第一地线互连金属层穿过开窗与每个第二超导箔片电性连接，以实现所有第二超导箔片之间的电性连接；也可以设置用作地线的第二超导箔片的长度较长，可以包括能够延伸并折叠至所述第一柔性绝缘层或所述第二柔性绝缘层外表面的部分，从而利用第二地线互连金属层与该部分的第二超导箔片电性连接，以实现所有第二超导箔片之间的电性连接。下面结合图6-图8对其中两种连接方式进行详细介绍。

图5为根据本公开一实施例所示的超导排型柔性传输线结构中地线之间互连的示意图。图6为如图5所示的超导排型柔性传输线结构不含第一地线互连金属层的爆炸示意图。为了突出示意开窗，在图6中并不示意覆盖于开窗上方的第一地线互连金属层。

参照图5和图6所示，在一实施例中，上述超导排型柔性传输线结构，还包括：第一地线互连金属层31。在第一柔性绝缘层11和/或第二柔性绝缘层12中设置有开窗13。这里在图6中以在第一柔性绝缘层11中设置开窗13作为示例，所述开窗13的位置与每个作为地线的第二超导箔片22所在位置对应。参照图6所示，开窗13的制作方式例如可以在第一柔性绝缘层11上先确定特定区域110，然后在特定区域110下方对应第二超导箔片22所在的位置制作开窗。上述特定区域110在图6中以虚线表示，该特定区域110在图6中示意的位置作为示例，实际上，可以根据需要移动上述特定区域110，例如上述特定区域可以沿着图6中的上下方向移动，只要保证特定区域覆盖第二超导箔片22长度的一部分即可。结合图5和图6所示，上述第一地线互连金属层31穿过所述开窗13与所述第二超导箔片22电性连接，以实现所有第二超导箔片22之间的电性连接。

在本公开的一实施例中，所述第一地线互连金属层31可以是沉积的金属薄膜，厚度在十几微米～几十纳米之间。也可以是金属箔条，该金属箔条的厚度低于0.05mm。金属材料可以采用常用的金属材料，也可以采用超导金属材料，优选采用超导金属材料。通过采用金属箔条的形式，降低了超导排型柔性传输线结构的整体厚度，有助于进一步提高集成度。

图7为根据本公开另一实施例所示的超导排型柔性传输线结构的爆炸示意图。图8为如图7所示的超导排型柔性传输线结构中不含第二地线互连金属层的俯视图。

参照图7和图8所示，在另一实施例中，超导排型柔性传输线结构还包括：第二地线互连金属层32。箔片式传输线结构20中所有的第二超导箔片22的长度满足：存在能够延伸并折叠至所述第一柔性绝缘层11或所述第二柔性绝缘层12外表面的部分。如图8所示，虚线示意被第一柔性绝缘层11遮挡住的箔片式传输线结构20，其中，第一超导箔片21全部被遮挡，第二超导箔片22部分长度被遮挡，将被遮挡的内部的第二超导箔片示意为22a，折叠于外部的第二超导箔片示意为22b，上述两个部分是一体化的，基于第二超导箔片22的柔韧性可以进行折叠和弯曲，则只需要将折叠于外部的第二超导箔片22b互连起来，便实现了所有地线的互连，无需像上述实施例介绍的进行开窗的制作，工艺更为简单。本实施例中，利用第二地线互连金属层32将折叠于外部的第二超导箔片22b互连起来。该第二地线互连金属层32通过与每个所述第二超导箔片的折叠至所述第一柔性绝缘层或所述第二柔性绝缘层外表面的部分电性连接，实现了所有第二超导箔片22之间的电性连接。

在一实例中，第二地线互连金属层32为金属箔条，该金属箔条的厚度低于0.05mm。金属材料可以采用常用的金属材料，也可以采用超导金属材料，优选采用超导金属材料。通过采用金属箔条的形式，降低了超导排型柔性传输线结构的整体厚度，有助于进一步提高集成度。

在其他实施例中，多个第二超导箔片22之间还可以通过与连接器进行连接以实现互连，这种方式无需变化箔片式传输线结构20中的排线形式，这里不进行详述。

下面以一具体实例来介绍上述超导排型柔性传输线结构的制作方式。

在一示例中，上述超导排型柔性传输线结构的制作方法，包括以下步骤：

(a)通过仿真计算得到作为信号线的第一超导箔片21的宽度、作为地线的第二超导箔片22的宽度、第一超导箔片21与第二超导箔片22之间的间距23、以及相邻两个第一超导箔片21之间的中心间距等参数。

(b)第二柔性绝缘层12选用特氟龙材料，利用特定长度的特氟龙单面胶带展开作为底层，无胶面朝下(外)，有胶面朝上(内)。

(c)剪裁超导箔片，将第一超导箔片21的长度按照小于或等于特定长度，第二超导箔片22的长度按照略长于特定长度，以及仿真给出的上述宽度参数进行剪裁。

(d)在底层胶带上放置箔片式传输线结构20。按照共面波导的地-信号-地-信号-地的形式将第一超导箔片21与第二超导箔片22循环摆放/粘贴在底层胶带(第二柔性绝缘层12)上，并按照第一超导箔片21和第二超导箔片22之间的间距23进行摆放。此时第二超导箔片22轴向两端会超出底层胶带。

(e)将第一柔性绝缘层11选用特氟龙材料，将顶层特氟龙单面展开，无胶面朝上(外)，有胶面朝下(内)，贴合到上述附着有箔片式传输线结构20的底层胶带之上。

(f)将上述第二超导箔片22轴向两端长于胶带部分统一向顶层或底层折叠，并另外使用条状金属箔作为第二地线互连金属层32，沿垂直于上述第二超导箔片22轴线的方向，与第二超导箔片22折叠在顶层或底层的的部分依次连接，另外还可以用胶带将该条状金属箔(第二地线互连金属层32)固定在顶层或底层胶带(第一柔性绝缘层11或第二柔性绝缘层12)之上实现加固，即可达到所有地线连接的目的。

综上所述，本公开提供了一种超导排型柔性传输线结构，通过在两个柔性绝缘层之间设置箔片式传输线结构，信号线和地线均为超导箔片，利用绝缘介质薄膜和超导金属箔片可以制作成具有柔韧性的超导排型线缆，与经典的同轴线缆相比，超导金属箔片可以通过贴附的形式固定于两个柔性绝缘层之间，集成度可以更高，安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。该超导排型柔性传输线结构能够解决超导量子处理大规模高密度信号连接的需求，并由于箔片式传输线结构采用超导箔片，具有减少漏热的优点。箔片式传输线结构中，所有地线之间的电性连接方式多种多样，便于工业化生产。

除非另作定义，本公开实施例以及附图中，同一标号代表同一含义。为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大；并且，本公开一些实施例的附图中，只示出了与本公开构思相关的结构，其他结构可参考通常设计。另外，一些附图只是示意出本公开实施例的基本结构，而省略了细节部分。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语表示开放的意义，除了明确列举的元件、部件、部分或项目外，并不排除其他元件、部件、部分或者项目。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。可以理解，当诸如层、膜、区域或衬底基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。

以上所述的具体实施例，对本公开的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本公开的具体实施例而已，并不用于限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种超导排型柔性传输线结构，其特征在于，包括：

第一柔性绝缘层；

第二柔性绝缘层；以及

箔片式传输线结构，设置于所述第一柔性绝缘层和所述第二柔性绝缘层之间；

其中，所述箔片式传输线结构包括间隔排列的第一超导箔片和第二超导箔片，所述第一超导箔片作为信号线，所述第二超导箔片作为地线；所述第一超导箔片和所述第二超导箔片均为超导金属制作而成的箔片。

2.根据权利要求1所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述第一超导箔片和所述第二超导箔片的厚度低于0.05mm。

3.根据权利要求1所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述箔片式传输线结构包括至少一个第一超导箔片，每个第一超导箔片的两侧为第二超导箔片。

4.根据权利要求1所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述箔片式传输线结构包括至少两个第二超导箔片，所述至少两个第二超导箔片之间电性连接。

5.根据权利要求4所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，还包括：第一地线互连金属层，所述第一柔性绝缘层和/或所述第二柔性绝缘层中设置有开窗，所述开窗的位置与每个所述第二超导箔片所在位置对应，所述第一地线互连金属层穿过所述开窗与所述第二超导箔片电性连接，以实现所有第二超导箔片之间的电性连接。

6.根据权利要求5所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述第一地线互连金属层为金属箔条，该金属箔条的厚度低于0.05mm。

7.根据权利要求4所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，还包括：第二地线互连金属层，所述至少两个第二超导箔片的长度满足：存在能够延伸并折叠至所述第一柔性绝缘层或所述第二柔性绝缘层外表面的部分，所述第二地线互连金属层通过与每个所述第二超导箔片的折叠至所述第一柔性绝缘层或所述第二柔性绝缘层外表面的部分电性连接，以实现所有第二超导箔片之间的电性连接。

8.根据权利要求7所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述第二地线互连金属层为金属箔条，该金属箔条的厚度低于0.05mm。

9.根据权利要求4所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述至少两个第二超导箔片通过与连接器进行连接以实现电性互连。

10.根据权利要求1所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，

所述第一超导箔片和所述第二超导箔片为长条状；所述超导排型柔性传输线结构绕着平行于所述长条状延伸方向呈卷曲结构，或者所述超导排型柔性传输线结构沿着平行于所述长条状延伸方向呈弯折结构。

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