CN212542033U - 超导排型柔性传输线结构 - Google Patents

Abstract

一种超导排型柔性传输线结构，包括：多个间隔排布的信号传输包芯结构以及超导金属箔片屏蔽层。信号传输包芯结构包括：信号芯层以及介电层。信号芯层为第一超导金属箔片。介电层包覆于第一超导金属箔片的外围。超导金属箔片屏蔽层设置于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构的介电层之间并连接所述多个间隔排布的信号传输包芯结构。上述结构提高了该传输线结构的集成度，另一方面屏蔽层的设置还提升了相邻信号传输包芯结构之间的屏蔽效果，同时该传输线结构安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。

Description

超导排型柔性传输线结构

技术领域

本公开属于超导量子处理技术领域，涉及一种超导排型柔性传输线结构。

背景技术

超导量子处理器工作在绝对零度附近，其自身处于超导状态，它的控制信号一般采用同轴线的形式从室温逐级连接到处于绝对零度附近超导芯片上。如果传递信号的传输线不超导，将会形成高温区到低温区的热量传递通道(漏热)，从而影响/浪费制冷机的制冷能力。如果能在所有温度区间或者部分温度区间能够使用超导信号传输线，利用超导体的绝热特性，将大大改善漏热的问题。

现有能够见到的业界超导线都是同轴线缆型的单根线缆，主要材料是铌，铌钛，铝等。不仅成本高，而且其单根线的设计，使得高密度使用体积大，连接不便，使用严重受限。

而随着超导量子芯片的规模不断扩大，信号线数量急剧上升，提升超导线缆的集成度成为具有实际意义的问题。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

本公开提供了一种超导排型柔性传输线结构，以至少部分解决以上所提出的技术问题。

(二)技术方案

根据本公开的一个方面，提供了一种超导排型柔性传输线结构，包括：多个间隔排布的信号传输包芯结构，所述信号传输包芯结构包括：信号芯层，所述信号芯层为第一超导金属箔片；以及介电层，包覆于所述第一超导金属箔片的外围；以及超导金属箔片屏蔽层，设置于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构的介电层之间并连接所述多个间隔排布的信号传输包芯结构。

在本公开的一实施例中，所述超导金属箔片屏蔽层包括：第一超导金属箔片屏蔽层，包覆于每个信号传输包芯结构的介电层的外围，使所述多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙被所述第一超导金属箔片屏蔽层填充；以及第二超导金属箔片屏蔽层，沿着所述多个间隔排布的信号传输包芯结构排布的方向设置，且覆盖于所述第一超导金属箔片屏蔽层的外侧，将所述多个间隔排布的信号传输包芯结构连接起来。

在本公开的一实施例中，所述超导金属箔片屏蔽层包括：第三超导金属箔片屏蔽层，沿着所述多个间隔排布的信号传输包芯结构排布的方向设置，所述第三超导金属箔片屏蔽层包括第一部分和第二部分，所述第一部分覆盖于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构的第一表面，所述第二部分为第一折叠结构，所述第一折叠结构位于相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙中；以及第四超导金属箔片屏蔽层，沿着所述多个间隔排布的信号传输包芯结构排布的方向设置，所述第四超导金属箔片屏蔽层包括第三部分和第四部分，所述第三部分覆盖于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构的第二表面，所述第二表面与所述第一表面相对设置，所述第四部分为第二折叠结构，所述第二折叠结构位于相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙中，所述第二折叠结构与所述第一折叠结构错位设置，且所述第二折叠结构与所述第一折叠结构沿着所述缝隙的延伸方向的伸入高度之和大于所述缝隙的延伸高度。

在本公开的一实施例中，所述第一超导金属箔片的厚度低于0.05mm。

在本公开的一实施例中，所述超导金属箔片屏蔽层的厚度低于 0.05mm。

在本公开的一实施例中，所述信号传输包芯结构的截面形状包括以下形状的一种或其组合：椭圆形、圆形、三角形、矩形、四边以上的多边形以及不规则图形。

在本公开的一实施例中，所述超导排型柔性传输线结构绕着平行于所述信号芯层的延伸方向呈卷曲结构。

在本公开的一实施例中，所述超导排型柔性传输线结构沿着平行于所述信号芯层的延伸方向呈弯折结构。

(三)有益效果

从上述技术方案可以看出，本公开提供的超导排型柔性传输线结构，具有以下有益效果：

(1)每个信号传输包芯结构中，采用第一超导金属箔片作为信号芯层，超导金属箔片屏蔽层设置于多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构的介电层之间并连接所述多个间隔排布的信号传输包芯结构，一方面上述结构提高了该传输线结构的集成度，另一方面屏蔽层的设置还提升了相邻信号传输包芯结构之间的屏蔽效果，同时安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。

(2)该超导排型柔性传输线结构能够解决超导量子处理大规模高密度信号连接的需求，并由于地平面与信号层均采用超导金属箔片，具有减少漏热的优点。

附图说明

图1为根据本公开一实施例所示的超导柔性传输线结构的结构示意图。

图2为根据本公开实施例所示的超导柔性传输线结构中单根传输线的一种示例性结构示意图。

图3为根据本公开实施例所示的超导柔性传输线结构中单根传输线的另一种示例性结构示意图。

图4为根据本公开实施例所示的组装形成超导柔性传输线结构中单根传输线的过程示意图，其中，(a)为信号传输包芯结构的示意图，(b)为组装形成单根传输线的示意图。

图5为根据本公开实施例所示的组装形成超导柔性传输线结构的过程示意图，其中，(a)为多个单根传输线的结构示意图，(b)为组装形成超导柔性传输线结构的示意图。

图6为根据本公开实施例所示的超导柔性传输线结构呈卷曲结构的状态示意图。

图7为根据本公开实施例所示的超导柔性传输线结构呈弯折结构的状态示意图。

图8为根据本公开另一实施例所示的超导柔性传输线结构的形成过程示意图，其中，(a)为多个信号传输包芯结构的示意图，(b)为组装形成超导柔性传输线结构的示意图。

图9为根据本公开另一实施例所示的超导柔性传输线结构的结构示意图。

【符号说明】

10-单根传输线；

11-信号芯层；

12-介电层；

13-第一超导金属箔片屏蔽层；

20-第二超导金属箔片屏蔽层；

21-上超导金属箔片屏蔽层；

22-下超导金属箔片屏蔽层；

131-第三超导金属箔片屏蔽层；

131a-第一部分；131b-第二部分；

132-第四超导金属箔片屏蔽层；

132a-第三部分；132b-第四部分。

具体实施方式

超导同轴线缆最典型的问题是其集成度不够高，当超导量子芯片需要大规模信号连接时，同轴线的连接形式，将占用大量的体积，不利于量子处理器规模的扩展。

为解决超导同轴线集成度不够的问题，只能考虑超导排线的形式，需要保证单排信号线的密度高，且具有线缆的柔韧性，基于上述，本公开提供了一种超导排型柔性传输线结构，通过设置信号芯层和屏蔽层均为超导金属箔片，并通过结构的优化设置，一方面提高了该传输线结构的集成度，另一方面还提升了相邻信号传输包芯结构之间的屏蔽效果，同时安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。

本公开实施例提供了一种超导排型柔性传输线结构，该超导排型传输线结构包括：多个间隔排布的信号传输包芯结构。信号传输包芯结构包括：信号芯层，所述信号芯层为第一超导金属箔片；介电层，包覆于所述第一超导金属箔片的外围。该超导排型传输线结构还包括：超导金属箔片屏蔽层，设置于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构的介电层之间并连接所述多个间隔排布的信号传输包芯结构。

在本公开的一实施例中，超导金属箔片屏蔽层可以同时包括作为单根传输线的屏蔽层的部分以及连接多根传输线的屏蔽层的部分，这两个部分是独立的两个部分，例如第一实施例所示的情形。

在本公开的另一实施例中，超导金属箔片屏蔽层的结构进行优化设置，单层的超导金属箔片屏蔽层可以同时作为相邻的信号传输包芯结构之间的屏蔽层以及多个信号传输包芯结构之间的屏蔽层，无需在每个信号传输包芯结构的表面设置一层单独的屏蔽层，在提高了屏蔽效果的同时还进一步提高了集成度。

在本公开的第一个示例性实施例中，提供了一种超导柔性传输线结构。本实施例的超导柔性传输线结构以超导金属箔片屏蔽层可以同时包括作为单根传输线的屏蔽层的部分以及连接多根传输线的屏蔽层的部分，这两个部分是独立的两个部分进行示例。

图1为根据本公开一实施例所示的超导柔性传输线结构的结构示意图。

本实施例的超导排型柔性传输线结构，包括：多个间隔排布的信号传输包芯结构以及超导金属箔片屏蔽层。

参照图1所示，信号传输包芯结构包括：信号芯层11，所述信号芯层 11为第一超导金属箔片；介电层12，包覆于所述第一超导金属箔片的外围。

在本公开的一实施例中，所述第一超导金属箔片的厚度低于0.05mm，本公开中的“低于”包括端点值。

在本公开的一实施例中，所述超导金属箔片屏蔽层的厚度低于 0.05mm。

第一超导金属箔片和超导金属箔片屏蔽层均为超导金属制作而成的箔片，上述超导金属为现有技术中的超导材料。超导金属材料包括但不限于为：铌、铝、现有的确定组分的铌钛合金等。超导箔片可以按照不同超导温度要求选择满足要求的超导金属对应的箔片。

本公开实施例的超导金属箔片屏蔽层设置于多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构的介电层之间并连接所述多个间隔排布的信号传输包芯结构。本实施例的超导金属箔片屏蔽层以包括图1 中的第一超导金属箔片屏蔽层13和第二超导金属箔片屏蔽层20两个独立的部分进行示例。

参照图1所示，超导金属箔片屏蔽层包括：第一超导金属箔片屏蔽层 13，包覆于每个信号传输包芯结构的介电层12的外围，使多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙被该第一超导金属箔片屏蔽层13填充；以及第二超导金属箔片屏蔽层20，沿着多个间隔排布的信号传输包芯结构排布的方向设置，且覆盖于第一超导金属箔片屏蔽层13的外侧，将多个间隔排布的信号传输包芯结构连接起来。

参照图1所示，以相邻的两个信号传输包芯结构之间的缝隙中每个信号传输包芯结构各自的第一超导金属箔片屏蔽层13相接触作为示例，在其他实施例中，第一超导金属箔片屏蔽层13中位于相邻的信号传输包芯结构的介电层外围的部分可以为单一的屏蔽层充当公共屏蔽层。即，相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙由公共屏蔽层进行填充。

下面结合图2～图5来介绍上述超导排型柔性传输线结构的形成过程。

图2为根据本公开实施例所示的超导柔性传输线结构中单根传输线的一种示例性结构示意图。

参照图2所示，在一实施例中，单根传输线10的截面形状为矩形。该单根传输线10包括：信号芯层11，该信号芯层11为第一超导金属箔片；介电层12，包覆于信号芯层11的外围；以及第一超导金属箔片屏蔽层13，包覆于介电层12的外围。信号芯层11和介电层12构成了信号传输包芯结构。

图3为根据本公开实施例所示的超导柔性传输线结构中单根传输线的另一种示例性结构示意图。

参照图3所示，在另一实施例中，单根传输线10的截面形状为圆形，该单根传输线10包括：信号芯层11，该信号芯层11为第一超导金属箔片；介电层12，包覆于信号芯层11的外围；以及第一超导金属箔片屏蔽层13，包覆于介电层12的外围。信号芯层11和介电层12构成了信号传输包芯结构。

当然，上述两个实施例仅作为示例，单根传输线10的截面形状也可以是其他合理形状，比如规则多边形或者不规则图形，为了提高集成度，优选规则图形。本公开的信号传输包芯结构的截面形状可以包括以下形状的一种或其组合：椭圆形、圆形、三角形、矩形、四边以上的多边形以及不规则图形。不规则图形的含义为：不能采用数学函数/公式表示的图形。

图4为根据本公开实施例所示的组装形成超导柔性传输线结构中单根传输线的过程示意图，其中，(a)为信号传输包芯结构的示意图，(b)为组装形成单根传输线的示意图。

参照图4中(a)所示，信号传输包芯结构中的信号芯层11是由超导金属箔通过刻蚀或剪裁而得到的。具体而言，制备预定宽度的信号芯层11 的方法可以是：通过对整张超导金属箔进行切割的方式得到，或者将整张超导金属箔进行蚀刻的方式得到。可以通过预先仿真，计算得到信号芯层 11的宽度(图1中沿着左右方向)和介电层12的厚度(图1中沿着上下方向)。然后通过浇筑或压合的方式将预定宽度的信号芯层11置于介电材料的中心，得到包裹有信号芯层11的介电层12，形成了信号传输包芯结构，信号传输包芯结构经过整形后，可以形成预定形状的横截面。最后，在信号传输包芯结构的外围包裹一层第一超导金属箔片屏蔽层13，可以得到单根传输线10，参照图4中(b)所示。

当然，这里以信号芯层11位于介电层12的中心作为示例，信号芯层 11也可以位于介电层12内部的其它非中心位置。

图5为根据本公开实施例所示的组装形成超导柔性传输线结构的过程示意图，其中，(a)为多个单根传输线的结构示意图，(b)为组装形成超导柔性传输线结构的示意图。

参照图5中(a)所示，多个单根传输线10间隔排布。可以通过另外的介电材料或粘合剂放置于相邻的单根传输线之间的缝隙中将相邻的传输线进行固定，然后沿着多个间隔排布的信号传输包芯结构排布的方向设置第二超导金属箔片屏蔽层20，该第二超导金属箔片屏蔽层20覆盖于第一超导金属箔片屏蔽层13的外侧，将多个间隔排布的信号传输包芯结构连接起来。参照图5中(b)所示，以第二超导金属箔片屏蔽层20分别设置于第一超导金属箔片屏蔽层13的上下表面进行示例，第二超导金属箔片屏蔽层20在图5中(b)分别描述为：上超导金属箔片屏蔽层21和下超导金属箔片屏蔽层22。

每个信号传输包芯结构中，采用第一超导金属箔片作为信号芯层，超导金属箔片屏蔽层设置于多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构的介电层之间并连接所述多个间隔排布的信号传输包芯结构，一方面上述结构提高了该传输线结构的集成度，另一方面屏蔽层的设置还提升了相邻信号传输包芯结构之间的屏蔽效果，同时安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。

该超导排型柔性传输线结构能够解决超导量子处理大规模高密度信号连接的需求，并由于地平面与信号层均采用超导金属箔片，具有减少漏热的优点。

图6为根据本公开实施例所示的超导柔性传输线结构呈卷曲结构的状态示意图。

参照图6所示，超导柔性传输线结构绕着平行于信号芯层的延伸方向呈卷曲结构。图6中以虚线箭头示意了卷曲方向，本实施例的超导柔性传输线结构按照箭头所示意的方式进行卷曲可以得到卷曲结构。信号芯层的延伸方向在图6中为垂直于纸面的方向。当然，图6中以沿着逆时针方向进行卷曲进行示例，在本公开的实施例中，也可以是沿着顺时针方向进行卷曲。

图7为根据本公开实施例所示的超导柔性传输线结构呈弯折结构的状态示意图。

参照图7所示，超导柔性传输线结构沿着平行于信号芯层的延伸方向呈弯折结构。图7中以虚线箭头示意了弯折方向，本实施例的超导柔性传输线结构按照箭头所示意的方式进行卷曲可以得到卷曲结构。信号芯层的延伸方向在图7中为垂直于纸面的方向。该超导排型柔性传输线结构可以沿着平行于信号芯层的延伸方向发生弯折。当然，图7中示例性示意了具有多个周期呈波浪形的弯折形式，该弯折还可以是具有一个周期呈“V”字形或者“U”字形的弯折。当然，上述实施例仅作为示例，其他经过合理变化或者拓展形式的弯折也包含在本公开的保护范围之内。

本公开的第二个示例性实施例中，提供了一种超导柔性传输线结构。本实施例的超导柔性传输线结构与第一实施例的超导柔性传输线结构的区别在于超导金属箔片屏蔽层的结构不同。

本实施例以单层的超导金属箔片屏蔽层可以同时作为相邻的信号传输包芯结构之间的屏蔽层以及多个信号传输包芯结构之间的屏蔽层作为示例。

图8为根据本公开另一实施例所示的超导柔性传输线结构的形成过程示意图，其中，(a)为多个信号传输包芯结构的示意图，(b)为组装形成超导柔性传输线结构的示意图。图9为根据本公开另一实施例所示的超导柔性传输线结构的结构示意图。

本实施例的超导排型柔性传输线结构，包括：多个间隔排布的信号传输包芯结构以及超导金属箔片屏蔽层。

参照图8中(a)所示，信号传输包芯结构包括：信号芯层11，所述信号芯层11为第一超导金属箔片；以及介电层12，包覆于所述第一超导金属箔片的外围。

参照图8中(a)和(b)以及图9所示，本公开实施例的超导金属箔片屏蔽层设置于多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构的介电层之间并连接所述多个间隔排布的信号传输包芯结构。

本实施例的超导金属箔片屏蔽层以包括图9所示意的第三超导金属箔片屏蔽层131和第四超导金属箔片屏蔽层132进行示例。

具体而言，参照图9所示，超导金属箔片屏蔽层包括：沿着所述多个间隔排布的信号传输包芯结构排布的方向(图9中排布的方向沿着左右方向)设置的第三超导金属箔片屏蔽层131和第四超导金属箔片屏蔽层132。

第三超导金属箔片屏蔽层131包括第一部分131a和第二部分131b。第一部分131a覆盖于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构的第一表面 (图9中示例为上表面)。第二部分131b为第一折叠结构，所述第一折叠结构位于相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙中。

第四超导金属箔片屏蔽层132包括第三部分132a和第四部分132b，第三部分132a覆盖于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构的第二表面 (图9中示例为下表面)，所述第二表面与所述第一表面相对设置。第四部分132b为第二折叠结构，所述第二折叠结构位于相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙中。参照图9所示，图9中以虚线双箭头示意缝隙的延伸方向，所述第二折叠结构与所述第一折叠结构错位设置，且所述第二折叠结构与所述第一折叠结构沿着所述缝隙的延伸方向的伸入高度之和大于所述缝隙的延伸高度。例如，第一折叠结构沿着缝隙的延伸方向向下伸入的高度为h₁，第二折叠结构沿着缝隙的延伸方向向上伸入的高度为h₂，第二折叠结构与第一折叠结构沿着所述缝隙的延伸方向的伸入高度之和h₁+ h₂大于缝隙的延伸高度h。如此一来，通过基于超导金属箔片屏蔽层设置错位放置的第一折叠结构和第二折叠结构，在相邻两个信号传输包芯结构之间实现了较好的屏蔽，无需设置第一实施例中包裹在信号传输包芯结构外围的第一超导金属箔片屏蔽层，制作工艺更为简单。

本实施例中，为了突出示意，图9所示例的相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙很宽，对应看到的第一折叠结构和第二折叠结构可以呈“V”形或“U”形或者其他合理的形状，实际上，相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙很小，一般为0.1mm～2mm之间包括端点值的任意数值，对应第一折叠结构和第二折叠结构有可能被压缩，“V”形或者“U”形两个端点之间的间隙非常小，肉眼观察近乎为重叠在一起。

本实施例中，第一超导金属箔片的厚度低于0.05mm，进一步可选的，第一超导金属箔片的厚度低于0.02mm。

本实施例中，所述超导金属箔片屏蔽层的厚度低于0.05mm。进一步可选的，超导金属箔片屏蔽层的厚度低于0.02mm。

本实施例中，所述信号传输包芯结构的外部形状为圆形或矩形，可以参照第一实施例的描述，这里不再赘述。

本实施例中的超导排型柔性传输线结构可以绕着平行于所述信号芯层的延伸方向呈卷曲结构，或者所述超导排型柔性传输线结构也可以沿着平行于所述信号芯层的延伸方向呈弯折结构，可以参照第一实施例的描述，这里不再赘述。

本实施例的超导排型柔性传输线结构中，通过对超导金属箔片屏蔽层的结构进行优化设置，单层的超导金属箔片屏蔽层可以同时作为相邻的信号传输包芯结构之间的屏蔽层以及多个信号传输包芯结构之间的屏蔽层，无需在每个信号传输包芯结构的表面设置一层单独的屏蔽层，在提高了屏蔽效果的同时还进一步提高了集成度。

综上所述，本公开提供了一种超导柔性传输线结构，每个信号传输包芯结构中，采用第一超导金属箔片作为信号芯层，超导金属箔片屏蔽层设置于多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构的介电层之间并连接所述多个间隔排布的信号传输包芯结构，一方面上述结构提高了该传输线结构的集成度，另一方面屏蔽层的设置还提升了相邻信号传输包芯结构之间的屏蔽效果，同时安装操作的柔韧性更好，而且材料来源简单，可以标准化生产，也可以手工制作，为超导量子处理器芯片的高密度信号连接提供更高集成度的连接线方案。该超导排型柔性传输线结构能够解决超导量子处理大规模高密度信号连接的需求，并由于地平面与信号层均采用超导金属箔片，具有减少漏热的优点。

除非另作定义，本公开实施例以及附图中，同一标号代表同一含义。为了清晰起见，在用于描述本公开的实施例的附图中，层或区域的厚度被放大；并且，本公开一些实施例的附图中，只示出了与本公开构思相关的结构，其他结构可参考通常设计。另外，一些附图只是示意出本公开实施例的基本结构，而省略了细节部分。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是为了方便描述，用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语表示开放的意义，除了明确列举的元件、部件、部分或项目外，并不排除其他元件、部件、部分或者项目。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。可以理解，当诸如层、膜、区域或衬底基板之类的元件被称作位于另一元件“上”或“下”时，该元件可以“直接”位于另一元件“上”或“下”，或者可以存在中间元件。

除非存在技术障碍或矛盾，本公开的上述各种实施方式可以自由组合以形成另外的实施例，这些另外的实施例均在本公开的保护范围中。

以上所述的具体实施例，对本公开的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本公开的具体实施例而已，并不用于限制本公开，凡在本公开的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种超导排型柔性传输线结构，其特征在于，包括：

多个间隔排布的信号传输包芯结构，所述信号传输包芯结构包括：信号芯层，所述信号芯层为第一超导金属箔片；以及介电层，包覆于所述第一超导金属箔片的外围；以及

超导金属箔片屏蔽层，设置于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构的介电层之间并连接所述多个间隔排布的信号传输包芯结构。

2.根据权利要求1所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述超导金属箔片屏蔽层包括：

第一超导金属箔片屏蔽层，包覆于每个信号传输包芯结构的介电层的外围，使所述多个间隔排布的信号传输包芯结构中相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙被所述第一超导金属箔片屏蔽层填充；以及

第二超导金属箔片屏蔽层，沿着所述多个间隔排布的信号传输包芯结构排布的方向设置，且覆盖于所述第一超导金属箔片屏蔽层的外侧，将所述多个间隔排布的信号传输包芯结构连接起来。

3.根据权利要求1所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述超导金属箔片屏蔽层包括：

第三超导金属箔片屏蔽层，沿着所述多个间隔排布的信号传输包芯结构排布的方向设置，所述第三超导金属箔片屏蔽层包括第一部分和第二部分，所述第一部分覆盖于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构的第一表面，所述第二部分为第一折叠结构，所述第一折叠结构位于相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙中；以及

第四超导金属箔片屏蔽层，沿着所述多个间隔排布的信号传输包芯结构排布的方向设置，所述第四超导金属箔片屏蔽层包括第三部分和第四部分，所述第三部分覆盖于所述多个间隔排布的信号传输包芯结构的第二表面，所述第二表面与所述第一表面相对设置，所述第四部分为第二折叠结构，所述第二折叠结构位于相邻的信号传输包芯结构之间的缝隙中，所述第二折叠结构与所述第一折叠结构错位设置，且所述第二折叠结构与所述第一折叠结构沿着所述缝隙的延伸方向的伸入高度之和大于所述缝隙的延伸高度。

4.根据权利要求1所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述第一超导金属箔片的厚度低于0.05mm。

5.根据权利要求1所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述超导金属箔片屏蔽层的厚度低于0.05mm。

6.根据权利要求1所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述信号传输包芯结构的截面形状包括以下形状的一种或其组合：圆形、椭圆形、三角形、矩形、四边以上的多边形以及不规则图形。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述超导排型柔性传输线结构绕着平行于所述信号芯层的延伸方向呈卷曲结构。

8.根据权利要求1-6中任一项所述的超导排型柔性传输线结构，其特征在于，所述超导排型柔性传输线结构沿着平行于所述信号芯层的延伸方向呈弯折结构。

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