CN211784109U - 一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台、气泵和液压缸，工作台的上端固定连接有两块侧板，气泵和液压缸均固定安装于其中一块侧板的一端侧壁上，液压缸的一端固定连接有连接板，连接板内设有腔室，气泵的出气端与腔室的顶部连通设置，其中一块侧板与腔室的相对侧壁上均连通设有多个一一对应设置的通气孔，多个通气孔内均安装有防尘板，两端对应设置的防尘板的相对侧壁上均固定连接有多根限位杆，侧板上的多个通气孔的一端均连通设有弹性气囊。本实用新型不仅能有效地对半导体制程特种气体输送管道进行检漏处理，还能提高装置对对半导体制程特种气体输送管道的检漏效率。

Description

一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置

技术领域

本实用新型涉及管道检漏技术领域，尤其涉及一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置。

背景技术

半导体制程特种气体输送管道其在使用前，需要进行检漏处理，避免气体传输时发生泄漏现象，尤其对于传输一些有害气体，如若发生泄漏，可能对环境和周围的人员将造成严重的伤害。

目前市场上使用的半导体制程特种气体输送管道检漏装置大多对管道的检漏效果不佳，且不能有效地提高装置对管道的检漏效率。

发明内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中半导体制程特种气体输送管道检漏装置大多对管道的检漏效果不佳，且不能有效地提高装置对管道的检漏效率的现象，而提出的一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，其不仅能有效地对半导体制程特种气体输送管道进行检漏处理，还能提高装置对对半导体制程特种气体输送管道的检漏效率。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台、气泵和液压缸，所述工作台的上端固定连接有两块侧板，所述气泵和液压缸均固定安装于其中一块侧板的一端侧壁上，所述液压缸的一端固定连接有连接板，所述连接板内设有腔室，所述气泵的出气端与腔室的顶部连通设置，其中一块所述侧板与腔室的相对侧壁上均连通设有多个一一对应设置的通气孔，多个所述通气孔内均安装有防尘板，两端对应设置的防尘板的相对侧壁上均固定连接有多根限位杆，所述侧板上的多个通气孔的一端均连通设有弹性气囊。

优选地，其中一块所述侧板与腔室的相对侧壁上均固定连接有多个与通气孔一一对应设置的密封垫圈，密封垫圈的设置，提高了装置检测管道时对管道的密封性。

优选地，所述工作台竖直部分的下端固定连接有减震垫，减震垫的设置，提高了装置的减震效果。

优选地，所述工作台的上端固定连接有收集槽，收集槽的设置，便于装置检测管道时，对管道上落下液体进行收集，进而避免落下的液体对工作台产生影响。

优选地，所述收集槽的一端侧壁上连通设有排水管，位于所述收集槽内的排水管的一端内填塞有T型密封垫，排水管的设置，便于收集槽内的液体的排出，T型密封垫的设置，便于工作人员根据需要对排水管进行密封。

相比现有技术，本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型通过设置工作台、气泵、液压缸、侧板、连接板、腔室、通气孔、防尘板、限位杆、弹性气囊、密封垫圈、减震垫和收集槽等，实现了对半导体制程特种气体输送管道的检漏作用，其中弹性气囊的设置，进一步提高了装置的检漏效果，另外，密封垫圈的设置，提高了管道进行检漏时的密封性。

2、本实用新型通过设置工作台、气泵、液压缸、侧板、连接板、腔室、通气孔、防尘板、限位杆、弹性气囊、密封垫圈、减震垫和收集槽等，实现了同时对多根半导体制程特种气体输送管道进行检漏的作用，进而提高了装置对半导体制程特种气体输送管道检漏的效率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置的正面透视图；

图2为本实用新型提出的一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置的俯视图；

图3为图1的A处局部放大图；

图4为本实用新型提出的一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置的局部侧视图。

图中：1工作台、2气泵、3液压缸、4侧板、5连接板、6腔室、7通气孔、8防尘板、9限位杆、10弹性气囊、11密封垫圈、12减震垫、13收集槽、14排水管、15 T型密封垫。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

参照图1-4，一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台1、气泵2和液压缸3，工作台1的上端固定连接有两块侧板4，气泵2和液压缸3均固定安装于其中一块侧板4的一端侧壁上，液压缸3的一端固定连接有连接板5，连接板5内设有腔室6，气泵2的出气端与腔室6的顶部连通设置，其中一块侧板4与腔室6的相对侧壁上均连通设有多个一一对应设置的通气孔7，多个通气孔7内均安装有防尘板8，两端对应设置的防尘板8的相对侧壁上均固定连接有多根限位杆9，侧板4上的多个通气孔7的一端均连通设有弹性气囊10，需要说明的是，限位杆9为镂空状，且其占用面积较小，进而减小其与需要检测的管道内壁的接触面积，位于同一块防尘板8侧壁上的多根限位杆9均匀分布形成环形，此环形刚好与需要检漏的半导体制程特种气体输送管道的内壁的环形相匹配，即便于多根限位杆9将需要检测的管道进行固定，另外需要说明的是，为了提高装置对管道检漏的质量以及排除限位杆9对管道检测的影响，每根管道可进行多次检测，下一轮检测时，将上一轮检测的管道转动一定角度，进而避免限位杆9与管道始终在固定位置处相抵接触。

其中一块侧板4与腔室6的相对侧壁上均固定连接有多个与通气孔7一一对应设置的密封垫圈11，密封垫圈11的设置，提高了装置检测管道时对管道的密封性，需要说明的是，气泵2上的气体输送管与腔室6的顶部连通设置，且气泵2上的气体输送管为波纹管，波纹管具有一定的伸缩性，进而便于其随连接板5移动，工作台1竖直部分的下端固定连接有减震垫12，减震垫12的设置，提高了装置的减震效果，工作台1的上端固定连接有收集槽13，收集槽13的设置，便于装置检测管道时，对管道上落下液体进行收集，进而避免落下的液体对工作台1产生影响。

收集槽13的一端侧壁上连通设有排水管14，位于收集槽13内的排水管14的一端内填塞有T型密封垫15，排水管14的设置，便于收集槽13内的液体的排出，T型密封垫15的设置，便于工作人员根据需要对排水管14进行密封，需要说明的是，在装置对管道进行检漏时，工作人员可观察多个弹性气囊10充盈或干瘪等的状态，对管道的检漏进行初步的判断，进而提高了装置检测的准确性。

本实用新型中，当需要对多根输送管道进行检漏时，如图2所示，将多根需要检漏的输送管道的一端分别通过侧板4上的多根限位杆9进行初步的限位固定，输送管道初步限位固定后，启动液压缸3工作，液压缸3带动连接板5移动，直至与连接板5同侧的多根限位杆9对应刚好插设于需要检测的输送管道内并对输送管道进行压紧处理，使得输送管道完全密封固定，其中密封垫圈11设置于通气孔7周围，使得输送管道固定时，其两端均与密封垫圈11相抵接触，进而提高了装置检漏时，输送管道两端的密封性，输送管道固定后，工作人员可将准备好的肥皂水涂覆于固定的输送管道的侧壁上，涂覆完毕后，启动气泵2工作，气泵2向输送管道内输送气流，若输送管道的周围冒出气泡即管道漏气，若输送管道的周围没有气泡产生，则不漏气，当输送管道的两端漏气时，工作人员需要排查输送管道的两个固定端与密封垫圈11之间的密封性，进而进行进一步的排查，当检测一轮后，可使得液压缸3带动连接板5与输送管道分离，分离后，使得输送管道转动一定角度后，重新进行下一步的测量，进而不仅提高了装置检测的准确性，还排除了限位杆9对输送管道检漏的影响，由于对输送管道涂覆肥皂水时，其涂覆的肥皂水可下落到收集槽13内，当收集槽13内的肥皂水过多时，可抽出T型密封垫，通过排水管14将其内的肥皂水排出，需要说明的是，肥皂水的制造及对输送管道涂覆肥皂水均为现有技术，在此不再赘述。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，包括工作台（1）、气泵（2）和液压缸（3），其特征在于，所述工作台（1）的上端固定连接有两块侧板（4），所述气泵（2）和液压缸（3）均固定安装于其中一块侧板（4）的一端侧壁上，所述液压缸（3）的一端固定连接有连接板（5），所述连接板（5）内设有腔室（6），所述气泵（2）的出气端与腔室（6）的顶部连通设置，其中一块所述侧板（4）与腔室（6）的相对侧壁上均连通设有多个一一对应设置的通气孔（7），多个所述通气孔（7）内均安装有防尘板（8），两端对应设置的防尘板（8）的相对侧壁上均固定连接有多根限位杆（9），所述侧板（4）上的多个通气孔（7）的一端均连通设有弹性气囊（10）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，其特征在于，其中一块所述侧板（4）与腔室（6）的相对侧壁上均固定连接有多个与通气孔（7）一一对应设置的密封垫圈（11）。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，其特征在于，所述工作台（1）竖直部分的下端固定连接有减震垫（12）。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，其特征在于，所述工作台（1）的上端固定连接有收集槽（13）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体制程特种气体输送管道的检漏装置，其特征在于，所述收集槽（13）的一端侧壁上连通设有排水管（14），位于所述收集槽（13）内的排水管（14）的一端内填塞有T型密封垫（15）。

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