CN211738527U - 一种三轴调平装置 - Google Patents

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崔光磊
辛云川
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Abstract

本实用新型属于水平面调节技术领域,具体的涉及一种三轴调平装置,该装置可应用于要求调平的光学系统,光学测试系统,电学系统,电学测试系统,物理实验的水平台等。三轴调平装置包括底座(1)、轴向位移电机(2)、电机控制器(3)、平台(4)、两轴倾角传感器(5)、电机控制器遥控(6),本实用新型两轴倾角传感器读取的角度变化值,传递给电机控制器,经计算获得各个支撑点需要调节的高度,驱动轴向位移电机实现精确调整。最终实现上表面角度误差小于0.03度。相比于传统手动三轴调平系统,本实用新型响应速度高,调整准确,无人为误差,同时可以有效避免传统手动调平过程中对需要置平设备的干扰。

Description

一种三轴调平装置
技术领域
本实用新型属于水平面调节技术领域,具体的涉及一种可应用于要求调平的光学系统,光学测试系统,电学系统,电学测试系统,物理实验的水平台等的三轴调平装置。
背景技术
在光学,电学及相关测试中,经常要用到水平面,传统的水平面多采用气浮形式,即在两个平面间插入多个充有空气的气垫,气垫与气泵连接,气垫可以吸收绝大部分来自地面的震动,同时调节水平也较为简单,只需要调节各个气垫的充气量就可实现上平面的调平;但气浮调平适合体积较大,整体需要调平的系统,对于不需要整体调平,或仅部分需要调平的光学、电学及相关测试系统来说,气浮调平就显得有些“大材小用”;且狭窄空间上,尤其是两平面的竖直间距大于水平面所需长度或宽度时,采用气浮调平方式支撑性反而没有保证,整个系统会出现头重脚轻的问题,容易出现侧倾,甚至倾倒,气浮调平系统价格较高,成本昂贵。所以,对于小尺寸需要调平的系统,一般采用三轴调平的方式,即在两平面间支撑三根丝杠,或一个固定杠加两根丝杠,丝杠下端支撑在底面,中间部分通过螺纹连接上表面,在上表面放置水平液泡。通过观察液泡位置,手动调整丝杆的伸缩,实现上表面的调平。此方法对于精度要求不高的系统可以满足要求,但对于高精度系统,此方法就不适用了。由于液体粘滞特性及张力作用,导致液泡不能准确响应上表面的倾角变化;而且液泡中心位置对准的认定,受观察者及观察者位置影响,随机性和系统误差都很大。在手调过程中存在触碰需要置平设备的风险,操作非常不友好。针对此问题,本实用新型很好的做出了解决。本实用新型采用两轴倾角传感器读取水平面的倾角值,其精度高达0.01度。在角度调节上,采用高精度轴向位移电机。两轴倾角传感器读取的角度变化值,传递给电机控制器,经计算获得各个支撑点需要调节的高度,驱动轴向位移电机实现精确调整。最终实现上表面角度误差小于0.03度。相比于传统手动三轴调平系统,本实用新型响应速度高,调整准确,没有人为误差,同时可以有效避免传统手动调平过程中对需要置平设备的干扰。
发明内容
本实用新型为了解决上述存在的问题,提供了一种三轴调平装置。
为了实现上述目的,本实用新型的技术方案是:
本实用新型适合对于震动要求较弱的电学系统,电学测试系统,光学系统,光学测试系统,及物理实验中的水平台,也可以应用在要求设定平面倾角值的测试系统中。本实用新型包括底座(1)、轴向位移电机(2)、电机控制器(3)、平台(4)、两轴倾角传感器(5)、电机控制器遥控(6)。底座(1)为硬质材料平板结构,可以为金属,硬质塑料或树脂基复合材料,底座(1)可开孔固定于平面物体上或者直接放置于平面物体上,比如桌面或者地面等。轴向位移电机(2)固定在底座(1)上,呈三角排列,其电机轴具有轴向位移特性,沿轴方向伸缩;轴向位移电机(2)单步移动精度为0.05mm。电机控制器(3)通过导线连接轴向位移电机(2),控制轴向位移电机(2)的电机轴伸缩。平台(4)为刚性材料,其上表面高度平整,下底面存在三个锥形孔,锥形孔中心点对应轴向位移电机(2)位移轴的轴心。平台(4)放置在轴向位移电机(2)位移轴顶端。两轴倾角传感器(5)的“零”平面与平台(4)的上表面平行,能够跟随平台(4)的倾角变化,实时获得平台左右方向与绝对水平的夹角X值和前后方向与绝对水平的夹角Y值;两轴倾角传感器(5)角度分辨率优于0.01度,两轴倾角传感器(5)可以与电机控制器(3)通信,提供实时平台倾角X、Y值。电机控制器遥控(6),通过无线或有线方式与电机控制器(3)通信,调节三个轴向位移电机(2)位移轴的伸缩。
附图说明
图1是整体结构示意图。
图2是平台底部开孔示意图。
图3是轴向位移电机及轴位移示意图。
图4是轴向位移电机的位移精度大于系统绝对水平面的调整时。
具体实施方式
底座采用厚度不小于5mm的304不锈钢加工,开3个孔,开孔大小匹配轴向位移电机,用以安装轴向位移电机,三个孔呈等腰三角形排列,底边长100mm,底边高100mm。安装轴向位移电机,并保证轴向位移电机的位移轴垂直底座。平台采用厚度为10mm的PEEK板材,上表面做磨平抛光处理,表面粗糙度优于0.1mm,PEEK板材下表面开三个锥形孔,锥形孔的分布与底座相同,开孔大小大于轴向位移电机位移轴直径的4倍,深度不小于3mm。将两轴倾角传感器放置在平台上表面,调整两轴倾角传感器的“零”平面平行于平台上表面,将平台下方的锥形孔对准轴向位移电机的顶端,使三个顶端落进锥形孔内。打开电源,电机控制器获得从两轴倾角传感器传送过来的的倾角数据,即平台倾斜角度数据,调整轴向位移电机的位移轴伸缩情况,实现平台上表面水平。
两轴倾角传感器的分辨率为0.01度,轴向位移电机单步位移精度为0.05mm,当三个轴向位移电机安装完成后,存在以下几种轴位移电机顶端与水平面几何关系。如图4所示,(a)、(b)、(c)均为三个轴向位移电机位移轴顶端处于同一水平面,当有一个顶端调整(a)、两个顶端调整(b)、三个顶端同时调整(c)时,均可以实现平台的水平;当轴向位移电机位移轴顶端有两个位于同一水平面,另外一个处于面外时,存在负偏离图4(d)和正偏离图4(e)两种情况;当三个轴向位移电机的顶端均不在同一水平面时,选定其中任意一个顶端做水平面,另外两个顶端可以是正偏离、负偏离、一正一负偏离,如图4(f)。分析现有的几何关系可知,其最大系统固有误差(通过调整轴向位移电机仍无法弥补)为轴位移电机的单步位移精度。
假定在调平过程中,由于安装问题导致轴向位移电机顶端均不在同一平面上,选取中间位置为水平面,则最大系统误差经调节后其极限为轴位移电机单步位移精度,数值为0.05mm。在三个轴向位移电机呈间隔100mm排列时,带来的角度误差为
Figure DEST_PATH_119375DEST_PATH_IMAGE001
,优于一般调平所要求的精度0.1,同时两轴倾角传感器的分辨率为0.01,可以明确感知角度变化,对轴向位移电机轴伸缩也有很好的响应。
以上所述实施例仅代表本实用新型中实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本实用新型的保护范围。因此,本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (7)

1.一种三轴调平装置,其特征在于:该装置包括底座(1)、轴向位移电机(2)、电机控制器(3)、平台(4)、两轴倾角传感器(5)、电机控制器遥控(6);轴向位移电机(2)固定在底座(1)上,呈三角排列,电机控制器(3)通过导线连接轴向位移电机(2),平台(4)底部有三个锥形孔,锥形孔中心位置与轴向位移电机(2)的位移轴同轴心,可放置在轴向位移电机(2)的位移轴顶端,两轴倾角传感器(5)“零”平面平行于平台(4)上表面,电机控制器遥控(6)通过无线或有线方式与电机控制器(3)通信,控制电机控制器(3)。
2.根据权利要求1所述一种三轴调平装置,其特征在于底座(1)为硬质材料平板结构,硬质材料为金属,硬质塑料或树脂基复合材料,底座(1)可开孔固定于平面物体上或直接放置在平面物体上。
3.根据权利要求1所述一种三轴调平装置,其特征在于轴向位移电机(2)固定在底座(1)上,呈三角排列,其电机轴具有轴向位移特性,沿轴方向伸缩。
4.根据权利要求1所述一种三轴调平装置,其特征在于电机控制器(3)通过导线连接轴向位移电机(2),控制轴向位移电机(2)的电机轴伸缩。
5.根据权利要求1所述一种三轴调平装置,其特征在于平台(4)为刚性材料,其上表面高度平整,下底面存在三个锥形孔,锥形孔中心点对应轴向位移电机(2)位移轴的轴心,平台(4)放置在轴向位移电机(2)位移轴顶端。
6.根据权利要求1所述一种三轴调平装置,其特征在于两轴倾角传感器(5)的“零”平面与平台(4)的上表面平行,能够跟随平台(4)的倾角变化,实时获得平台左右方向与绝对水平的夹角X值和前后方向与绝对水平的夹角Y值;两轴倾角传感器(5)与电机控制器(3)通信,提供实时平台倾角X、Y值。
7.根据权利要求1所述一种三轴调平装置,其特征在于电机控制器遥控(6),通过无线或者有线方式与电机控制器(3)通信,调节三个轴向位移电机(2)位移轴的伸缩。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110185902A (zh) * 2019-07-02 2019-08-30 中国科学院青岛生物能源与过程研究所 一种三轴调平装置及其应用

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