CN211697918U

CN211697918U - 一种探针卡

Info

Publication number: CN211697918U
Application number: CN202020143147.7U
Authority: CN
Inventors: 黎凯
Original assignee: Warship Chip Manufacturing Suzhou Ltd By Share Ltd
Current assignee: Warship Chip Manufacturing Suzhou Ltd By Share Ltd; Hejian Technology Suzhou Co Ltd
Priority date: 2020-01-22
Filing date: 2020-01-22
Publication date: 2020-10-16
Anticipated expiration: 2030-01-22

Abstract

本实用新型公开了一种探针卡，该探针卡包括探针卡基板、接触片、与接触片电连接的导线、以及探针组。接触片设置于探针卡基板上。至少一个探针组为四探针组，四探针组中的每个探针都经由导线连接至其中一个接触片。四探针组包括两个电压采集探针和两个电流采集探针。电流采集探针所连接的接触片与测试机台的电流测试头接触，并且电压采集探针所连接的接触片与测试机台的电压测试头接触。该探针卡尤其适用于小电阻的精确测量。

Description

一种探针卡

技术领域

本实用新型涉及元件电学参数测量领域，尤其涉及一种探针卡。

背景技术

在元件参数量测过程中，电阻量测是一项非常重要的参数量测，用来反映元件特性和生产线上的问题。测量时，探针卡直接加到测试键上，采用加电压，测试电流，然后计算得到相关电阻。但由于探针与被测电阻之间存在接触电阻，大小约为1欧姆，在测量较大电阻时，接触电阻的影响可以忽略。但是当被测电阻较小时，就很容易受到影响，使测试结果不稳定。

面对这种情况，通常是通过改变版图结构来避免此类影响。但对于已经生效的产品，修改版图花费成本较高，对于实际生产而言不可行。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供一种探针卡。该探针卡尤其适用于小电阻的精确测量。

根据本实用新型的一方面，提供一种探针卡，该探针卡包括：

探针卡基板，

接触片，所述接触片设置于所述探针卡基板上，

与所述接触片电连接的导线；以及

探针组，至少一个所述探针组为四探针组，所述四探针组中的每个探针都经由所述导线连接至其中一个所述接触片，所述四探针组包括两个电压采集探针和两个电流采集探针，所述电流采集探针所连接的接触片与测试机台的电流测试头接触，并且所述电压采集探针所连接的接触片与测试机台的电压测试头接触。

根据本实用新型的一个实施例，接触片为金属。

根据本实用新型的一个实施例，接触片为铜。

根据本实用新型的一个实施例，接触片的数量与所述探针的数量相同。

根据本实用新型的一个实施例，探针组还包括两探针组，所述两探针组包括两个电流采集探针，并且所述两探针组中的探针所连接的接触片与测试机台的电流测试头接触。

根据本实用新型的一个实施例，在测试状态下所述四探针组的一个电压采集探针与一个电流采集探针连接至被测电阻的同一测试键上，剩余的另一电压采集探针和另一电流采集探针连接至被测电阻的另一测试键上。

根据本实用新型的一个实施例，在测试状态下所述四探针组的电压采集探针设置在所述电流采集探针之间。

根据本实用新型的一个实施例，施加在所述电流采集探针上的电流为1mA-10mA。

由于具有上述结构，本实用新型的探针卡可以获得以下多种有益效果：

(1)采用本实用新型的上述四探针组对小电阻进行测量时可以有效避免接触电阻对于测量结果的影响，因此，本实用新型的四探针组可以实现小电阻的精确测量；

(2)当需要进行其他测量时，两个电压采集探针容许其悬置，对其他测试项无影响。

附图说明

图1是根据本实用新型的一个实施例的探针卡的示意图；

图2是使用本实用新型的一个实施例的探针卡进行测量的示意图；

图3示出了使用现有技术的探针卡与使用本实用新型的探针卡进行测试的结果对比图。

在图中：

100探针卡基板、200接触片、210与电流采集探针连接的接触片、220与电压采集探针连接的接触片、300导线、400探针组、410电流采集探针、420电压采集探针、P测试键、Rx被测电阻。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合具体实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

根据需要，本实用新型说明书中公开了本实用新型的具体实施例；然而，应当理解在此公开的实施例仅为可通过多种、可替代形式实施的本实用新型的示例。附图无需按照比例绘制；可以扩大或缩小一些特征以显示特定部件的细节。相同或类似的附图标记可指示相同参数和部件或者与之类似的修改和替代物。在下文的描述中，在构想的多个实施例中描述了多个操作参数和部件。这些具体的参数和部件在本说明书中仅作为示例而并不意味着限定。因此，本说明书中公开的具体结构和功能细节不应该理解为限制，而仅仅是用于教导本领域内技术人员以多种形式实施本实用新型的代表性基础。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参考图1，该图示出了根据本实用新型的一个实施例的探针卡。该探针卡总体可以包括探针卡基板100、接触片200、导线300以及探针组400。

探针卡基板100上设有多个接触片200，每一个接触片200都经由一根导线300电连接至探针组400中的一根探针。在该实施例中，探针卡基板100总体呈圆盘状，然而，根据本实用新型的教导，也可以使用其它形状的探针卡基板。

接触片200由导电材料制成，导电材料可以是例如铜或金等。接触片200与测试机台的测试头接触，并将测试机台施加的测试信号传递至各个探针。

导线300可以采用常规的电导率较高的材料，例如铜。

如图1-2所示，探针组400包括至少一个四探针组。该四探针组包括两个电流采集探针410和两个电压采集探针420。电流采集探针410所连接的接触片210与测试机台的电流测试头接触。电压采集探针420所连接的接触片220与测试机台的电压测试头接触。通过该结构，测试机台可以经由与电流测试头连接的电流采集探针410在被测电阻Rx上施加预定大小的电压，并经由电流采集探针410收集流过被测电阻Rx的电流I。并且，测试机台的电压测试头经由电压采集探针420收集被测电阻Rx两端的电压V。

如图1-2所示，探针组400还可以包括多个两探针组，这些两探针组的接触片可以与测试机台的电流测试头接触。两探针组的探针配对使用以接收来自测试机台的预定电压信号并且收集流过被测电阻的电流。

图2示出了使用本实用新型的一个实施例的探针卡测量小电阻的示意图。

在测量时，将四探针组中的两个电流采集探针410连接至被测电阻Rx的两个端部测试键P上，将四探针组中的两个电压采集探针420也连接至被测电阻Rx的两个端部测试键P上并且两个电压采集探针420位于两个电流采集探针410之间。也就是说，一个电流采集探针410与一个电压采集探针420连接在同一个测试键P上，并且电压采集探针420处于电流采集探针410内侧。使用测试机台对两个电流采集探针410施加预定的电压，并收集流过被测电阻Rx的电流I，同时利用两个电压采集探针420收集被测电阻Rx两端的电压U，被测电阻的电阻值即为R＝U/I。

在本实用新型的探针卡测量例如小于20欧姆的小电阻时，两个电压采集探针420处于两个电流采集探针410的内侧，因此，所收集的电压数据排除了由接触电阻所造成的电压的影响。而且，由于与两个电压采集探针420电连接的收集电压信息的外部电路的电阻非常大，因此，流过两个电压采集探针420的电流几乎为0，使得两个电流采集探针410所采集的电流即为流过电阻的实际电流。由此可以获得该小电阻的准确值。在该测试中，优选使用介于1mA-10mA的测试电流。

图3示出了使用现有技术的探针卡与使用本实用新型的探针卡进行测试的结果对比图。线A左侧示出了使用现有技术的探针卡进行测试的结果，线A右侧示出了使用根据本实用新型的探针卡进行测试的结果。由图中可以看出，采用本实用新型的探针卡所测出的电阻值明显小于现有技术的测量结果，这是由于本实用新型的探针卡能够消除接触电阻对于测量的影响。而且，采用现有技术的探针卡进行测量时，其测量结果稳定性差。而采用本实用新型的探针卡进行测量时可以获得长期的稳定性。

应当理解的是，在技术上可行的情况下，以上针对不同实施例所列举的技术特征可以相互组合，从而形成本实用新型范围内的另外实施例。此外，本文所述的特定示例和实施例是非限制性的，并且可以对以上所阐述的结构、尺寸、材料做出相应修改而不脱离本实用新型的保护范围。

在本申请中，反意连接词的使用旨在包括连接词。定或不定冠词的使用并不旨在指示基数。具体而言，对“该”对象或“一”和“一个”对象的引用旨在表示多个这样对象中可能的一个。此外，可以使用连接词“或”来传达同时存在的特征，而不是互斥方案。换句话说，连接词“或”应理解为包括“和/或”。术语“包括”是包容性的并且具有与“包含”相同的范围。

上述实施例，特别是任何“优选”实施例是实施方式的可能示例，并且仅仅为了清楚理解本实用新型的原理而提出。在基本上不脱离本文描述的技术的精神和原理的情况下，可以对上述实施例做出许多变化和修改。所有修改旨在被包括在本公开的范围内。

Claims

1.一种探针卡，其特征在于，包括：

探针卡基板；

接触片，所述接触片设置于所述探针卡基板上；

与所述接触片电连接的导线；以及

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述接触片为金属。

3.根据权利要求2所述的探针卡，其特征在于，所述接触片为铜。

4.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述接触片的数量与所述探针的数量相同。

5.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，所述探针组还包括两探针组，所述两探针组包括两个电流采集探针，并且所述两探针组中的探针所连接的接触片与测试机台的电流测试头接触。

6.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，在测试状态下所述四探针组的一个电压采集探针与一个电流采集探针连接至被测电阻的同一测试键上，剩余的另一电压采集探针和另一电流采集探针连接至被测电阻的另一测试键上。

7.根据权利要求6所述的探针卡，其特征在于，在测试状态下所述四探针组的电压采集探针设置在所述电流采集探针之间。

8.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，施加在所述电流采集探针上的电流为1mA-10mA。