CN211680008U - 一种新型真空反应腔结构 - Google Patents

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刘洋
朱玉盼
李帅
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Qingdao Jingcheng Huaqi Microelectronic Equipment Co ltd
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Abstract

本实用新型提一种新型真空反应腔结构,包括出料门、左磁流体、齿轮、真空反应腔体以及右磁流体,所述真空反应腔体左端焊接有齿轮,所述齿轮由电机旋转带动真空反应腔体旋转,所述真空反应腔体左端面连接左磁流体,所述真空反应腔体右端面连接有右磁流体,所述左磁流体的左端连接有左端出料管路,所述左端出料管路左端安装出料门,所述右磁流体的右端连接有右端进料管路,所述右端进料管路右端安装进料门,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:能够实现高温处理产品时真空反应腔体进行旋转,装在反应腔内的产品,可以更均匀的接受热量,大大提高了产品的性能,也降低了生产制造成本,节省能源。

Description

一种新型真空反应腔结构
技术领域
本实用新型是一种新型真空反应腔结构,属于真空反应腔体技术领域。
背景技术
现有技术中,真空热处理炉适用于磁性材料、超导材料、合金材料的真空烧结、退火以及钕铁硼渗镝等工艺。工艺过程是在高温真空或气氛保护状态下进行的,材料需要装在耐高温的真空反应腔体内进行高温处理。
目前行业内的同类产品中,其采用的真空反应腔体是固定的,材料装入真空反应腔体在高温下温度均匀性较差,这样就大大影响到材料的烧结工艺,影响产品的性能,使产品的合格率大大降低,因此,需要一种新型真空反应腔结构来解决上述问题。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提一种新型真空反应腔结构,以解决上述背景技术中提出的问题,本实用新型能够实现高温处理产品时真空反应腔体进行旋转,装在反应腔内的产品,可以更均匀的接受热量,大大提高了产品的性能,也降低了生产制造成本,节省能源。
为了实现上述目的,本实用新型是通过如下的技术方案来实现:一种新型真空反应腔结构,包括出料门、左端出料管路、左磁流体、齿轮、真空反应腔体、右磁流体、右端进料管路以及进料门,所述真空反应腔体左端焊接有齿轮,所述齿轮由电机旋转带动真空反应腔体旋转,所述真空反应腔体左端面连接左磁流体,所述真空反应腔体右端面连接有右磁流体,所述左磁流体的左端连接有左端出料管路,所述左端出料管路左端安装出料门,所述右磁流体的右端连接有右端进料管路,所述右端进料管路右端安装进料门。
进一步地,所述真空反应腔体由左组件、中组件以及右组件构成,所述左组件和右组件内部均焊接有第一螺旋状挡片,所述中组件内部左右两侧焊接有第二螺旋状挡片,所述中组件内部中部焊接有导向支撑杆。
本实用新型的有益效果:本实用新型的一种新型真空反应腔结构,结构设计合理,真空反应腔体上,左端焊接有齿轮,齿轮由电机旋转带动真空反应腔体旋转。
真空反应腔体的左组件和右组件内部焊接有第一螺旋状挡片,能够防止产品在旋转时跑出真空反应腔体,真空反应腔体中组件内部的第二螺旋状挡片和导向支撑杆能够保证产品在高温处理时,随真空反应腔体旋转均匀的在真空反应腔体内旋转,更好更稳定的吸收热量。
在真空反应腔体左右端面分别连接有左磁流体和右磁流体,磁流体既能够保证腔体稳定旋转,又能够保证真空反应腔体在旋转时的真空度。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为本实用新型一种新型真空反应腔结构的主视示意图;
图2为本实用新型一种新型真空反应腔结构的剖面示意图;
图3为本实用新型一种新型真空反应腔结构的左组件剖面示意图;
图4为本实用新型一种新型真空反应腔结构的中组件剖面示意图;
图中: 1-真空反应腔体、2-齿轮、3-左磁流体、4-右磁流体、5-左端出料管路、6-出料门、7-右端进料管路、8-进料门、9-左组件、10-右组件、11-中组件、12-第一螺旋状挡片、13-第二螺旋状挡片、14-导向支撑杆。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
请参阅图1至图4,本实用新型提供一种技术方案:一种新型真空反应腔体结构,包括出料门6、左端出料管路5、左磁流体3、齿轮2、真空反应腔体1、右磁流体4、右端进料管路7以及进料门8,真空反应腔体1左端焊接有齿轮2,齿轮2由电机旋转带动真空反应腔体1旋转,真空反应腔体1左端面连接左磁流体3,真空反应腔体1右端面连接有右磁流体4,左磁流体3以及右磁流体4既能够保证腔体稳定旋转,又能够保证真空反应腔体1在旋转时的真空度,左磁流体3的左端连接有左端出料管路5,左端出料管路5左端安装出料门6,取料时将出料门6打开取出产品,右磁流体4的右端连接有右端进料管路7,右端进料管路7右端安装进料门8,装料时将进料门8打开进行装料。
真空反应腔体1由左组件9、中组件11以及右组件10构成,左组件9和右组件10内部均焊接有第一螺旋状挡片12,中组件11内部左右两侧焊接有第二螺旋状挡片13,中组件11内部中部焊接有导向支撑杆14,真空反应腔体1的左组件9和右组件10内部焊接有第一螺旋状挡片12,能够防止产品在旋转时跑出真空反应腔体1,真空反应腔体1中组件11内部的第二螺旋状挡片13和导向支撑杆14能够保证产品在高温处理时,随真空反应腔体1旋转均匀的在真空反应腔体1内旋转,更好更稳定的吸收热量。
做为本实用新型的一个实施例:产品装入真空反应腔体1内,在高温真空状态下进行烧结、退火、渗镝等工艺,随着真空反应腔体1上的齿轮2旋转,真空反应腔体1跟着旋转,装在真空反应腔体1内部的产品物料也随着进行旋转,这样物料能够更好更均匀的吸收热量,产品的性能指标更高,同时又大大降低了生产成本,节约了能源。装在真空反应腔体1左右两端的左磁流体3和右磁流体4既能够保证真空反应腔体1旋转时的稳定性,又能够保证真空反应腔体1旋转时的真空度,大大提高了设备的稳定性。
以上所述,仅是本实用新型的较佳实施例而已,并非对本实用新型作任何形式上的限制,虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本实用新型,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本实用新型技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容,依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (2)

1.一种新型真空反应腔结构,包括出料门、左端出料管路、左磁流体、齿轮、真空反应腔体、右磁流体、右端进料管路以及进料门,其特征在于:所述真空反应腔体左端焊接有齿轮,所述齿轮由电机旋转带动真空反应腔体旋转,所述真空反应腔体左端面连接左磁流体,所述真空反应腔体右端面连接有右磁流体,所述左磁流体的左端连接有左端出料管路,所述左端出料管路左端安装出料门,所述右磁流体的右端连接有右端进料管路,所述右端进料管路右端安装进料门。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空反应腔结构,其特征在于:所述真空反应腔体由左组件、中组件以及右组件构成,所述左组件和右组件内部均焊接有第一螺旋状挡片,所述中组件内部左右两侧焊接有第二螺旋状挡片,所述中组件内部中部焊接有导向支撑杆。
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