CN211589854U - 一种晶圆动态测试治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆动态测试治具，包括测试台、吸盘座、移动槽、导块、定位柱、气缸、推板、斜板、复位弹簧、活塞头、推杆、活塞筒和连块，所述测试台顶面等距安装有吸盘座，且吸盘座底口连接固定有活塞筒，所述测试台内部位于吸盘座对应位置安装有气缸，且气缸输出端固定有推杆，所述活塞筒内配合设有活塞头，且推杆与活塞头固定连接，所述测试台表面位于吸盘座侧边对称开设有四个移动槽，且移动槽内滑动卡接有导块，此晶圆动态测试治具通过气缸的驱动，配合斜面推动使定位柱推动晶圆聚中，实现精准放置，配合活塞头的收缩使吸盘座对晶圆稳定吸附固定，装置结构简单，晶圆定位精确稳定，提高晶圆检测的稳定性。

Description

一种晶圆动态测试治具

技术领域

本实用新型涉及晶圆侧视治具技术领域，具体为一种晶圆动态测试治具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

晶圆生产完成后需要对其进行动态测试，测试过程中晶圆的定位是最为基本的要求，但是现在的晶圆动态测试治具对于晶圆的精准定位固定不够便捷，而且操作复杂，为此，我们提出一种晶圆动态测试治具。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆动态测试治具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆动态测试治具，包括测试台、吸盘座、移动槽、导块、定位柱、气缸、推板、斜板、复位弹簧、活塞头、推杆、活塞筒和连块，所述测试台顶面等距安装有吸盘座，且吸盘座底口连接固定有活塞筒，所述测试台内部位于吸盘座对应位置安装有气缸，且气缸输出端固定有推杆，所述活塞筒内配合设有活塞头，且推杆与活塞头固定连接，所述测试台表面位于吸盘座侧边对称开设有四个移动槽，且移动槽内滑动卡接有导块，所述导块顶面固定有定位柱，所述导块底面固定有连块，且连块通过复位弹簧与测试台内壁弹性连接，所述连块靠近气缸一侧固定有斜板，所述气缸输出端固定有与斜板底面贴合的推板。

优选的，所述吸盘座表面包裹固定有乳胶层。

优选的，所述定位柱外壁转动安装有橡胶筒。

优选的，所述推板表面转动安装有滚轮，且滚轮与斜板滚动接触。

优选的，所述活塞头采用橡胶材料制成，且活塞头呈多层叠加结构。

优选的，所述推板、斜板和活塞筒均采用不锈钢材料制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：晶圆检测时放置在吸盘座顶部，开启气缸推动推板上移，通过推板与斜板的贴合推动，使斜板带动连块克服复位弹簧的弹力向中心聚拢，从而使导块带动定位柱沿着移动槽向吸盘座滑动，推动晶圆与吸盘座精准对齐，然后气缸收缩，通过复位弹簧的弹力使导块带动定位柱复位，气缸收缩过程中，推杆拉动活塞头下移，使吸盘座对晶圆产生吸力将晶圆稳定吸附固定，此晶圆动态测试治具通过气缸的驱动，配合斜面推动使定位柱推动晶圆聚中，实现精准放置，配合活塞头的收缩使吸盘座对晶圆稳定吸附固定，装置结构简单，晶圆定位精确稳定，提高晶圆检测的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型导块驱动结构示意图；

图3为本实用新型橡胶筒安装结构示意图。

图中：1、测试台；2、吸盘座；3、移动槽；4、导块；5、定位柱；6、气缸；7、推板；8、斜板；9、复位弹簧；10、活塞头；11、推杆；12、滚轮；13、活塞筒；14、橡胶筒；15、连块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆动态测试治具，包括测试台1、吸盘座2、移动槽3、导块4、定位柱5、气缸6、推板7、斜板8、复位弹簧9、活塞头10、推杆11、活塞筒13和连块15，测试台1顶面等距安装有吸盘座2，且吸盘座2底口连接固定有活塞筒13，测试台1内部位于吸盘座2对应位置安装有气缸6，且气缸6输出端固定有推杆11，活塞筒13内配合设有活塞头10，且推杆11与活塞头10固定连接，测试台1表面位于吸盘座2侧边对称开设有四个移动槽3，且移动槽3内滑动卡接有导块4，导块4顶面固定有定位柱5，导块4底面固定有连块15，且连块15通过复位弹簧9与测试台1内壁弹性连接，连块15靠近气缸6一侧固定有斜板8，气缸6输出端固定有与斜板8底面贴合的推板7。

晶圆检测时放置在吸盘座2顶部，开启气缸6推动推板7上移，通过推板7与斜板8的贴合推动，使斜板8带动连块15克服复位弹簧9的弹力向中心聚拢，从而使导块4带动定位柱5沿着移动槽3向吸盘座2滑动，推动晶圆与吸盘座2精准对齐，然后气缸6收缩，通过复位弹簧9的弹力使导块4带动定位柱5复位，气缸6收缩过程中，推杆11拉动活塞头10下移，使吸盘座2对晶圆产生吸力将晶圆稳定吸附固定，此晶圆动态测试治具通过气缸6的驱动，配合斜面推动使定位柱5推动晶圆聚中，实现精准放置，配合活塞头10的收缩使吸盘座2对晶圆稳定吸附固定，装置结构简单，晶圆定位精确稳定，提高晶圆检测的稳定性。

吸盘座2表面包裹固定有乳胶层，增加晶圆与吸盘座2贴合精密性，便于气动固定。

定位柱5外壁转动安装有橡胶筒14，增加定位柱5与晶圆的推动稳定性，避免定位柱5与晶圆侧边产生摩擦。

推板7表面转动安装有滚轮12，且滚轮12与斜板8滚动接触，减少推板7与斜板8的摩擦力，使其推动更加便捷。

活塞头10采用橡胶材料制成，且活塞头10呈多层叠加结构，使活塞头10与活塞筒13内壁贴合紧密，具有稳定的推气效果。

推板7、斜板8和活塞筒13均采用不锈钢材料制成，表面精度高，抗变形效果好。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆动态测试治具，包括测试台（1）、吸盘座（2）、移动槽（3）、导块（4）、定位柱（5）、气缸（6）、推板（7）、斜板（8）、复位弹簧（9）、活塞头（10）、推杆（11）、活塞筒（13）和连块（15），其特征在于：所述测试台（1）顶面等距安装有吸盘座（2），且吸盘座（2）底口连接固定有活塞筒（13），所述测试台（1）内部位于吸盘座（2）对应位置安装有气缸（6），且气缸（6）输出端固定有推杆（11），所述活塞筒（13）内配合设有活塞头（10），且推杆（11）与活塞头（10）固定连接，所述测试台（1）表面位于吸盘座（2）侧边对称开设有四个移动槽（3），且移动槽（3）内滑动卡接有导块（4），所述导块（4）顶面固定有定位柱（5），所述导块（4）底面固定有连块（15），且连块（15）通过复位弹簧（9）与测试台（1）内壁弹性连接，所述连块（15）靠近气缸（6）一侧固定有斜板（8），所述气缸（6）输出端固定有与斜板（8）底面贴合的推板（7）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述吸盘座（2）表面包裹固定有乳胶层。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述定位柱（5）外壁转动安装有橡胶筒（14）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述推板（7）表面转动安装有滚轮（12），且滚轮（12）与斜板（8）滚动接触。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述活塞头（10）采用橡胶材料制成，且活塞头（10）呈多层叠加结构。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述推板（7）、斜板（8）和活塞筒（13）均采用不锈钢材料制成。

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