CN211492049U - 一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置 - Google Patents

一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型涉及陶瓷靶材生胚技术领域,且公开了一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,包括基台,所述基台的顶部固定连接有浆料受压桶,所述浆料受压桶的下半部分靠近外侧处开设有蓄水腔室,两个所述蓄水腔室的内侧固定连通有流液孔,两个所述流液孔的内侧固定安装有渗滤网格,两个所述蓄水腔室的顶部均固定连通有排水管,所述基台的顶部中间部位开设有凹槽,所述凹槽的内壁活动连接有支座板;通过将陶瓷粉原浆料倒入浆料受压桶中,上部螺纹帽与上部螺纹杆进行螺纹转动,上部螺纹杆向下运动,上部螺纹杆下压带动压力铁块下压,压力铁块下压至浆料受压桶内的浆料处开始挤压浆料,从而达到了控制陶瓷靶材胚体含水量的效果。

Description

一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置
技术领域
本实用新型涉及陶瓷靶材生胚技术领域,具体为一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置。
背景技术
薄膜材料随着电子信息产业的发展使用越来越频繁,靶材的性能决定薄膜材料的产品质量,而陶瓷靶材主要应用于集成电路、信息存储和激光存储器等。过去通过粉末冶金法生产出所有种类的较高密度的陶瓷靶材,但是这种方法生产周期长、工序复杂而且生产成本高。后来的生胚生产过程主要是将陶瓷粉料配成具有流动性的泥浆,然后注入多孔模具内,水分在被石膏吸入后便形成了具有一定厚度的均匀泥层,脱水干燥过程中同时形成具有一定强度的坯体,但是这种方法生产的胚体的含水量过大,水分过滤不充分,且成胚的密度不易控制,同时也不易控制形状。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,具备生产的胚体含水不易控制且胚体形状易于控制的优点,解决了目前所使用的生产方法生产的胚体含水量不易控制且胚形状不易控制的问题。
(二)技术方案
为实现上述生产的胚体含水量便于控制且胚体形状易于控制的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,包括基台,所述基台的底部固定连接有支架,所述基台的顶部固定连接有浆料受压桶,所述浆料受压桶的下半部分靠近外侧处开设有蓄水腔室,两个所述蓄水腔室的内侧固定连通有流液孔,两个所述流液孔的内侧固定安装有渗滤网格,两个所述蓄水腔室的顶部均固定连通有排水管,所述基台的顶部中间部位开设有凹槽,所述凹槽的内壁活动连接有支座板,所述支座板的底部固定连接有下部螺纹杆,所述下部螺纹杆的外部活动套接有下部螺纹帽,所述下部螺纹帽的外壁固定连接有下部手柄,所述浆料受压桶的顶部固定连接有支撑板,两个所述支撑板之间固定连接有连接杆,所述连接杆的中间活动连接有上部螺纹杆,所述上部螺纹杆的外壁活动套接有上部螺纹帽,所述上部螺纹帽的外壁固定连接有上部手柄,所述上部螺纹杆的底部固定连接有压力铁块,所述浆料受压桶的内壁固定安装有橡胶,所述浆料受压桶的外壁固定安装有观察窗口。
优选的,所述蓄水腔室的外壁厚度为一厘米,所述流液孔的顶部与浆料受压桶固定连接,所述流液孔的底部与基台的顶部固定连接,所述渗滤网格为两百目的网格。
优选的,所述排水管的顶部与蓄水腔室的底部平齐,所述排水管的底部可以外接盛液容器,所述排水管的长度大于基台的厚度,所述蓄水腔室底部与排水管接触处开设有漏斗状凹槽。
优选的,所述压力铁块的外壁和浆料受压桶的内壁均安装有橡胶,且浆料受压桶内壁的橡胶底部与渗滤网格的顶部固定连接,且连接处涂抹有胶水,所述浆料受压桶内壁的橡胶的厚度与渗滤网格的厚度相等。
优选的,所述凹槽的底部表面与支座板的底部表面均安装有橡胶片,且支座板的外壁与凹槽无缝连接,所述上部螺纹帽的底部和下部螺纹帽的顶部分别活动嵌套在连接杆的顶部和基台的底部。
优选的,所述浆料受压桶的正前方外壁安装有观察窗口,所述观察窗口的基座是由钢化玻璃制作而成,观察窗口的外侧表面刻有刻度尺,且观察窗口的厚度等于渗滤网格的厚度加上浆料受压桶外壁的厚度,观察窗口的高度等于渗滤网格的高度。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,具备以下有益效果:
1、该高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,通过将陶瓷粉原浆料倒入浆料受压桶中,通过转动上部手柄,带动上部螺纹帽转动,上部螺纹帽与上部螺纹杆进行螺纹转动,上部螺纹杆向下运动,上部螺纹杆下压带动压力铁块下压,压力铁块下压至浆料受压桶内的浆料处开始挤压浆料,此时渗滤网格对浆料中的水进行渗漏,将多余的水分通过渗滤网格排出,而将陶瓷泥浆留下,渗滤网格排出的水最终通过排水管排出,可以通过转动上部手柄从而改变上部螺纹杆下压的深度,从而改变压力铁块对原浆料的压力,从而达到了控制陶瓷靶材胚体含水量的效果。
2、该高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,通过在基台顶部开设凹槽安装支座板,当陶瓷原浆料的水分排除后,通过观察窗口观察胚体是否成型,通过观察窗口中的刻度可以观察胚体的厚度,从而计算出胚体的密度是否符合要求,最后转动下部手柄带动下部螺纹帽和下部螺纹杆进行螺纹转动运动,螺纹转动带动下部螺纹杆进行升降运动,当胚体制备完成后,下部螺纹杆上升带动支座板上升,支座板上升将制备好的胚体完整的送出浆料受压桶,从而达到了胚体形状便于控制的效果。
附图说明
图1为本实用新型侧面剖视结构示意图;
图2为本实用新型浆料受压桶立体结构示意图;
图3为本实用新型支座板结构示意图;
图4为本实用新型俯视结构示意图。
图中:1-基台、2-支架、3-浆料受压桶、4-蓄水腔室、5-流液孔、6-渗滤网格、7-排水管、8-凹槽、9-支座板、10-下部螺纹杆、 11-下部螺纹帽、12-下部手柄、13-支撑板、14-连接杆、15-上部螺纹杆、16-上部螺纹帽、17-上部手柄、18-压力铁块、19-橡胶、20- 观察窗口。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,包括基台 1,基台1的底部固定连接有支架2,基台1的顶部固定连接有浆料受压桶3,浆料受压桶3的正前方外壁安装有观察窗口20,观察窗口20的基座是由钢化玻璃制作而成,观察窗口20的外侧表面刻有刻度尺,且观察窗口20的厚度等于渗滤网格6的厚度加上浆料受压桶3外壁的厚度,观察窗口20的高度等于渗滤网格6的高度通过观察窗口20可以观察到浆料受压桶3内部的原料被挤压的高度,通过高度可以判断原料的含水量,若观察窗口20的高度高于渗滤网格6 则会占用浆料受压桶3内壁中橡胶19的位置,使浆料受压桶3内壁的密封性不好浆料受压桶3的下半部分靠近外侧处开设有蓄水腔室 4,蓄水腔室4的外壁厚度为一厘米,流液孔5的顶部与浆料受压桶 3固定连接,流液孔5的底部与基台1的顶部固定连接,渗滤网格6 为两百目的网格因为蓄水腔室4是一个空腔,减小了浆料受压桶3 底部部分的厚度,所以蓄水腔室4的厚度厚一点可以对浆料受压桶3 的支撑力强一点,因为当压力铁块18下压板压力铁块18底部的泥浆时流液孔5对渗滤网格6有一个支撑作用,防止渗滤网格6被挤破,两百目的网格刚好可以过滤泥浆里的水而不会将泥浆渗漏出去两个蓄水腔室4的内侧固定连通有流液孔5,两个流液孔5的内侧固定安装有渗滤网格6,两个蓄水腔室4的顶部均固定连通有排水管7,排水管7的顶部与蓄水腔室4的底部平齐,排水管7的底部可以外接盛液容器,排水管7的长度大于基台1的厚度,蓄水腔室4底部与排水管7接触处开设有漏斗状凹槽蓄水腔室4底部开设的凹槽方便溶液聚集在蓄水腔室4中的最低处然后通过排水管7排出去,因为排水管7要穿过基台1才能将溶液导出去所以排水管7的长度要大于基台1的厚度基台1的顶部中间部位开设有凹槽8,凹槽8的底部表面与支座板9的底部表面均安装有橡胶片,且支座板9的外壁与凹槽8无缝连接,上部螺纹帽16的底部和下部螺纹帽11的顶部分别活动嵌套在连接杆14的顶部和基台1的底部在原料的加工过程中,支座板9不需要抬升,支座板9与凹槽8接触处安装橡胶片可以防止原液向凹槽8内部渗漏,下部螺纹帽11和上部螺纹帽16分别找一个受力点固定,就可以通过转动下部螺纹帽11和上部螺纹帽 16带动下部螺纹杆10和上部螺纹杆15进行升降运动凹槽8的内壁活动连接有支座板9,支座板9的底部固定连接有下部螺纹杆10,下部螺纹杆10的外部活动套接有下部螺纹帽11,下部螺纹帽11的外壁固定连接有下部手柄12,浆料受压桶3的顶部固定连接有支撑板13,两个支撑板13之间固定连接有连接杆14,连接杆14的中间活动连接有上部螺纹杆15,上部螺纹杆15的外壁活动套接有上部螺纹帽16,上部螺纹帽16的外壁固定连接有上部手柄17,上部螺纹杆15的底部固定连接有压力铁块18,压力铁块18的外壁和浆料受压桶3的内壁均安装有橡胶19,且浆料受压桶3内壁的橡胶19底部与渗滤网格6的顶部固定连接,且连接处涂抹有胶水,浆料受压桶3 内壁的橡胶19的厚度与渗滤网格6的厚度相等橡胶19的摩擦阻力大,且橡胶19的密封性好,两个橡胶19在一起摩擦密封性更好,防止浆料受压桶3内需要加工的原料受压时从压力铁块18与浆料受压桶3的间隙向上泄露,渗滤网格6与橡胶19与涂抹胶水防止原料未经渗滤网格6的过滤就流向流液孔5,橡胶19与渗滤网格6的厚度保持一致可以使浆料受压桶3内壁保持平滑,使压力铁块18上下滑动顺畅浆料受压桶3的内壁固定安装有橡胶19,浆料受压桶3的外壁固定安装有观察窗口20。
工作原理:当需要进行陶瓷靶材生胚制作时,将原料泥浆倒入浆料受压桶3内,转动上部手柄17,带动上部螺纹杆15和上部螺纹帽 16进行螺纹运动使上部螺纹杆15向下运动,上部螺纹杆15向下运动带动压力铁块18向下运动,压力铁块18外壁和浆料受压桶3内壁的橡胶19保证了压力铁块18下压过程中浆料受压桶3整体的密封性,压力铁块18下压对浆料受压桶3内的原料浆料产生一个压力,从而使原料浆料中的水分通过渗滤网格6渗出再通过流液孔5排至蓄水腔室4处,最后通过排水管7排出装置,因为渗滤网格6是两百目的网格,所以可以将浆料中的水分排走而保留用于制胚的原料,因为浆料中的水分被排走,剩下的部分在压力铁块18的高压下便可以压成一个完整的生胚,在生产过程中,可以通过观察窗口20观察胚体的厚度,从而得知胚体的密度是否符合要求,因为观察窗口20 上每个刻度对应的密度先前已经在实验中得到,当通过观察窗口20 得知密度不符合要求时可以继续调节压力铁块18的高度来增加压力铁块18下压的压力,将水分挤压的更干净,最后胚体制备完成后,转动下部手柄12,带动下部螺纹杆10与下部螺纹帽11进行螺纹运动,带动下部螺纹杆10上升,将支座板9顶出浆料受压桶3,从而获得一个符合要求的完整生胚。
综上所述,该高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,通过将陶瓷粉原浆料倒入浆料受压桶3中,通过转动上部手柄17,带动上部螺纹帽16转动,上部螺纹帽16与上部螺纹杆15进行螺纹转动,上部螺纹杆15向下运动,上部螺纹杆15下压带动压力铁块18下压,压力铁块18下压至浆料受压桶3内的浆料处开始挤压浆料,此时渗滤网格6对浆料中的水进行渗漏,将多余的水分通过渗滤网格6排出,而将陶瓷泥浆留下,渗滤网格6排出的水最终通过排水管7排出,可以通过转动上部手柄17从而改变上部螺纹杆15下压的深度,从而改变压力铁块18对原浆料的压力,从而达到了控制陶瓷靶材胚体含水量的效果;通过在基台1顶部开设凹槽8安装支座板9,当陶瓷原浆料的水分排除后,通过观察窗口20观察胚体是否成型,通过观察窗口20中的刻度可以观察胚体的厚度,从而计算出胚体的密度是否符合要求,最后转动下部手柄12带动下部螺纹帽11和下部螺纹杆10进行螺纹转动运动,螺纹转动带动下部螺纹杆10进行升降运动,当胚体制备完成后,下部螺纹杆10上升带动支座板9上升,支座板9上升将制备好的胚体完整的送出浆料受压桶3,从而达到了胚体形状便于控制的效果。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,包括基台(1),其特征在于:所述基台(1)的底部固定连接有支架(2),所述基台(1)的顶部固定连接有浆料受压桶(3),所述浆料受压桶(3)的下半部分靠近外侧处开设有蓄水腔室(4),两个所述蓄水腔室(4)的内侧固定连通有流液孔(5),两个所述流液孔(5)的内侧固定安装有渗滤网格(6),两个所述蓄水腔室(4)的顶部均固定连通有排水管(7),所述基台(1)的顶部中间部位开设有凹槽(8),所述凹槽(8)的内壁活动连接有支座板(9),所述支座板(9)的底部固定连接有下部螺纹杆(10),所述下部螺纹杆(10)的外部活动套接有下部螺纹帽(11),所述下部螺纹帽(11)的外壁固定连接有下部手柄(12),所述浆料受压桶(3)的顶部固定连接有支撑板(13),两个所述支撑板(13)之间固定连接有连接杆(14),所述连接杆(14)的中间活动连接有上部螺纹杆(15),所述上部螺纹杆(15)的外壁活动套接有上部螺纹帽(16),所述上部螺纹帽(16)的外壁固定连接有上部手柄(17),所述上部螺纹杆(15)的底部固定连接有压力铁块(18),所述浆料受压桶(3)的内壁固定安装有橡胶(19),所述浆料受压桶(3)的外壁固定安装有观察窗口(20)。
2.根据权利要求1所述的一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,其特征在于:所述蓄水腔室(4)的外壁厚度为一厘米,所述流液孔(5)的顶部与浆料受压桶(3)固定连接,所述流液孔(5)的底部与基台(1)的顶部固定连接,所述渗滤网格(6)为两百目的网格。
3.根据权利要求1所述的一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,其特征在于:所述排水管(7)的顶部与蓄水腔室(4)的底部平齐,所述排水管(7)的底部可以外接盛液容器,所述排水管(7)的长度大于基台(1)的厚度,所述蓄水腔室(4)底部与排水管(7)接触处开设有漏斗状凹槽。
4.根据权利要求1所述的一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,其特征在于:所述压力铁块(18)的外壁和浆料受压桶(3)的内壁均安装有橡胶(19),且浆料受压桶(3)内壁的橡胶(19)底部与渗滤网格(6)的顶部固定连接,且连接处涂抹有胶水,所述浆料受压桶(3)内壁的橡胶(19)的厚度与渗滤网格(6)的厚度相等。
5.根据权利要求1所述的一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,其特征在于:所述凹槽(8)的底部表面与支座板(9)的底部表面均安装有橡胶片,且支座板(9)的外壁与凹槽(8)无缝连接,所述上部螺纹帽(16)的底部和下部螺纹帽(11)的顶部分别活动嵌套在连接杆(14)的顶部和基台(1)的底部。
6.根据权利要求1所述的一种高密度陶瓷靶材生胚的制造装置,其特征在于:所述浆料受压桶(3)的正前方外壁安装有观察窗口(20),所述观察窗口(20)的基座是由钢化玻璃制作而成,观察窗口(20)的外侧表面刻有刻度尺,且观察窗口(20)的厚度等于渗滤网格(6)的厚度加上浆料受压桶(3)外壁的厚度,观察窗口(20)的高度等于渗滤网格(6)的高度。
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