CN211474366U - 一种干式真空泵定子冷却结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种干式真空泵定子冷却结构，包括定子板、外板体，所述外板体的内部设置有定子板，且定子板的内部设置有冷却管，所述冷却管的一端通过弯管与进液管连通，且冷却管的另一端通过弯管与出液管连通，所述进液管的顶端外壁上开设有进液口，且出液管的顶端外壁上套接有转接管，所述转接管的顶端外壁上开设有出液口。本实用新型通过设置有一系列的结构解决了现有的干式真空泵定子冷却结构在使用时存在水冷系统管路布置较为复杂，占用泵壳体内部空间较多，集成度高的情况下，操作空间较小，且管路接口较多，装配复杂，后期维修空间小，维修困难，接口较多，漏水风险较大。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空泵技术领域，具体为一种干式真空泵定子冷却结构。
背景技术
干式真空泵以其高集成度、更容易获得清洁的真空环境，被广泛的应用于包括半导体制造设备在内的很多领域；干式真空泵由电机直接驱动，通过变频器调节泵的转动速度；根据实际工况，在真空泵工作一定时间后，腔室内的真空度达到预设值或者近预设值时，电机随着变频器输出频率的增高，速度会增加，因此会产生大量的热；为了维持泵的工作环境温度，及泵的稳定性，需要加入冷却系统，保证泵本体及相应的电气系统的稳定可靠运行，目前，现有的干式真空泵定子冷却结构在使用时存在水冷系统管路布置较为复杂，占用泵壳体内部空间较多，集成度高的情况下，操作空间较小，且管路接口较多，装配复杂，后期维修空间小，维修困难，接口较多，漏水风险较大，因此有必要对现有技术进行改进，以解决上述问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
本实用新型的目的在于提供一种干式真空泵定子冷却结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种干式真空泵定子冷却结构，包括定子板、外板体，所述外板体的内部设置有定子板，且定子板的内部设置有冷却管，所述冷却管的一端通过弯管与进液管连通，且冷却管的另一端通过弯管与出液管连通，所述进液管的顶端外壁上开设有进液口，且出液管的顶端外壁上套接有转接管，所述转接管的顶端外壁上开设有出液口。
优选的，所述定子板、外板体均呈方形结构设置。
优选的，所述进液管通过冷却管与出液管连通。
优选的，所述冷却管呈环形结构设置。
优选的，所述进液管穿过定子板延伸到外板体的外侧壁上。
优选的，所述出液管穿过定子板延伸到外板体的外侧壁上。
(三)有益效果
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该干式真空泵定子冷却结构相对于传统干式真空泵定子冷却结构通过设置冷却管、进液管、出液管，将冷却水或者是其他介质的通道直接集成到定子板中，升级定子板的结构；这种结构下可以减少泵内部介质管路的复杂走势，节约空间，为泵的装配维修提供更多的空间和便捷性，冷却水或者是其他介质可以换成蒸汽或者其他介质提供热量，将冷却系统变为特定工况下的加热系统。
附图说明
图1为本实用新型的整体剖视图；
图2为本实用新型的整体立体图。
图中附图标记为：1、进液管；2、定子板；3、进液口；4、出液口；5、转接管；6、外板体；7、冷却管；8、出液管；9、弯管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供的一种实施例：一种干式真空泵定子冷却结构，包括定子板2、外板体6，外板体6的内部设置有定子板2，且定子板2的内部设置有冷却管7，冷却管7便于对冷却液进行盛放工作，冷却管7的一端通过弯管9与进液管1连通，弯管9便捷了管道间的连通工作，且冷却管7的另一端通过弯管9与出液管8连通，进液管1的顶端外壁上开设有进液口3，且出液管8的顶端外壁上套接有转接管5，通过转接管5可实现冷却液的循环使用，转接管5的顶端外壁上开设有出液口4。
进一步，定子板2、外板体6均呈方形结构设置。
进一步，进液管1通过冷却管7与出液管8连通，冷却管7便捷了冷却液的输送工作进行。
进一步，冷却管7呈环形结构设置，环形结构的冷却管7可最大达到冷却效果。
进一步，进液管1穿过定子板2延伸到外板体6的外侧壁上，进液管1 便于冷却液的输入工作进行。
进一步，出液管8穿过定子板2延伸到外板体6的外侧壁上，出液管8 便捷了冷却液进入下一级进液管1以及定子板2的内部。
工作原理：在使用时将外板体6按照图2形式进行叠放设置，而后将前一级的出液管8上的转接管5连接到下一级的进液管1的进液口3上，而后向第一级的进液管1的进液口3内投入适量的冷却液，即可正常进行冷却工作。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种干式真空泵定子冷却结构，包括定子板(2)、外板体(6)，其特征在于：所述外板体(6)的内部设置有定子板(2)，且定子板(2)的内部设置有冷却管(7)，所述冷却管(7)的一端通过弯管(9)与进液管(1)连通，且冷却管(7)的另一端通过弯管(9)与出液管(8)连通，所述进液管(1)的顶端外壁上开设有进液口(3)，且出液管(8)的顶端外壁上套接有转接管(5)，所述转接管(5)的顶端外壁上开设有出液口(4)。
2.根据权利要求1所述的一种干式真空泵定子冷却结构，其特征在于：所述定子板(2)、外板体(6)均呈方形结构设置。
3.根据权利要求1所述的一种干式真空泵定子冷却结构，其特征在于：所述进液管(1)通过冷却管(7)与出液管(8)连通。
4.根据权利要求1所述的一种干式真空泵定子冷却结构，其特征在于：所述冷却管(7)呈环形结构设置。
5.根据权利要求1所述的一种干式真空泵定子冷却结构，其特征在于：所述进液管(1)穿过定子板(2)延伸到外板体(6)的外侧壁上。
6.根据权利要求1所述的一种干式真空泵定子冷却结构，其特征在于：所述出液管(8)穿过定子板(2)延伸到外板体(6)的外侧壁上。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201922293737.8U CN211474366U (zh) | 2019-12-18 | 2019-12-18 | 一种干式真空泵定子冷却结构 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN211474366U true CN211474366U (zh) | 2020-09-11 |
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2019
- 2019-12-18 CN CN201922293737.8U patent/CN211474366U/zh active Active
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