CN211470566U

CN211470566U - 一种溅射靶材基板加工装置

Info

Publication number: CN211470566U
Application number: CN201922307023.8U
Authority: CN
Inventors: 邢伟亮
Original assignee: Zhongnuo Advanced Material Beijing Technology Co Ltd
Current assignee: Zhongnuo Advanced Material Beijing Technology Co Ltd
Priority date: 2019-12-19
Filing date: 2019-12-19
Publication date: 2020-09-11
Anticipated expiration: 2029-12-19

Abstract

本实用新型涉及一种溅射靶材基板加工装置，包括设置在厂房地面上的熔铝电阻炉装置、用于搅拌熔铝电阻炉装置内的金属熔液的搅拌装置、设置在厂房房顶上的用于将搅拌好的金属熔液进行吊装作业的吊装装置。本装置中熔铝电阻炉装置开取方便，搅拌装置实现金属液的自动搅拌，解放操作人员，避免人工操作造成烫伤的后果，因此便于流水线作业，从而有效提高生产效率，降低生产成本。

Description

一种溅射靶材基板加工装置

技术领域

本专利申请属于溅射靶材加工技术领域，更具体地说，是涉及一种溅射靶材基板加工装置。

背景技术

溅射靶材基板在生产过程中，经过熔炼、浇铸成型、锻压、粗磨和精磨等工艺后，方可成型。熔炼用的原材料主要是利用在粗磨和精磨过程中切割下的金属碎屑以便节约成本。而熔炼这些回收金属碎屑是在电阻炉中进行的，同时在熔炼过程中需要对熔融的金属熔液进行不断搅拌，以便使得金属熔液中的气体和杂质上浮，释放金属熔液中的气体和清理杂质。

但是，在现有的溅射靶材基板加工设备中，熔炉设置不合理，在工人打开炉盖时，需抬起把手借助销轴的旋转进而将炉盖开启（类似打开饼铛盖子），由于炉盖一般由合金材料或掺杂非金属的复合材料制成，重量较大费时费力，对工人操作造成一定不便。同时基板加工设备还未配备搅拌装置，需要操作人员手持搅拌棍对金属熔液进行搅拌，由于金属熔液的温度过高，在搅拌过程总容易造成操作人员烫伤。加之吊装作业繁琐，不便于一体流水线作业，从而影响生产效率，增加生产成本。

实用新型内容

本实用新型需要解决的技术问题是提供一种溅射靶材基板加工装置，该装置机械结构简单可靠，设计合理，便于流水线作业，有效提高生产效率，降低生产成本。

为了解决上述问题，本实用新型所采用的技术方案是：

一种溅射靶材基板加工装置，包括设置在厂房地面上的熔铝电阻炉装置、用于搅拌熔铝电阻炉装置内的金属熔液的搅拌装置、设置在厂房房顶上的用于将搅拌好的金属熔液进行吊装作业的吊装装置，其中：

熔铝电阻炉装置包括设置在厂房地面上的工作平台、设置在工作平台上的炉体、位于炉体上的炉盖、设置在炉体外壁上的若干挂环、设置在炉盖上的锁紧杆、套设在锁紧杆上的弧形紧固件，炉盖包括通过固定装置分别固定在炉体上的半圆柱形的左滑盖和半圆柱形的右滑盖，左滑盖和右滑盖均等拼合形成圆柱体；

搅拌装置包括设置在炉体一侧的工作平台上的升降机构、设置在升降机构上的搅拌机构，升降机构包括设置在工作平台上的升降杆、转动连接在升降杆上的套筒、设置在套筒上的吊板支架；搅拌机构包括设置在吊板支架下端的若干根立杆、穿套设置在所有立杆底端上的托板、通过电机支架设置在托板上的第二电机、与第二电机的输出端连接并朝下设置的搅拌棍，搅拌棍用于搅拌炉体内的金属熔液；

吊装装置包括设置在厂房房顶上的天车、设置在天车上的挂钩，挂环与挂钩配合；

本实用新型技术方案的进一步改进在于：固定装置包括设置在炉体上的固定轴、与固定轴转动连接的旋转轴、与旋转轴连接的连接板，连接板对应连接左滑盖或右滑盖，锁紧杆设置在左滑盖和右滑盖相对于连接板的另一端；

锁紧杆包括分别设置在左滑盖和右滑盖上的L型支杆、设置在L型支杆（的竖直部）上的水平杆，弧形紧固件套设在水平杆上。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：升降机构还包括套设在升降杆外周的固定套、设置在固定套上的滑块、与滑块配合的滑槽，滑槽230设置在炉体外壁上。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：立杆之间还设有加强肋。

本实用新型技术方案的进一步改进在于：搅拌机构还包括设置在托板一侧的L型把手、设置在工作平台上并与把手插入配合的插孔。

由于采用了上述技术方案，本实用新型取得的有益效果是：本装置结构简单可靠，设计合理，便于流水线作业，有效提高生产效率，降低生产成本。熔铝电阻炉装置开取方便，搅拌装置实现金属液的自动搅拌，解放操作人员，避免人工操作造成烫伤的后果，从而有效提高生产效率，降低生产成本。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的熔铝电阻炉装置的整体结构示意图；

图3为本实用新型的熔铝电阻炉装置的闭合状态示意图；

图4为本实用新型的熔铝电阻炉装置的打开状态示意图；

图5为本实用新型的搅拌装置的整体结构示意图；

图6为本实用新型搅拌装置的局部结构示意图一；

图7为本实用新型搅拌装置的局部结构示意图二；

图8为本实用新型搅拌装置的局部结构示意图三；

其中：10、工作平台，11、炉盖，111、左滑盖，112、右滑盖，12、炉体，13、弧形紧固件，14、固定轴，15、旋转轴，16、连接板，17、挂环，18、锁紧杆；

20、天车，21、挂钩；

100、升降杆，101、插孔，210、固定套，220、滑块，230、滑槽，311、套筒，312、吊板支架，321、立杆，322、托板，330、L型把手，410、第二电机，420、电机支架，430、搅拌棍。

具体实施方式

下面结合实施例对本实用新型做进一步详细说明。

本实用新型公开了一种溅射靶材基板加工装置，包括设置在厂房地面上的熔铝电阻炉装置、用于搅拌熔铝电阻炉装置内的金属熔液的搅拌装置、设置在厂房房顶上的用于将搅拌好的金属熔液进行吊装作业的吊装装置，其中：

熔铝电阻炉装置包括设置在厂房地面上的工作平台10、设置在工作平台10上的炉体12、位于炉体12上的炉盖11、设置在炉体12外壁上的若干挂环17、设置在炉盖11上的锁紧杆18、套设在锁紧杆18上的弧形紧固件13，炉盖11包括通过固定装置分别固定在炉体12上的半圆柱形的左滑盖111和半圆柱形的右滑盖112，左滑盖111和右滑盖112均等拼合形成圆柱体。

搅拌装置包括设置在炉体12一侧的工作平台10上的升降机构、设置在升降机构上的搅拌机构，升降机构包括设置在工作平台10上的升降杆100、转动连接在升降杆100上的套筒311、设置在套筒311上的吊板支架312；搅拌机构包括设置在吊板支架312下端的若干根立杆321、穿套设置在所有立杆321底端上的托板322、通过电机支架420设置在托板322上的第二电机410、与第二电机410的输出端连接并朝下设置的搅拌棍430，搅拌棍430用于搅拌炉体12内的金属熔液。

吊装装置包括设置在厂房房顶上的天车20）、设置在天车20上的挂钩21，挂环17上穿绕钢丝绳后与挂钩21配合。

固定装置为两组，每组固定装置均包括设置在炉体12上的固定轴14、与固定轴14转动连接的旋转轴15、与旋转轴15连接的连接板16，连接板16对应连接左滑盖111或右滑盖112，锁紧杆18设置在左滑盖111和右滑盖112相对于连接板16的另一端。

锁紧杆18包括分别设置在左滑盖111和右滑盖112上的L型支杆、设置在L型支杆（的竖直部）上的水平杆，弧形紧固件13套设在水平杆上。

升降机构还包括套设在升降杆100外周的固定套210、设置在固定套210上的滑块220、与滑块220配合的滑槽230，滑槽230设置在炉体12外壁上。

立杆321之间还设有加强肋。

搅拌机构还包括设置在托板322一侧的L型把手330、设置在工作平台10上并与把手330插入配合的插孔101。

本实用新型中，首先需要操作人员手动将搅拌装置旋转到熔铝电阻炉装置上方，然后利用升降机构将搅拌棍430下放到炉体12中，再打开第二电机410，使得搅拌棍430旋转，对金属熔液进行搅拌，经过搅拌、熔融的液体最后经吊装装置吊运到合适位置。本实用新型利用升降机构和搅拌装置对金属熔液完成搅拌，避免了操作人员直接搅拌金属熔液，从而避免操作人员被烫伤，同时熔铝电阻炉装置位置布局合理，不仅优化作业空间，简化操作流程，还提升员工安全操作系数，提高员工作业幸福感。

Claims

1.一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：包括设置在厂房地面上的熔铝电阻炉装置、用于搅拌熔铝电阻炉装置内的金属熔液的搅拌装置、设置在厂房房顶上的用于将搅拌好的金属熔液进行吊装作业的吊装装置，其中：

熔铝电阻炉装置包括设置在厂房地面上的工作平台（10）、设置在工作平台（10）上的炉体（12）、位于炉体（12）上的炉盖（11）、设置在炉体（12）外壁上的若干挂环（17）、设置在炉盖（11）上的锁紧杆（18）、套设在锁紧杆（18）上的弧形紧固件（13），炉盖（11）包括通过固定装置分别固定在炉体（12）上的半圆柱形的左滑盖（111）和半圆柱形的右滑盖（112），左滑盖（111）和右滑盖（112）均等拼合形成圆柱体；

搅拌装置包括设置在炉体（12）一侧的工作平台（10）上的升降机构、设置在升降机构上的搅拌机构，升降机构包括设置在工作平台（10）上的升降杆（100）、转动连接在升降杆（100）上的套筒（311）、设置在套筒（311）上的吊板支架（312）；搅拌机构包括设置在吊板支架（312）下端的若干根立杆（321）、穿套设置在所有立杆（321）底端上的托板（322）、通过电机支架（420）设置在托板（322）上的第二电机（410）、与第二电机（410）的输出端连接并朝下设置的搅拌棍（430），搅拌棍（430）用于搅拌炉体（12）内的金属熔液；

吊装装置包括设置在厂房房顶上的天车（20）、设置在天车（20）上的挂钩（21），挂环（17）与挂钩（21）配合。

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：固定装置包括设置在炉体（12）上的固定轴（14）、与固定轴（14）转动连接的旋转轴（15）、与旋转轴（15）连接的连接板（16），连接板（16）对应连接左滑盖（111）或右滑盖（112），锁紧杆（18）设置在左滑盖（111）和右滑盖（112）相对于连接板（16）的另一端；

锁紧杆（18）包括分别设置在左滑盖（111）和右滑盖（112）上的L型支杆、设置在L型支杆上的水平杆，弧形紧固件（13）套设在水平杆上。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：升降机构还包括套设在升降杆（100）外周的固定套（210）、设置在固定套（210）上的滑块（220）、与滑块（220）配合的滑槽（230），滑槽（230）设置在炉体（12）外壁上。

4.根据权利要求3所述的一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：立杆（321）之间还设有加强肋。

5.根据权利要求4所述的一种溅射靶材基板加工装置，其特征在于：搅拌机构还包括设置在托板（322）一侧的L型把手（330）、设置在工作平台（10）上并与把手（330）插入配合的插孔（101）。