CN211404479U - 一种硅片支撑装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种硅片支撑装置，包括固定底板，所述固定底板表面左侧固定安装有左夹持框，所述固定底板表面右侧安装有右夹持框，所述右夹持框底部与固定底板连接处安装有调节滑套，所述左夹持框与右夹持框内壁上下两侧均固定连接有三组等距分布压缩弹簧，三组所述压缩弹簧的另一端与夹持板固定连接。本实用新型通过右夹持框与固定底板连接处的调节滑套，滑动调节滑套，可以对右夹持框和左夹持框之间的距离进行调整，方便对规格不同的硅片进行固定，且通过承托槽内的缓冲弹簧，可以对硅片底部进行承托缓冲，提高对硅片的防护效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种硅片支撑装置。
背景技术
单晶硅硅片、多晶硅硅片在清洗脱胶的过程中需将玻璃与硅片进行分离，当硅片与玻璃分离后硅片失去环氧树脂胶的约束，会往一个方向倾斜，由于硅片数量较大，当硅片往一个方向倾斜时，会造成最边缘硅片因受力较大，造成边缘硅片碎裂，从而导致碎片率增加。
公告号为CN209016035U，公开了一种硅片支撑装置及干燥炉传动装置，硅片支撑装置包括支撑座和固定设置在所述支撑座上的支撑架组件，所述支撑架组件包括两个支撑架，两个所述支撑架间隔距离相对设置，每个所述支撑架上均设置有用于卡设硅片的卡槽，所述卡槽沿上下方向延伸，当硅片放置在所述硅片支撑装置中时，硅片的相对两侧分别卡设在两个所述支撑架的所述卡槽中。
但是，上述实用新型在使用的过程中存在以下缺陷：1.上述实用新型结构简单，并不能硅片进行很好的夹持固定，在传输的过程中容易损坏。2.上述实用新型只能对单一固定规格的硅片进行支撑固定，并不实用。因此，我们提出一种硅片支撑装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种硅片支撑装置，通过左夹持框和右夹持框内的压缩弹簧和夹持板，可以对硅片起到很好的固定效果，避免硅片在传输的过程中晃动而损坏，且通过夹持板另一侧的防磨胶垫，可以避免对硅片的外表面造成磨损，通过右夹持框与固定底板连接处的调节滑套，滑动调节滑套，可以对右夹持框和左夹持框之间的距离进行调整，方便对规格不同的硅片进行固定，且通过承托槽内的缓冲弹簧，可以对硅片底部进行承托缓冲，提高对硅片的防护效果，解决了背景技术中所提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片支撑装置，包括固定底板，所述固定底板表面左侧固定安装有左夹持框，所述固定底板表面右侧安装有右夹持框，所述右夹持框底部与固定底板连接处安装有调节滑套，所述左夹持框与右夹持框内壁上下两侧均固定连接有三组等距分布压缩弹簧，三组所述压缩弹簧的另一端与夹持板固定连接；
所述固定底板表面水平开设有承托槽，所述承托槽内底部固定连接有多组等距排列的缓冲弹簧，所述缓冲弹簧顶部与承托板下表面固定连接。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述左夹持框与右夹持框均呈C型且左夹持框和右夹持框水平相向分布。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述调节滑套滑动套接在固定底板外侧，所述调节滑套下表面中部设置有定位螺丝。
作为本实用新型的一种优选实施方式，所述夹持板的另一侧设置有防磨胶垫。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
1.本实用新型的硅片支撑装置，通过左夹持框和右夹持框内的压缩弹簧和夹持板，可以对硅片起到很好的固定效果，避免硅片在传输的过程中晃动而损坏，且通过夹持板另一侧的防磨胶垫，可以避免对硅片的外表面造成磨损。
2.本实用新型的硅片支撑装置，通过右夹持框与固定底板连接处的调节滑套，滑动调节滑套，可以对右夹持框和左夹持框之间的距离进行调整，方便对规格不同的硅片进行固定，且通过承托槽内的缓冲弹簧，可以对硅片底部进行承托缓冲，提高对硅片的防护效果。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
图1为本实用新型硅片支撑装置的整体结构示意图；
图2为本实用新型硅片支撑装置的承托槽侧视结构示意图；
图3为本实用新型硅片支撑装置的承托槽内部结构示意图。
图中：1固定底板，2承托槽，3左夹持框，4压缩弹簧，5夹持板，6防磨胶垫，7调节滑套，8右夹持框，9定位螺丝，10承托板，11缓冲弹簧。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置；本实用新型中提供的用电器的型号仅供参考。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据实际使用情况更换功能相同的不同型号用电器，对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种硅片支撑装置，包括固定底板1，所述固定底板1表面左侧固定安装有左夹持框3，所述固定底板1表面右侧安装有右夹持框8，所述右夹持框8底部与固定底板1连接处安装有调节滑套7，所述左夹持框3与右夹持框8内壁上下两侧均固定连接有三组等距分布压缩弹簧4，三组所述压缩弹簧4的另一端与夹持板5固定连接；
所述固定底板1表面水平开设有承托槽2，所述承托槽2内底部固定连接有多组等距排列的缓冲弹簧11，所述缓冲弹簧11顶部与承托板10下表面固定连接。
本实施例中(请参阅图1)，所述左夹持框3与右夹持框8均呈C型且左夹持框3和右夹持框8水平相向分布。
本实施例中(请参阅图2)，所述调节滑套7滑动套接在固定底板1外侧，所述调节滑套7下表面中部设置有定位螺丝9，通过定位螺丝，方便对右夹持框的位置进行固定。
本实施例中(请参阅图1)，所述夹持板5的另一侧设置有防磨胶垫6，通过防磨胶垫6，可以避免对硅片的外表面造成磨损。
需要说明的是，本实用新型为一种硅片支撑装置，包括1固定底板，2承托槽，3左夹持框，4压缩弹簧，5夹持板，6防磨胶垫，7调节滑套，8右夹持框，9定位螺丝，10承托板，11缓冲弹簧，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规试验方法获知，在一种硅片支撑装置使用的时候，将硅片的左端置于左夹持框3内，再根据硅片的大小规格，移动调节滑套7使右夹持框8与硅片的右端接触，再转动定位螺丝9对右夹持框8进行固定，通过左夹持框3和右夹持框8内的压缩弹簧4和夹持板5，可以对硅片起到很好的固定效果，避免硅片在传输的过程中晃动而损坏，通过夹持板5另一侧的防磨胶垫6，可以避免对硅片的外表面造成磨损，使用效果较为理想。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (4)
1.一种硅片支撑装置，包括固定底板(1)，其特征在于：所述固定底板(1)表面左侧固定安装有左夹持框(3)，所述固定底板(1)表面右侧安装有右夹持框(8)，所述右夹持框(8)底部与固定底板(1)连接处安装有调节滑套(7)，所述左夹持框(3)与右夹持框(8)内壁上下两侧均固定连接有三组等距分布压缩弹簧(4)，三组所述压缩弹簧(4)的另一端与夹持板(5)固定连接；
所述固定底板(1)表面水平开设有承托槽(2)，所述承托槽(2)内底部固定连接有多组等距排列的缓冲弹簧(11)，所述缓冲弹簧(11)顶部与承托板(10)下表面固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种硅片支撑装置，其特征在于：所述左夹持框(3)与右夹持框(8)均呈C型且左夹持框(3)和右夹持框(8)水平相向分布。
3.根据权利要求1所述的一种硅片支撑装置，其特征在于：所述调节滑套(7)滑动套接在固定底板(1)外侧，所述调节滑套(7)下表面中部设置有定位螺丝(9)。
4.根据权利要求1所述的一种硅片支撑装置，其特征在于：所述夹持板(5)的另一侧设置有防磨胶垫(6)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202020578099.4U CN211404479U (zh) | 2020-04-17 | 2020-04-17 | 一种硅片支撑装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN202020578099.4U CN211404479U (zh) | 2020-04-17 | 2020-04-17 | 一种硅片支撑装置 |
Publications (1)
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| CN211404479U true CN211404479U (zh) | 2020-09-01 |
Family
ID=72215449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN202020578099.4U Active CN211404479U (zh) | 2020-04-17 | 2020-04-17 | 一种硅片支撑装置 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN211404479U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112071970A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-11 | 贵州凯瑞嘉电子科技有限公司 | 发光二极管封装装置 |
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2020
- 2020-04-17 CN CN202020578099.4U patent/CN211404479U/zh active Active
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